本实用新型专利技术提供一种臭氧水制备装置，包括水箱、臭氧发生器和震荡搅拌装置，所述水箱上设置有第一进气口、进水口和出水口，所述第一进气口与所述臭氧发生器连接，所述震荡搅拌装置用于震荡搅拌所述水箱内的液体，所述出水口与所述水箱底部之间的距离大于所述第一进气口与所述水箱底部之间的距离。本实用新型专利技术实施例有助于提高臭氧在水中的溶解度。例有助于提高臭氧在水中的溶解度。例有助于提高臭氧在水中的溶解度。
【技术实现步骤摘要】
一种臭氧水制备装置
[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种臭氧水制备装置。
技术介绍
[0002]半导体加工过程中，例如晶圆湿法清洗工艺中，通常需要利用臭氧水对晶圆进行清洗，能够使得晶圆表面的有机污渍被氧化去除，通过臭氧水清洗晶圆，还能在晶圆表面形成一层致密的氧化膜以起到保护晶圆的作用。由于臭氧在水中的溶解相对不稳定，因此通常在使用时进行臭氧水的制备，相关技术中，臭氧水中臭氧的溶解效率相对较低，造成臭氧的浪费。
技术实现思路
[0003]本技术实施例提供了一种臭氧水制备装置，以解决现有臭氧水制备设备过程中臭氧溶解效率低导致臭氧浪费的问题。
[0004]本技术实施例提供了一种臭氧水制备装置，包括水箱、臭氧发生器和震荡搅拌装置，所述水箱上设置有第一进气口、进水口和出水口，所述第一进气口与所述臭氧发生器连接，所述震荡搅拌装置用于震荡搅拌所述水箱内的液体，所述出水口与所述水箱底部之间的距离大于所述第一进气口与所述水箱底部之间的距离。
[0005]在一些实施例中，所述水箱上还设置有第二进气口，所述第二进气口与二氧化碳发生装置连接。
[0006]在一些实施例中，所述水箱上还设置有排气口，所述排气口上设置有泄压阀，所述泄压阀配置为在所述水箱内的压力大于预设压力阈值时，沿着由所述水箱内部到外部的方向开启。
[0007]在一些实施例中，所述震荡搅拌装置设置于所述水箱内部，且所述震荡搅拌装置位于所述第一进气口和所述出水口之间；或者
[0008]所述震荡搅拌装置贴附于所述水箱底部的外侧。
[0009]在一些实施例中，所述进水口与所述水箱的顶部之间的距离小于所述出水口与所述水箱顶部之间的距离，所述水箱内还设置有稳流板，所述稳流板设置于所述进水口和所述出水口之间，所述稳流板上开设有多个开孔，且所述进水口朝向所述稳流板设置。
[0010]在一些实施例中，还包括扩散板，所述扩散板设置于所述水箱内部且位于所述第一进气口和所述出水口之间，所述第一进气口朝向所述扩散板设置。
[0011]在一些实施例中，所述扩散板呈倒置的锥形，所述第一进气口朝向所述扩散板的顶点设置，沿着由所述水箱的底部到顶部的方向上，所述扩散板由所述水箱的中央向边缘延伸。
[0012]在一些实施例中，所述出水口与输出控制组件连接，所述输出控制组件包括浓度计、三通阀、循环管路和输出管路，所述三通阀分别连接所述出水口、所述循环管路和所述输出管路，所述浓度计连接于所述出水口和所述三通阀之间；
[0013]所述三通阀配置为所述浓度计检测到的臭氧浓度大于预设浓度阈值时，控制所述输出管路与所述出水口相连通，所述浓度计检测到的臭氧浓度不大于所述预设浓度阈值时，控制所述循环管路与所述出水口相连通，其中，所述循环管路的输出端与所述水箱相连。
[0014]在一些实施例中，还包括冷却组件，所述进水口通过所述冷却组件与供水管路连接。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。
[0016]图1是本技术实施例中臭氧水制备装置的结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]本技术实施例提供了一种臭氧水制备装置。
[0019]在一个实施例中，该臭氧水制备装置包括水箱101、臭氧发生器102和震荡搅拌装置103。
[0020]水箱101上设置有第一进气口1011、进水口1012和出水口1013。
[0021]第一进气口1011与臭氧发生器102连接，工作过程中，通过臭氧发生器102产生臭氧，所产生的臭氧通过第一进气口1011提供至水箱101内，以与水箱101内的水混合获得臭氧水，在一些实施例中，可以在第一进气口1011和臭氧发生器102之间设置臭氧过滤器1021，以过滤气体中的杂质，有助于提高获得的臭氧水的纯度。
