电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机制造方法及图纸

本申请涉及一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机；电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信模块；所述交流输入端通过电源线连接交流电源，并通过排线连接至功率模块和通信模块；所述直流输出端通过电源线连接至离子源负载，且通过排线连接至功率模块；其中，所述功率模块通过排线连接控制模块；该技术方案，减小整个离子源电源设备体积，安装简易方便，减少了布线，提高了离子源电源的抗干扰能力及稳定性；便于生产安装作业，提高了电源的工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机


[0001]本申请涉及离子源
，特别是一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]离子源是真空镀膜机需要使用的重要设备，而离子源电源也是重要的设备组成部分；电源的稳定性对于离子源的性能至关重要，因此在电源设计当中，必须得到重视。
[0003]目前，常规的离子源的结构设计及布线，各种线路繁杂且凌乱，信号容易受到干扰，连接标准不统一，安装复杂；特别是离子源电源布局体积大，极大地影响了电源的可靠性，也不便于生产安装作业，应用于真空镀膜机中，容易产生安全问题。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机，以简化离子源电源的结构设计，提升电源可靠性。
[0005]一种电源模块，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；
[0006]所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信模块；所述交流输入端通过电源线连接交流电源，并通过排线连接至功率模块和通信模块；所述直流输出端通过电源线连接至离子源负载，且通过排线连接至功率模块；其中，所述功率模块通过排线连接控制模块。2.根据权利要求1所述的电源模块，其特征在于，所述转接模块上还设有连接所述电源通信端的第一排针排座，连接所述交流输入端的第二排针排座，以及连接所述直流输出端第三排针排座；所述通信模块上设有连接所述第一排针排座的第四排针排座，以及第五排针排座；所述功率模块上设有连接所述第三排针排座的第六排针排座，连接所述第二排针排座的第七排针排座，以及第八排针排座；所述控制模块上设有连接所述第八排针排座的第九排针排座。3.根据权利要求1所述的电源模块，其特征在于，所述功率模块包括：依次连接的滤波电路、防浪涌电路、过流保护电路和隔离变压电路；其中，所述滤波电路连接所述交流输入端，隔离变压电路连接所述直流输出端。4.一种离子源电源，其特征在于，包括：主控板，滤波模块，以及多个并联的如权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，李浩峰，冀鸣，赵刚，易洪波，曾文华，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：