一种晶圆传送盒的电子货架管理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了晶圆传送盒的电子货架管理系统，电子货架管理系统包括电子货架，电子货架包括货架主体、货位感应元件、控制子板、控制主板、RFID天线和显示屏；控制主板、控制子板、RFID天线、货位感应元件之间依次通信连接；控制子板和显示屏之间通信连接；货架主体每个货位设置RFID天线和货位感应元件，当晶圆传送盒放入电子货架的某个货位，RFID天线的读取模块读取晶圆传送盒的RFID玻璃管标签信息并发送到控制子板和控制主板，控制子板将玻璃管标签信息显示在显示屏中。本实用新型专利技术可解决人工查找晶圆传送盒费时费力的问题，节省查找时间；可查看货架货位的状态，合理安排晶圆传送盒的存放。盒的存放。盒的存放。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传送盒的电子货架管理系统


[0001]本技术属于半导体晶圆生产
，尤其涉及一种晶圆传送盒的电子货架管理系统。

技术介绍

[0002]现有晶圆厂的普通货架需要人工将装有晶圆(Wafer)的晶圆传送盒(FOUP)搬上搬下，生产制造部门在系统里查找晶圆传送盒位置时，无法得知晶圆传送盒的位置，需要人工逐一查找，也不能根据货架货位的状态合理安排晶圆传送盒的存放。对于晶圆传送盒内晶圆的批次(LOT)信息，查找更不方便，晶圆传送盒在人为搬运过程中存在盲区，难以对晶圆信息进行溯源。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提出了一种方便查询晶圆传送盒和晶圆信息的货架位置信息的装置，解决操作员凭经验查找晶圆传送盒过程的问题。
[0004]本技术公开的一种晶圆传送盒的电子货架管理系统，所述晶圆传送盒设置有RFID玻璃管标签，所述电子货架管理系统包括电子货架，所述电子货架包括货架主体、货位感应元件、控制子板、控制主板、RFID天线和显示屏；所述控制主板、控制子板、RFID天线、货位感应元件之间依次通信连接；所述控制子板和显示屏之间通信连接；
[0005]所述货架主体设置多个放置晶圆传送盒的货位，每个货位设置RFID天线和货位感应元件，当晶圆传送盒放入电子货架的某个货位，所述货位感应元件感应到晶圆传送盒，发出晶圆传送盒放入信号；
[0006]所述RFID天线的读取模块被所述货位感应元件的晶圆传送盒放入信号触发，读取该货位晶圆传送盒的RFID玻璃管标签信息；
[0007]RFID天线的读取模块将读取到的RFID玻璃管标签信息传输到所述控制子板；
[0008]所述控制子板将RFID玻璃管标签信息显示到所述显示屏中，并传输RFID玻璃管标签信息给所述控制主板。
[0009]进一步的，所述货位感应元件为光电传感器和/或轻触开关，所述光电传感器与所述RFID天线通信连接，所述轻触开关与所述RFID天线电性连接。
[0010]进一步的，每个货位上设置一个控制子板或每层货架上设置一个控制子板。
[0011]进一步的，所述电子货架管理系统还包括服务器，所述控制主板与所述服务器通信连接，控制主板将RFID玻璃管标签信息上传到服务器，存储于服务器的数据库中。
[0012]进一步的，所述服务器将晶圆LOT信息、晶圆传送盒的ID及其在货架上的位置信息上传给MES系统。
[0013]进一步的，所述MES系统与服务器通信连接。
[0014]进一步的，所述服务器生成所管理的晶圆传送盒的报表。
[0015]进一步的，所述电子货架与AGV或IOT通信连接。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]解决人工查找晶圆传送盒费时费力的问题，通过系统定位晶圆传送盒，节省查找时间；
[0018]可查看货架货位的状态，合理安排晶圆传送盒的存放；
[0019]可显示晶圆的LOT信息，解决晶圆传送盒在人为搬运过程中的盲区，方便批次溯源；
[0020]可与AGV和IOT一起使用，配合自动化设备的高度实现机械式搬运。
附图说明
[0021]图1本技术的电子货架总体结构图；
[0022]图2本技术的电子货架装配图；
[0023]图3本技术的放置晶圆传送盒后的电子货架装配图；
[0024]图4本技术的单层货位层板图；
[0025]图5本技术的单层货位层板折弯面及背板开孔光感面；
[0026]图6本技术的货架状态显示页面；
[0027]图7本技术的货架状态详细显示页面。
具体实施方式
[0028]下面结合附图对本技术作进一步的说明，但不以任何方式对本技术加以限制，基于本技术教导所作的任何变换或替换，均属于本技术的保护范围。
