硅片生产系统及石英舟转运工装技术方案

本实用新型专利技术涉及一种硅片生产系统及石英舟转运工装，进行硅片生产过程中，将载有硅片的石英舟放入转运本体的容纳腔内，使得容纳腔的底壁上的承托部插入石英舟的底部空腔内。由于承托部的外侧壁的轮廓与石英舟的底部空腔的轮廓相互匹配，从而保证石英舟能够稳定、可靠的得到承托，不会发生晃动或摆动，能够避免石英舟和硅片在运输过程中因碰撞而发生损坏。另外，利用承托部的外侧壁上的第一防护层能够有效的避免对石英舟和硅片造成污染；而且，在转运过程中，利用第一防护层对石英舟和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟和硅片发生破损，保证产品良率。保证产品良率。保证产品良率。

【技术实现步骤摘要】
硅片生产系统及石英舟转运工装


[0001]本技术涉及硅片生产
，特别是涉及一种硅片生产系统及石英舟转运工装。

技术介绍

[0002]扩散工序在硅片的生产过程中起着十分关键的作用，扩散后的硅片不能在本工序中停留超过时间界限，否则会导致生产出来的硅片存在脏污或麻点等问题，影响产品合格率。因此，需要对满载硅片的石英舟进行及时的转运。传统的转运方式为采用人工抬石英舟的方式，易造成石英舟和硅片的损坏。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对易造成石英舟和硅片的损坏的问题，提供一种硅片生产系统及石英舟转运工装。
[0004]其技术方案如下：
[0005]一方面，提供了一种石英舟转运工装，包括转运本体，所述转运本体设有用于容纳石英舟的容纳腔，所述容纳腔的底壁设有承托部，所述承托部的外侧壁的轮廓与所述石英舟的底部空腔的轮廓相匹配，且所述承托部的外侧壁设有第一防护层。
[0006]下面进一步对技术方案进行说明：
[0007]在其中一个实施例中，所述容纳腔的底壁还设有限位件，所述限位件设置于所述承托部的两端，所述限位件能够与所述石英舟的端部限位配合。
[0008]在其中一个实施例中，所述限位件与所述容纳腔的底壁移动配合，使所述限位件能够沿所述承托部的延伸方向靠近或远离所述承托部移动。
[0009]在其中一个实施例中，所述转运本体包括底板、两个分别安装于所述承托部两侧的第一侧板、及设置于所述承托部一端的第二侧板，所述底板设有所述承托部，所述第二侧板及两个所述第一侧板与所述底板均转动连接，所述石英舟转运工装还包括第一锁止件，所述第一锁止件用于在所述第一侧板及所述第二侧板相对所述底板转动后将所述第一侧板及所述第二侧板均与所述底板锁止配合。
[0010]在其中一个实施例中，所述底板、所述第一侧板及所述第二侧板均设有所述第一防护层。
[0011]在其中一个实施例中，所述石英舟转运工装还包括把手，所述把手与所述转运本体连接，且所述把手设置于所述转运本体的一端。
[0012]在其中一个实施例中，所述把手与所述转运本体转动连接，所述石英舟转运工装还包括第二锁止件，所述第二锁止件用于在所述把手相对所述转运工装转动后将所述把手与所述转运工装锁止配合。
[0013]在其中一个实施例中，所述转运本体的底部设有移动轮。
[0014]在其中一个实施例中，所述承托部的顶部设有卡槽，所述石英舟的底部设有凸起，
所述凸起能够与所述卡槽卡接配合。
[0015]另一方面，提供了一种硅片生产系统，包括上述任一项所述的石英舟转运工装。
[0016]上述实施例的硅片生产系统及石英舟转运工装，进行硅片生产过程中，将载有硅片的石英舟放入转运本体的容纳腔内，使得容纳腔的底壁上的承托部插入石英舟的底部空腔内。由于承托部的外侧壁的轮廓与石英舟的底部空腔的轮廓相互匹配，从而保证石英舟能够稳定、可靠的得到承托，不会发生晃动或摆动，能够避免石英舟和硅片在运输过程中因碰撞而发生损坏。另外，利用承托部的外侧壁上的第一防护层能够有效的避免对石英舟和硅片造成污染；而且，在转运过程中，利用第一防护层对石英舟和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟和硅片发生破损，保证产品良率。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为一个实施例的石英舟转运工装的结构示意图；
[0020]图2为图1的石英舟转运工装的左视图；