[0022]进水口1012用于向水箱101内提供水，在一些较佳的实施例中，所提供的水为去离子水，能够提高臭氧水的纯净度，减少污染。在一些实施例中，可以在进水口1012设置紊流器，紊流器可以选择现有的紊流器，本实施例中不对紊流器的结构做进一步限定，通过设置该紊流器，能够分散水流，使得注入水箱101中的水和水箱101中的臭氧水混合的更加充分均匀。
[0023]在一些实施例中，还包括冷却组件，进水口1012通过冷却组件与供水管路连接，通过设置该冷却组件，有助于降低进入水箱101中水的温度，从而有助于提高臭氧的溶解度，有助于降低臭氧的浪费。
[0024]震荡搅拌装置103用于震荡搅拌水箱101内的液体，具体的，用于在臭氧和水混合过程中对臭氧和水进行搅拌，该震荡搅拌装置103可以选择具有较高震动频率的震荡搅拌装置103，以将臭氧打散为小团气泡，从而有助于增加臭氧和水的接触面积，使得臭氧和水充分接触，以提高臭氧在水中的溶解度。
[0025]出水口1013用于输出制备的臭氧水，在一些实施例中，出水口1013可以设置臭氧水过滤器10131，以对制备的臭氧水进行过滤，有助于去除臭氧水中的杂质，提高制备的臭氧水的纯净度。
[0026]出水口1013与水箱101底部之间的距离大于第一进气口1011与水箱101底部之间的距离，换句话说，出水口1013位于第一进气口1011的上方。可以理解，由于水中臭氧的溶解度是一定的，因此，输入到水箱101中的臭氧的量一般是过量的，通过将出水口1013的高度设置的高于第一进气口1011，能够提高水与臭氧的接触时间，从而有助于提高臭氧在水中的溶解度。
[0027]在一些实施例中，水箱101上还设置有第二进气口1014，第二进气口1014与二氧化碳发生装置连接。
[0028]该第二进气口1014用于向水箱101内注入二氧化碳，通过向水箱101内注入二氧化碳，能够使得水箱101中的水呈微弱的酸性，从而有助于抑制臭氧的分解，有助于提高制作的臭氧水的浓度。
[0029]在一些实施例中，水箱101上还设置有排气口1015，本实施例中，排气口1015用于排除多余的二氧化碳和臭氧，排气口1015连接至尾气回收和处理装置，以对多余的二氧化碳和臭氧进行回收处理，从而避免造成环境污染。
[0030]排气口1015上设置了泄压阀，排气口1015上设置有泄压阀，泄压阀配置为在水箱101内的压力大于预设压力阈值时，沿着由水箱101内部到外部的方向开启。需要理解的是，在不本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种臭氧水制备装置，其特征在于，包括水箱、臭氧发生器和震荡搅拌装置，所述水箱上设置有第一进气口、进水口和出水口，所述第一进气口与所述臭氧发生器连接，所述震荡搅拌装置用于震荡搅拌所述水箱内的液体，所述出水口与所述水箱底部之间的距离大于所述第一进气口与所述水箱底部之间的距离。2.根据权利要求1所述的臭氧水制备装置，其特征在于，所述水箱上还设置有第二进气口，所述第二进气口与二氧化碳发生装置连接。3.根据权利要求1所述的臭氧水制备装置，其特征在于，所述水箱上还设置有排气口，所述排气口上设置有泄压阀，所述泄压阀配置为在所述水箱内的压力大于预设压力阈值时，沿着由所述水箱内部到外部的方向开启。4.根据权利要求1所述的臭氧水制备装置，其特征在于，所述震荡搅拌装置设置于所述水箱内部，且所述震荡搅拌装置位于所述第一进气口和所述出水口之间；或者所述震荡搅拌装置贴附于所述水箱底部的外侧。5.根据权利要求1所述的臭氧水制备装置，其特征在于，所述进水口与所述水箱的顶部之间的距离小于所述出水口与所述水箱顶部之间的距离，所述水箱内还设置有稳流板，所述稳流板设置于所述进水口和所述出水口之间，所述稳流板上开设有...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏建生，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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