抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及抛光设备领域，公开了一种抛光装置，包括抛光盘以及进水三通管，抛光盘内设水路，水路设有进水口和出水口，进水三通管的一端与进水口连接，另两端用于分别向进水三通管内通入热水和冷水，并对应设有用于控制热水流量的进热水阀和用于控制冷水流量的进冷水阀，以使热水和冷水在进水三通管内混合后，经进水口进入水路。通过上述技术方案，热水和冷水在进水三通管内混合后进入水路内，通过进热水阀和进冷水阀分别调节热水流量和冷水流量，从而调节混合后液体的温度，进而实现对抛光盘温度的控制，避免抛光盘产生热胀冷缩而导致面型值不稳定，从而提升抛光盘的加工良品率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
抛光装置


[0001]本技术涉及抛光设备领域，具体地涉及一种抛光装置。

技术介绍

[0002]蓝宝石是制作蓝光LED的主要衬底材料，它是由高纯氧化铝经过拉晶、切片、研磨、倒角、退火、分选、贴片、铜抛、软抛和清洗工艺制作而成，其中铜抛是为了去除前期制程对蓝宝石晶片产生的缺陷。目前的铜抛加工是采用铜抛机进行，当铜抛机的抛光盘对晶片进行抛光时，由于摩擦会导致抛光盘的温度上升，因此现有技术采用冷水机与抛光盘进行连接，当抛光盘对晶片抛光之后，立即使用冷水机对抛光盘进行降温，以使其能够对下一晶片进行抛光。但是在摩擦升温以及冷水降温的过程中，抛光盘会由于热胀冷缩导致面型值不稳定，进而导致铜抛之后的晶片表面平坦度不达标，总厚度偏差较大，从而影响晶片生产的良品率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了克服现有技术存在的铜抛机采用冷水机对抛光盘进行降温产生热胀冷缩，导致抛光盘面型值不稳定的问题，提供一种抛光装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供一种抛光装置，包括抛光盘以及进水三通管，所述抛光盘内设水路，所述水路设有进水口和出水口，所述进水三通管的一端与所述进水口连接，另两端用于分别向所述进水三通管内通入热水和冷水，并对应设有用于控制热水流量的进热水阀和用于控制冷水流量的进冷水阀，以使热水和冷水在所述进水三通管内混合后，经所述进水口进入所述水路。
[0005]优选地，所述抛光装置还包括测温装置和控制器，所述测温装置用于获取所述抛光盘的温度并发出温度信号，所述控制器用于接受所述温度信号，并根据所述温度信号控制所述进热水阀和/或所述进冷水阀的启闭。
[0006]优选地，所述测温装置为红外测温器，所述红外测温器的测线适于照射在所述抛光盘的抛光面上。
[0007]优选地，所述水路包括多个支路，多个所述支路从所述抛光盘的中心沿径向向外呈放射状排布，且多个所述支路均与所述进水口以及所述出水口连通。
[0008]优选地，每个所述支路均为U形结构，其连接所述进水口的一端靠近所述抛光盘的抛光面设置，所述支路连接所述出水口的一端远离所述抛光盘的抛光面设置。
[0009]优选地，所述水路还包括分流通道，所述分流通道沿所述抛光盘的轴向延伸设置于所述抛光盘的中心，并具有内外两层通道，其中内层通道设有所述进水口，外层通道设有所述出水口。
[0010]优选地，所述抛光装置还包括：冷水器和热水器，所述冷水器与所述进水三通管的用于通入冷水的一端相连，所述热水器与所述进水三通管的用于通入热水的一端相连。
[0011]优选地，所述抛光装置还包括出水三通管，所述出水三通管的一端与所述出水口
相连，另两端分别连接所述冷水器和所述热水器，并对应设有出热水阀和出冷水阀；
[0012]所述控制器用于根据所述温度信号开启所述出热水阀和所述出冷水阀中的一个。
[0013]优选地，所述出水三通管和所述进水三通管均与所述抛光盘可拆卸地连接。
[0014]优选地，所述进水三通管连接所述进水口的一端设有调压阀。
[0015]通过上述技术方案，在抛光盘内设置水路，并设置进水三通管用于混合热水和冷水，而后将混合后的液体通入水路内，通过进热水阀和进冷水阀分别调节热水流量和冷水流量，从而调节混合后液体的温度，进而实现对抛光盘温度的控制，避免抛光盘产生热胀冷缩而导致面型值不稳定，从而提升抛光盘的加工良品率。
附图说明
[0016]图1是本技术的抛光装置的一种实施方式的结构示意图；
[0017]图2是图1中抛光盘的放大示意图。
[0018]附图标记说明
[0019]1.抛光盘；2.水路；3.进水三通管；4.进热水阀；5.进冷水阀；6.支路；7.分流通道；8.出水三通管；9.出热水阀；10.出冷水阀；11.调压阀。
具体实施方式
[0020]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。
