一种硅片链条输送装置制造方法及图纸

本申请公开了一种硅片链条输送装置，涉及硅片生产技术领域。本申请包括：机架，其上转动设置有两个对称分布的传动轴，所述传动轴上滑动套设有两个对称分布的链轮，位于不同传动轴上的两个链轮之间设置有连接链条，所述连接链条上设置有多个间隔分布且均用于装载硅片的载具，所述机架上设置有驱动部与两个对称分布的驱动件。本申请正常使用时，通过多个载具对硅片进行装载，通过驱动部、两个传动轴、四个链轮以及两个连接链条的配合，实现对硅片的高效率输送，在实际使用时，若需要输送的硅片尺寸较大，可分别通过两个驱动件驱使位于同一传动轴上的两个链轮同步反向滑动至相互远离，从而使两个连接链条之间的间距增大。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及硅片生产，具体涉及一种硅片链条输送装置。

技术介绍

1、硅片在生产过程中，输送是必不可少的一道工序，在现有技术中，通常采用链条组件对硅片进行输送，链条组件由两个链轮与一条连接链条组成，两个链轮分别套设在两个传动轴上，连接链条上设置有多个均用于装载硅片的载具，通过电机驱动传动轴转动，多个载具均随连接链条移动，实现对硅片的输送，为了实现更高的输送效率，通常会将链条组件设置为两组，但在实际使用时，由于两组链条组件之间的间隔相对固定，故所能输送的硅片尺寸较为固定，从而导致使用灵活性和适用性较差，因此提出一种硅片链条输送装置。

技术实现思路

1、本申请的目的在于：为解决两组链条组件之间的间隔相对固定，故所能输送的硅片尺寸较为固定，从而导致使用灵活性和适用性较差的技术问题，本申请提供了一种硅片链条输送装置。

2、本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

3、一种硅片链条输送装置，包括：

4、机架，其上转动设置有两个对称分布的传动轴，所述传动轴上滑动套设有两个对称分布的链轮，位于不同传动轴上的两个链轮之间设置有连接链条，所述连接链条上设置有多个间隔分布且均用于装载硅片的载具，所述机架上设置有驱动部与两个对称分布的驱动件，所述驱动部用于驱使其中一个传动轴转动，所述驱动件用于驱使位于同一传动轴上的两个链轮同步反向滑动。

5、进一步地，所述传动轴的外表面沿其长度方向构造有凸条，所述链轮上构造有凹槽，所述链轮通过凸条与凹槽的配合实现与传动轴的同步转动。

6、进一步地，所述驱动部包括设置在机架上的驱动电机，所述传动轴与驱动电机的输出轴之间通过第一皮带轮组件传动连接。

7、进一步地，所述载具包括设置在连接链条上的承载板，所述承载板上设置有多个矩形阵列分布的固定片。

8、进一步地，所述承载板上设置有定位块。

9、进一步地，所述驱动件包括转动设置在机架上的正反丝杆与均滑动设置在机架上且对称分布的两个滑块，两个所述滑块分别与正反丝杆的正反螺纹段螺纹配合，所述滑块上设置有构造呈u形且与链轮对应的限位板。

10、进一步地，所述限位板的相对侧均设置有多个滚珠，所述链轮与滚珠滚动抵触搭接。

11、进一步地，所述机架上设置有输出轴与其中一个正反丝杆连接的传动电机，两个所述正反丝杆之间通过第二皮带轮组件传动连接。

12、本申请的有益效果如下：本申请正常使用时，通过多个载具对硅片进行装载，通过驱动部、两个传动轴、四个链轮以及两个连接链条的配合，实现对硅片的高效率输送，在实际使用时，若需要输送的硅片尺寸较大，可分别通过两个驱动件驱使位于同一传动轴上的两个链轮同步反向滑动至相互远离，从而使两个连接链条之间的间距增大，得以输送尺寸较大的硅片，从而提高使用灵活性和适用性，因此更具有实用性。

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【技术保护点】

1.一种硅片链条输送装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述传动轴(2)的外表面沿其长度方向构造有凸条(8)，所述链轮(3)上构造有凹槽(9)，所述链轮(3)通过凸条(8)与凹槽(9)的配合实现与传动轴(2)的同步转动。

3.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述驱动部(6)包括设置在机架(1)上的驱动电机(601)，所述传动轴(2)与驱动电机(601)的输出轴之间通过第一皮带轮组件(602)传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述载具(5)包括设置在连接链条(4)上的承载板(501)，所述承载板(501)上设置有多个矩形阵列分布的固定片(502)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述承载板(501)上设置有定位块(503)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述驱动件(7)包括转动设置在机架(1)上的正反丝杆(701)与均滑动设置在机架(1)上且对称分布的两个滑块(702)，两个所述滑块(702)分别与正反丝杆(701)的正反螺纹段螺纹配合，所述滑块(702)上设置有构造呈U形且与链轮(3)对应的限位板(703)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述限位板(703)的相对侧均设置有多个滚珠(704)，所述链轮(3)与滚珠(704)滚动抵触搭接。

8.根据权利要求6所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述机架(1)上设置有输出轴与其中一个正反丝杆(701)连接的传动电机(10)，两个所述正反丝杆(701)之间通过第二皮带轮组件(11)传动连接。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片链条输送装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述传动轴(2)的外表面沿其长度方向构造有凸条(8)，所述链轮(3)上构造有凹槽(9)，所述链轮(3)通过凸条(8)与凹槽(9)的配合实现与传动轴(2)的同步转动。

3.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述驱动部(6)包括设置在机架(1)上的驱动电机(601)，所述传动轴(2)与驱动电机(601)的输出轴之间通过第一皮带轮组件(602)传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述载具(5)包括设置在连接链条(4)上的承载板(501)，所述承载板(501)上设置有多个矩形阵列分布的固定片(502)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯显火，
申请(专利权)人：江苏泰明易自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：