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本申请涉及一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机；电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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