【技术实现步骤摘要】
单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统
[0001]本申请涉及硬质材料切割技术,尤其涉及一种单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统。
技术介绍
[0002]随着异质结电池的发展,小片硅片的需求越来越大,而且对薄片的需求量也比较大。硅片厚度从原来180微米到150微米,将来的市场甚至可能需要100微米厚度硅片,而硅片越薄其切割难度就越大,切割质量越不容易保证。
[0003]传统方案中,通常是先将圆柱形的单晶硅棒切割成方棒,然后将方棒切割成大片硅片,再采用激光技术上对大片硅片进行划片切割形成小片硅片,但激光划片的过程会造成小片硅片的横断面产生损伤和缺陷态,严重影响最终加工成的异质结电池的转换效率。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术缺陷之一,本申请实施例中提供了一种单线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统。
[0005]根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种单线切割硅棒的方法,包括:
[0006]沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对硅棒进行切割,切割后形成第一侧面,第一侧面的宽度小于硅棒的直径;
[0007]沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行四次切割,每次均通过一条切割线进行切割;四次切割形成的切割面中有两个切割面与第一侧面垂直,另外两个切割面与第一侧面平行;经过四次切割后形成两个小硅棒,每个小硅棒的横截面为矩形。
[0008]根据本申请实施例的第二个方面,提供了一种应用如上单线切割硅棒方法的切割设备,包括:
[0009]基座;
[0 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单线切割硅棒的方法,其特征在于,包括:沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对硅棒进行切割,切割后形成第一侧面,第一侧面的宽度小于硅棒的直径;沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行四次切割,每次均通过一条切割线进行切割;四次切割形成的切割面中有两个切割面与第一侧面垂直,另外两个切割面与第一侧面平行;经过四次切割后形成两个小硅棒,每个小硅棒的横截面为矩形。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,经过四次切割后形成的两个小硅棒的横截面积之比大于或等于1:3。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,还包括:沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对其中一个小硅棒进行切割,将该小硅棒切割为横截面为矩形的两个子硅棒。4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行四次切割,每次均通过一条切割线进行切割形成一个切割面,包括:沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行三次切割,每次均通过一条切割线进行切割;三次切割形成的一个切割面与第一侧面平行,且该切割面与第一侧面分布于硅棒中心线的两侧;三次切割形成的另外两个切割面与第一侧面垂直,且分布于硅棒中心线的两侧;经过三次切割后得到横截面为矩形的方棒;沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对方棒进行切割,得到两个横截面为矩形的小硅棒。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行三次切割,包括:第一步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面垂直相交;第二步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面垂直相交,且形成的切割面宽度小于硅棒的直径;第二步切割形成的切割面与第一步切割形成的切割面分别位于硅棒中心线的两侧;第三步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面平行,且该切割面与第一侧面分别位于硅棒中心线的两侧;第三步切割形成的切割面分别与第一步和第二步所形成的切割面相交,得到横截面为矩形的方棒。6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行三次切割,包括:第一步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面平行,且该切割面与第一侧面分别位于硅棒中心线的两侧;第二步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面分别与第一侧面和第一步切割形成的切割面垂直相交;第三步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面分别与第一侧面和第一步切割形成的切割面垂直相交;第三步切割形成的切割面与第二步切割形成的切割面分别位于硅棒中心线的两侧,得到横截面为矩形的方棒。
7.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行三次切割,包括:第一步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面垂直相交;第二步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一步切割形成的切割面垂直相交;第二步切割形成的切割面与第一侧面分别位于硅棒中心线的两侧;第三步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第二步切割形成的切割面垂直相交;第三步切割形成的切割面与第一步切割形成的切割面分别位于硅棒中心线的两侧,得到横截面为矩形的方棒。8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,沿着硅棒的长度方向对形成有第一侧面的硅棒进行四次切割,每次均通过一条切割线进行切割形成一个切割面,包括:第一步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面垂直相交;第二步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面垂直相交;第二步切割形成的切割面与第一步切割形成的切割面分别位于硅棒中心线的两侧;第三步,沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对形成有第一侧面的硅棒进行切割,形成的切割面与第一侧面平行且分别与第一步和第二步切割形成的切割面相交;第三步...
【专利技术属性】
技术研发人员:周波,范国强,王叶兰,于文文,
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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