一种电子束强化多户离子镀靶结构装置制造方法及图纸

一种电子束强化多户离子镀靶结构装置。本实用新型专利技术针对已有多弧离子镀存在大颗粒缺陷的问题。本实用新型专利技术包括空心阴极、水冷阳极、靶、法兰盘等，空心阴极、水冷阳极、靶可拆卸绝缘密封固定安装在法兰盘上，空心阴极作为电子源，在多弧离子镀的靶附近区域引入电子束并对大颗粒有效地充电，改善涂层大颗粒缺陷。本实用新型专利技术属于涂层制备领域。用新型属于涂层制备领域。用新型属于涂层制备领域。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束强化多户离子镀靶结构装置


[0001]本技术涉及一种电子束强化多户离子镀靶结构装置，属于涂层制备领域。

技术介绍

[0002]目前，多弧离子镀是一种沉积速率高、膜基结合力强等特点的产业化的物理气相沉积技术，被广泛地应用于工模具、汽车、武器装备、电子产品等领域。但是，多弧离子镀工作过程中阴极斑点蒸发时形成的金属微熔池被溅射沉积至工件表面而形成大颗粒缺陷，限制了多弧离子镀制备高质量涂层的应用。通过粒子运动轨迹上磁场约束、增加阴极斑点运动速度等方式可以降低大颗粒缺陷，但是这些方式降低多弧离子镀的沉积速率。因此，改善多弧离子镀的大颗粒缺陷并保持它的高沉积速率，能够拓展多弧离子镀的工业化应用。

技术实现思路

[0003]针对已有多弧离子镀存在大颗粒缺陷的问题，本技术专利提供一种电子束强化多户离子镀靶结构装置。本技术专利在多弧离子镀的靶附近区域引入电子束，电子束耦合多弧离子镀放电，利用电子束对大颗粒有效充电而赋予大颗粒一定的负电荷，在偏压作用下有效抑制大颗粒运动至工件表面，进而改善涂层大颗粒缺陷。
[0004]本技术为解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束强化多户离子镀靶结构装置，其特征在于：所述一种电子束强化多户离子镀靶结构装置包括空心阴极(1)、水冷阳极(2)、靶(3)、法兰盘(4)、法兰盘绝缘环(5)、水冷阳极绝缘环(6)、空心阴极绝缘环(7)、进气管(8)、真空室(9)、偏压电源(10)、空心阴极电源(11)、离子镀电源(12)、真空泵(13)、工件转架(14)、转轴(15)、工件(16)、转轴绝缘环(17)、靶水冷腔(18)、靶绝缘套(19)；所述空心阴极(1)通过空心阴极绝缘环(7)可拆卸绝缘密封固定安装在法兰盘(4)上，水冷阳极(2)通过水冷阳极绝缘环(6)可拆卸绝缘密封固定安装在法兰盘(4)上，靶水冷腔(18)通过靶绝缘套(19)可拆卸绝缘密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：许建平，陈晶，李青川，
申请(专利权)人：黑龙江工程学院，
类型：新型
国别省市：