工艺控制方法、装置及工业控制系统制造方法及图纸

本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。极大提升了工艺设备的控制效率。极大提升了工艺设备的控制效率。

【技术实现步骤摘要】
工艺控制方法、装置及工业控制系统


[0001]本申请涉及工业控制
，特别是一种工艺控制方法、装置及工业控制系统。

技术介绍

[0002]在工业控制
中，传统的工业设备、加工工艺设备采用的控制技术，一般是通过PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)设备进行逻辑控制，由于各个设备部件产生的状态数据繁多，各个PLC设备采集所属设备部件的数据来进行处理；如在真空
的真空镀膜、真空刻蚀等工艺。
[0003]对于工艺流程，一般由固定的流程构成，相关工艺控制只能在控制系统支持的固化参数下进行，无法在过程中再参数或流程进行额外的操作控制。以真空镀膜设备为例，真空镀膜工艺流程主要包括抽真空、加热、预熔、成膜、取件；其中成膜前后一般由人工手动操作，成膜过程的参数控制则通过文档模板(如Excel模板)导入控制系统，工艺人员通过固化的文档模板设置成膜过程中的控制参数，控制系统读取文档模板后进行执行。上述技术方案虽然能够满足常规镀膜工艺需求，但由于固化的模式，工艺人员仅能在控制系统支持的固化参数下进行镀膜工艺控制，无法在过程中对各个工艺环节更多的参数或流程进行更细的操作控制；并且文件编辑仅是针对成膜环节的设置，无法进行完整的全自动流程控制输入。
[0004]由此可见，传统的工艺设备控制技术，难以全自动流程控制，严重影响了工艺设备的控制效率。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述至少一种技术缺陷，提供一种工艺控制方法、装置及工业控制系统。
[0006]一种工艺控制方法，包括：
[0007]接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；
[0008]按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；
[0009]依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。
[0010]在一个实施例中，所述的工艺控制方法，还包括：
[0011]获取工艺流程的各个工序的执行内容；
[0012]通过结构化的数据格式描述所述执行内容；
[0013]将所述执行内容生成所述工艺流程文件。
[0014]在一个实施例中，所述结构化的数据格式为列表数据结构；其中，
[0015]每个列表元素对应一个工序；
[0016]每个工序中含有多个阶段；
[0017]每个阶段设有至少一个键值代表执行指令或者检测条件，对应于控制设备通讯定义的协议。
[0018]在一个实施例中，按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段，包括：
[0019]通过可视化界面调用执行工艺流程，将所述设定数据交换格式的工艺流程文件以字符串传参到执行程序，通过所述执行程序将字符串转换成数据对象，并进行遍历解析；
[0020]所述依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件，包括：
[0021]获取每个工序的各个阶段的执行指令，根据所述设定数据交换格式将所述执行内容转换成控制设备中的执行指令，通过设定通讯协议发送到对应的控制设备中，由所述控制设备通过IO接口控制相应的设备部件执行操作。
[0022]在一个实施例中，所述的工艺控制方法，还包括：
[0023]将工艺设备可配置的执行指令显示为配置选择表单；
[0024]获取用户以表单形式输入的至少一个工序及其各个阶段的阶段信息，组合所述工序的多个阶段表单并生成阶段数据段；
[0025]结合web网页拖拽方式，对所述工序及其各个阶段进行拖拽排序，将多个编辑好的工序自由组合或重叠组合，生成工艺流程的各个工序的执行内容。
[0026]在一个实施例中，所述的工艺控制方法，还包括：
[0027]将已生成的工艺流程文件导出为设定格式的工艺文件；
[0028]工艺文件亦可再次编辑，在工艺设计平台中导入已有工艺文件，通过所述工艺设计平台对所述工艺文件进行解析成设定数据交换格式的数据并在所述工艺设计平台中进行显示；
[0029]获取用户对所述工艺文件进行的编辑操作，重新组合生成新的工艺文件。
[0030]在一个实施例中，所述控制设备包括多个相互独立的功能模块设备；其中，
[0031]各个功能模块设备分别对应于控制不同功能类型的设备部件；
[0032]各个功能模块设备内置程序模块进行对象化封装，以接口形式对外统一调用。
[0033]在一个实施例中，所述工艺流程包括：抽气工序、烘烤加热工序、清洗工序、成膜工序以及放气工序；
[0034]所述设定数据交换格式为JSON格式；
[0035]所述设定通讯协议为modbus协议。
[0036]一种工艺控制装置，包括：
[0037]数据交互单元，用于接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；
[0038]数据解析单元，用于按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；
[0039]指令执行单元，用于依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其
中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。
[0040]一种工业控制系统，包括：工控机以及多个控制设备，所述工控机还通过物联网与云平台进行通信；其中，
[0041]所述工控机分别与各个控制设备连接；
[0042]各个所述控制设备分别对应控制工艺设备的若干设备部件；
[0043]所述工控机与云平台通过设定数据交换格式的工艺流程文件进行数据交互；
[0044]所述工控机通过设定通讯协议与所述控制设备进行数据交互；
[0045]所述工控机被配置为执行上述的工艺控制方法的步骤。
[0046]上述技术方案，通过以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容，形成设定数据交换格式的工艺流程文件，在工艺控制时，对工艺流程文件进行遍历解析获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段的执行指令；通过设定通讯协议下发至对应的控制设备控制工艺设备相应的设备部件；该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。
[0047]进一步的，通过自定义的工艺数据结构，能够有效描述工艺流程的各个步骤，而结构化的数据格式可以按照常规工艺流程构建若干个工艺流程模块，每个工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺控制方法，其特征在于，包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。2.根据权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，还包括：获取工艺流程的各个工序的执行内容；通过结构化的数据格式描述所述执行内容；将所述执行内容生成所述工艺流程文件。3.根据权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述结构化的数据格式为列表数据结构；其中，每个列表元素对应一个工序；每个工序中含有多个阶段；每个阶段设有至少一个键值代表执行指令或者检测条件，对应于控制设备通讯定义的协议。4.根据权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段，包括：通过可视化界面调用执行工艺流程，将所述设定数据交换格式的工艺流程文件以字符串传参到执行程序，通过所述执行程序将字符串转换成数据对象，并进行遍历解析；所述依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件，包括：获取每个工序的各个阶段的执行指令，根据所述设定数据交换格式将所述执行内容转换成控制设备中的执行指令，通过设定通讯协议发送到对应的控制设备中，由所述控制设备通过IO接口控制相应的设备部件执行操作。5.根据权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，还包括：将工艺设备可配置的执行指令显示为配置选择表单；获取用户以表单形式输入的至少一个工序及其各个阶段的阶段信息，组合所述工序的多个阶段表单并生成阶段数据段；结合web网页拖拽方式，对所述工序及其...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀鸣，刘伟基，林秀刚，张军，陈文俊，易洪波，郭一鸣，赵刚，易卓越，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：