[0029]本技术中晶圆传送盒包括FOUP(前开式晶圆传送盒)和FOSB(晶元运输盒)，前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳多片晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳多片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框用于容器的开闭，是晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。
[0030]本技术公开的晶圆传送盒的电子货架管理系统，用于管理晶圆传送盒在货架中的位置。晶圆传送盒设置有RFID玻璃管标签，RFID玻璃管标签为现有技术，示例性的，本实施例中的RFID玻璃管标签采用EM4305芯片电路。它以一个交变磁场中的外部天线线圈为电能驱动，并且经由线圈终端从该磁场得到它的时钟频率。同时线圈终端受芯片内部调制器影响,转变为电流型开关调制，以便向读卡机返回传送包含制造商预先程序排列的64bit信息和命令。
[0031]参考图1到图5，电子货架管理系统包括电子货架和和服务器，晶圆传送盒设置有RFID玻璃管标签，电子货架管理系统包括电子货架和服务器，电子货架包括货架主体、货位感应元件、控制子板、控制主板、RFID天线和显示屏；所述控制主板、控制子板、RFID天线、货位感应元件之间依次通信连接；控制子板和显示屏之间通信连接；
[0032]货架主体设置多个放置晶圆传送盒的货位，每个货位设置RFID天线和货位感应元件，当晶圆传送盒放入电子货架的某个货位，货位感应元件感应到晶圆传送盒，发出晶圆传送盒放入信号。
[0033]在一些实施例中，货位感应元件为光电传感器，当晶圆传送盒放入电子货架的某
个货位，光电传感器感应到光的变化，发出晶圆传送盒放入信号给RFID天线。
[0034]在另一些实施例中，货位感应元件为轻触开关，当晶圆传送盒放入电子货架的某个货位，挤压该货位的轻触开关，轻触开关导通后，发出晶圆传送盒放入信号给RFID天线。
[0035]在另一些实施例中，货位感应元件同时包括光电传感器和轻触开关。当晶圆传送盒放入电子货架的某个货位，光电感应器首先感应到光线变化，然后轻触开关也被挤压，从而开关导通，两者都会向RFID天线发出晶圆传送盒放入信号。当货架管理系统使用时间达到一定程度后，光电感应器出现光衰现象，光电感应器的感应失效，此时轻触开关还能继续工作，保证了系统的稳定性，延长了系统的使用时间。
[0036]轻触开关和RFID天线是电性连接，光电传感器和RFID天线是通信连接。光电传感器、RFID天线、轻触开关和显示屏为本领域的现有技术，本实施例不再赘述。
[0037]RFID天线的读取模块被光电传感器或轻触开关的晶圆传送盒放入信号触发，读取该货位晶圆传送盒的RFID玻璃管标签；
[0038]RFID天线的读取模块将读取到的RFID玻璃管标签信息传输到控制子板。在一些实施例中，每个货位上设置一个控制子板，分别对货位进行控制，某个货位出故障，不会影响其他货位的工作。在另一些实施例中，每层货架上设置一个控制子板，一个控制子板集中对该本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送盒的电子货架管理系统，所述晶圆传送盒设置有RFID玻璃管标签，其特征在于，所述电子货架管理系统包括电子货架，所述电子货架包括货架主体、货位感应元件、控制子板、控制主板、RFID天线和显示屏；所述控制主板、控制子板、RFID天线、货位感应元件之间依次通信连接；所述控制子板和显示屏之间通信连接；所述货架主体设置多个放置晶圆传送盒的货位，每个货位设置RFID天线和货位感应元件，当晶圆传送盒放入电子货架的某个货位，所述货位感应元件感应到晶圆传送盒，发出晶圆传送盒放入信号；所述RFID天线的读取模块被所述货位感应元件的晶圆传送盒放入信号触发，读取该货位晶圆传送盒的RFID玻璃管标签信息；RFID天线的读取模块将读取到的RFID玻璃管标签信息传输到所述控制子板；所述控制子板将RFID玻璃管标签信息显示到所述显示屏中，并传输RFID玻璃管标签信息给所述控制主板。2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒的电子货架管理系统，其特征在于，所述货位感应元件为光电传感器和/或轻触开关...

【专利技术属性】
技术研发人员：周敏，沈聪聪，李响，刘小贵，丁颖，
申请(专利权)人：无锡芯享信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：