带有碳基涂层的织物基材及其制造方法技术

本发明专利技术涉及带有碳基涂层的织物基材并且涉及用于将疏水性碳基涂层沉积在织物基材上的空心阴极等离子体增强化学气相沉积方法。在某些实施例中，本发明专利技术在织物基材上提供了耐磨疏水性碳基涂层。疏水性碳基涂层。疏水性碳基涂层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有碳基涂层的织物基材及其制造方法


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[0001]本专利技术涉及带有碳基涂层的织物基材并且涉及用于将疏水性碳基涂层沉积在织物基材上的空心阴极等离子体增强化学气相沉积方法。
[0002]碳基疏水性涂层可以使织物基材防水，从而减少或甚至消除织物基材对水的吸收或芯吸。这些涂层还可以为涂覆的织物基材提供耐机械磨损性。

技术介绍

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[0003]众所周知，基于氟化烃的疏水性涂层可用于防水织物基材，但从生态学的角度来看，这些涂层存在问题。
[0004]已经开发出也提供一定水平的疏水性的碳基涂层。为了产生碳基涂层，可以使用所谓的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法。对于各种涂层材料，当涂覆某些织物基材时，可以使用这些方法。织物基材的涂覆在涂覆织物基材的整个三维结构方面存在额外的困难。当涂覆织物基材时，经常遇到的问题是织物基材温度的升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，所述方法包括包含以下的阶段：
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提供织物基材；
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提供线性空心阴极类型的第一等离子体源，所述第一等离子体源包括连接到AC、DC或脉冲DC发生器的至少一对空心阴极等离子体生成电极，用于将所述碳基涂层沉积在所述织物基材上；
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以每延米所述第一等离子体源的等离子体1500与4500sccm之间的流量将第一等离子体生成气体注入所述第一等离子体源的电极中；
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向所述第一等离子体源施加第一电力，使得所述等离子体的第一功率密度在每延米所述第一等离子体源的等离子体4kW与15kW之间；
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以每延米所述第一等离子体源的等离子体100与500sccm之间的流量注入碳的气态前体，所述气态前体被注入到至少在所述第一等离子体源的每个电极对的所述电极之间的等离子体中；
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通过将所述织物基材暴露于所述第一等离子体源的所述等离子体将碳基涂层沉积在所述织物基材的表面上。2.根据权利要求1所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，所述方法进一步包括包含以下的阶段：
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提供线性空心阴极类型的第二等离子体源，所述第二等离子体源包括连接到AC、DC或脉冲DC发生器的至少一对空心阴极等离子体生成电极，用于所述织物基材的表面活化；
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以每延米所述第二等离子体源1500与4500sccm之间的流量将第二等离子体生成气体注入所述第二等离子体源的电极中；
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向所述第二等离子体源供应第二电力，使得所述等离子体的第二功率密度在每延米所述第二等离子体源的等离子体10kW与20kW之间，以及
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通过将所述织物基材暴露于所述第二等离子体源的所述等离子体来活化所述织物基材的表面，然后通过将所述织物基材暴露于所述第二等离子体源的所述等离子体将所述碳基涂层沉积在所述织物基材的表面上。3.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，所述碳前体气体选自CH4、C2H4、C2H2、C3H8和C4H
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。4.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，在所述第一等离子体源的每个电极对的所述电极之间注入掺杂剂前体气体。5.根据权利要求4所述的用于在织...

【专利技术属性】
技术研发人员：G，
申请(专利权)人：旭硝子欧洲玻璃公司，
类型：发明
国别省市：