[0021]本技术提供一种抛光装置，包括抛光盘1以及进水三通管3，所述抛光盘1内设水路2，所述水路2设有进水口和出水口，所述进水三通管3的一端与所述进水口连接，另两端用于分别向所述进水三通管3内通入热水和冷水，并对应设有用于控制热水流量的进热水阀4和用于控制冷水流量的进冷水阀5，以使热水和冷水在所述进水三通管3内混合后，经所述进水口进入所述水路2。
[0022]通过上述技术方案，在抛光盘1内设置水路2，并设置进水三通管3用于混合热水和冷水，而后将混合后的液体通入水路2内，通过进热水阀4和进冷水阀5分别调节热水流量和冷水流量，从而调节混合后液体的温度，进而实现对抛光盘1温度的控制，避免抛光盘1产生热胀冷缩而导致面型值不稳定，从而提升抛光盘1的加工良品率。
[0023]为了能够适时的获取抛光盘1的温度，并根据实时温度对水路2内的水温进行调节，避免水路2内的水温与抛光盘1的温度具有较大温差，从而导致抛光盘1的热胀冷缩，进一步的，所述抛光装置还包括测温装置和控制器，所述测温装置用于获取所述抛光盘1的温度并发出温度信号，所述控制器用于接受所述温度信号，并根据所述温度信号控制所述进热水阀4和/或所述进冷水阀5的启闭，即控制器可以同时调节进热水阀4和进冷水阀5的启闭以及开启程度，以调节热水和冷水的流量；也可以使进热水阀4一直开启，而仅通过控制器控制进冷水阀5的启闭以及开启程度以进行混合，实现温度调节；也可以使进冷水阀5一直开启，而仅通过控制器控制进热水阀4的启闭以及开启程度以进行混合，实现温度调节，因此，进热水阀4和进冷水阀5可以根据以上不同的使用方式而适应性的设置为开闭阀或者调节阀。当然，在其他实施方式中，也可以不设置控制器，此时测温装置用于获取所述抛光盘1的温度并显示该温度，使用人员根据显示的温度调节进热水阀4和/或所述进冷水阀5的
启闭。
[0024]本技术对测温装置的具体结构不做限定，优选的，所述测温装置为红外测温器，所述红外测温器的测线适于照射在所述抛光盘1的抛光面上。当然，在其他实施方式中，测温装置也可以是设置在抛光盘1内的温度传感器，以用于获取抛光面的温度。
[0025]本技术对水路2的具体结构不做限定，优选的，如图2所示的实施方式中，所述水路2包括多个支路6，多个所述支路6从所述抛光盘1的中心沿径向向外呈放射状排布，且多个所述支路6均与所述进水口以及所述出水口连通，从而使抛光盘1的抛光面的各径向方向受到相同的温度调节，由于水路2中的液体随着移动路径的延伸以及与抛光盘1进行温度置换的时长的增长会逐渐改变温度，并降低自身温度置换的效果，因此相较于沿抛光盘1的周向设置的形状，采用放射状排布能够减低这种温度置换效果逐渐降低带来的影响，避免抛光盘1的不同位置形成较大的温差，从而影响温度调节的效果。当然，在其他实施方式中，水路2也可以是沿抛光盘1的周向设置的环形通道，或者平行于抛光面的平面螺旋形通道。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抛光装置，其特征在于，包括：抛光盘(1)，所述抛光盘(1)内设水路(2)，所述水路(2)设有进水口和出水口；以及进水三通管(3)，所述进水三通管(3)的一端与所述进水口连接，另两端用于分别向所述进水三通管(3)内通入热水和冷水，并对应设有用于控制热水流量的进热水阀(4)和用于控制冷水流量的进冷水阀(5)，以使热水和冷水在所述进水三通管(3)内混合后，经所述进水口进入所述水路(2)。2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括：测温装置，所述测温装置用于获取所述抛光盘(1)的温度并发出温度信号；和控制器，所述控制器用于接受所述温度信号，并根据所述温度信号控制所述进热水阀(4)和/或所述进冷水阀(5)的启闭。3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述测温装置为红外测温器，所述红外测温器的测线适于照射在所述抛光盘(1)的抛光面上。4.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述水路(2)包括多个支路(6)，多个所述支路(6)从所述抛光盘(1)的中心沿径向向外呈放射状排布，且多个所述支路(6)均与所述进水口以及所述出水口连通。5.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，每个所述支路(6)均为U形结构，其连接所述进水口的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王忠海，宋亚滨，翟虎，陆继波，陈桥玉，潘涛，赵亨山，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：