清洗花篮制造技术

本公开提供一种清洗花篮，包括两个框架板，两个所述框架板相对设置；至少一个竖向晶片插位板，所述竖向晶片插位板连接于两个所述框架板的下部之间，用于支撑晶片的底部；和两个横向晶片插位板，两个所述横向晶片插位板连接于两个框架板的上部之间，且相互间隔设置，用于固定晶片的两侧；其中，所述竖向晶片插位板与所述横向晶片插位板上均沿插位板的长度方向相互间隔设置有多个供晶片插设的插位。本公开能够有效解决现有蓝宝石晶片清洗花篮对晶片的遮挡较多，无法将晶片表面的脏污及清洗药剂完全清理干净，影响晶片表面质量的问题。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及蓝宝石晶片清洗，尤其涉及一种清洗花篮。

技术介绍

1、随着高亮度led在照明工程领域需求量的急剧增长，带动了国内蓝宝石衬底材料制造产业的发展，蓝宝石具有优异的力学性能、良好的热学性能，是半导体发光二极管、大规模集成电路及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。

2、蓝宝石衬底晶片在每个加工工段后，都需要进行清洗，去除上一个工段遗留的污渍，防止对下一个工序造成影响。

3、目前的蓝宝石晶片清洗过程为：去油污溶液超声清洗-喷淋-去脏污清洗剂超声清洗-喷淋-除残留溶剂超声清洗-喷淋-脱水-烘干，由上述过程可知在蓝宝石晶片清洗过程中需要进行多道超声波清洗以及多道喷淋。现有的用于盛放晶片的清洗花篮通常呈顶部与底部为敞口的箱状，在清洗花篮内的相对两内侧壁上分别设置有凹槽状的供晶片插设的插槽。但是这种清洗花篮在侧面对晶片的遮挡区域较多，不利于超声均匀的到达晶片表面，也不利于对晶片的表面进行冲洗，无法将晶片表面的脏污及清洗药剂完全清洗干净，影响晶片的表面质量，需要进行二次返洗，从而增加清洗成本。

技术实现思路<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种清洗花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述框架板(10)上开设有能够减少所述框架板(10)对晶片遮挡的让位孔(111)。

3.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述竖向晶片插位板(2)和/或所述横向晶片插位板(3)设置为能够沿所述框架板(10)的长度方向可锁止地滑动。

4.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述竖向晶片插位板(2)和/或所述横向晶片插位板(3)设置为能沿所述框架板(10)的高度方向可锁止地滑动。

5.根据权利要求4所述的清洗花篮，其特征在于，所述框架板(10)包括...

【技术特征摘要】

1.一种清洗花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述框架板(10)上开设有能够减少所述框架板(10)对晶片遮挡的让位孔(111)。

3.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述竖向晶片插位板(2)和/或所述横向晶片插位板(3)设置为能够沿所述框架板(10)的长度方向可锁止地滑动。

4.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述竖向晶片插位板(2)和/或所述横向晶片插位板(3)设置为能沿所述框架板(10)的高度方向可锁止地滑动。

5.根据权利要求4所述的清洗花篮，其特征在于，所述框架板(10)包括主板(11)、设置在所述主板(11)顶部的顶板(12)以及设置在所述主板(11)底部的底板(13)；

6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘彬，翟虎，李晓东，洪飞，钱大伟，程旭，杨静怡，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：