[0021]图3为石英舟的结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]10、石英舟转运工装；100、转运本体；110、容纳腔；120、承托部；130、限位件；140、底板；150、第一侧板；160、第二侧板；170、把手；180、移动轮；20、石英舟；21、底部空腔；22、凸起。
具体实施方式
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0025]如图1至图3所示，在一个实施例中，提供了一种石英舟转运工装10，能够对载有硅片的石英舟20进行转运，避免硅片在各个工序中停留时间超过时间界限。
[0026]具体地，石英舟转运工装10包括转运本体100。
[0027]具体地，转运本体100设有用于容纳石英舟20的容纳腔110，容纳腔110 的底壁设有承托部120，承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20的底部空腔21 的轮廓相匹配。并且，承托部120的外侧壁设有第一防护层(未图示)。
[0028]上述实施例的石英舟转运工装10，使用时，将载有硅片的石英舟20放入转运本体100的容纳腔110内，使得容纳腔110的底壁上的承托部120插入石英舟20的底部空腔21内。
由于承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20的底部空腔21的轮廓相互匹配，从而保证石英舟20能够稳定、可靠的得到承托，不会发生晃动或摆动，能够避免石英舟20和硅片在运输过程中因碰撞而发生损坏。另外，利用承托部120的外侧壁上的第一防护层能够有效的避免对石英舟20和硅片造成污染；而且，在转运过程中，利用第一防护层对石英舟20和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟20和硅片发生破损，保证产品良率。
[0029]同时，由于石英舟20满载硅片时可达1200片硅片，人工搬运效率低且风险较大，易造成较大的经济损失，利用上述实施例的石英舟转运工装10能够对满载硅片的石英舟20进行快速转运，转运效率高，避免因人工抬舟产生的损坏问题，经济效益高。
[0030]其中，承托部120可以为承托台或承托架，只需满足能够伸入石英舟20的底部空腔21并与底部空腔21的轮廓相匹配而保证石英舟20在转运过程中不会发生晃动或摆动即可。承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20的底部空腔21 的轮廓相匹配，是指承托部120能够填充至底部空腔21内，例如，底部空腔21 呈梯形槽时，承托部120呈梯形凸台。
[0031]其中，第一防护层可以采用橡胶、硅胶等弹性材质，可以采取粘结、包覆等方式固设在承托部120的外侧壁上，使得石英舟20与承托部120的接触部位均能得到有效的缓冲防护。
[0032]为了保证石英舟20能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟转运工装，其特征在于，包括转运本体，所述转运本体设有用于容纳石英舟的容纳腔，所述容纳腔的底壁设有承托部，所述承托部的外侧壁的轮廓与所述石英舟的底部空腔的轮廓相匹配，且所述承托部的外侧壁设有第一防护层。2.根据权利要求1所述的石英舟转运工装，其特征在于，所述容纳腔的底壁还设有限位件，所述限位件设置于所述承托部的两端，所述限位件能够与所述石英舟的端部限位配合。3.根据权利要求2所述的石英舟转运工装，其特征在于，所述限位件与所述容纳腔的底壁移动配合，使所述限位件能够沿所述承托部的延伸方向靠近或远离所述承托部移动。4.根据权利要求1所述的石英舟转运工装，其特征在于，所述转运本体包括底板、两个分别安装于所述承托部两侧的第一侧板、及设置于所述承托部一端的第二侧板，所述底板设有所述承托部，所述第二侧板及两个所述第一侧板与所述底板均转动连接，所述石英舟转运工装还包括第一锁止件，所述第一锁止件用于在所述第一侧板及所述第二侧板相对所述底板转动后将...

【专利技术属性】
技术研发人员：何建峰，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：