一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及碳化硅技术领域，具体为一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置，包括机体和固定安装在机体内侧的收集箱，还包括旋转支撑机构、夹持机构、下压机构、上胶机构、刮胶机构和刮平机构，所述旋转支撑机构固定安装在收集箱内部，本实用新型专利技术通过设置有刮胶机构和刮平机构，当胶水滴落在晶片顶部，打开电动升降套杆使电动升降套杆带动刮板上下移动至合适高度，使刮板与晶片之间保持合适的间距，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动刮板进行移动，使刮板将晶片顶部的胶水进行刮平，使胶水可以更加均匀的铺设在晶片的顶部，胶水的分布更加的均匀，可以有效的防止在粘合过程中产生气泡，导致后续籽晶片的脱落，有效的提升了装置的粘合效果。置的粘合效果。置的粘合效果。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置


[0001]本技术涉及碳化硅产生
，特别是涉及一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置。

技术介绍

[0002]碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、石油焦、木屑生产绿色碳化硅时需要加食盐等原料通过电阻炉高温冶炼而成，碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石，籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体，是生长单晶的种子，也叫晶种。用不同晶向的籽晶做晶种，会获得不同晶向的单晶，碳化硅产生时对籽晶片进行粘合。
[0003]目前使用的粘合装置在使用时通常无法更加便捷的对胶水进行刮平，在粘合过程中胶水不平整会导致粘合过程中产生气泡，导致粘合不均匀，长时间使用会导致籽晶片的脱落，同时在粘贴过程中无法更好的确保边缘的平整，影响粘合的效果。
[0004]因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本技术提供了一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置。
[0006]本技术为达到上述目的所采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置，包括机体（1）和固定安装在机体（1）内侧的收集箱（2），其特征在于：还包括旋转支撑机构（3）、夹持机构（5）、下压机构（6）、上胶机构（8）、刮胶机构（9）和刮平机构（10），所述旋转支撑机构（3）固定安装在收集箱（2）内部，所述旋转支撑机构（3）顶部放置有晶片（4），所述夹持机构（5）固定安装在收集箱（2）内壁两侧，所述下压机构（6）固定安装在机体（1）顶部，所述下压机构（6）底部连接有籽晶片（7），所述上胶机构（8）设置在机体（1）顶部两侧，所述刮胶机构（9）固定安装在收集箱（2）顶部一侧，所述刮胶机构（9）包括固定安装在收集箱（2）顶部一侧的丝杆滑台（91）、固定安装在丝杆滑台（91）的滑动块顶部的第二安装块（92）、固定安装在第二安装块（92）顶部的电动升降套杆（93）和固定安装在电动升降套杆（93）的伸缩端的刮板（94），所述刮平机构（10）固定安装在收集箱（2）内壁一侧。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置，其特征在于：所述旋转支撑机构（3）包括支撑架（31）、底座（32）、电动转盘（33）和支撑台（34），所述支撑架（31）固定安装在收集箱（2）内壁底部，所述底座（32）固定安装在支撑架（31）顶部，所述电动转盘（33）固定安装在底座（32）顶部，所述支撑台（34）固定安装在电动转盘（33）顶部。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置，其特征在于：所述夹持机构（5）包括两个分别固定安装在收集箱（2）顶部两侧的固定杆（51）、两个分别固定安装在两个固定杆（51）一侧的第一安装块（52）、两个分别固定安装在两个第一安装块（52）一侧的电动推杆（53）和两个分别固定安装在两个电动推杆（53）的伸缩端的夹板（54）。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置，其特征在于：所述下压机构（6）包括第一气缸（61）、第一推杆（62）、第一连接块（63）、第一卡槽（64）、第一卡块（65）和吸盘（66），所述第一气缸（61）固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有群，高攀，贺贤汉，章磊，周杰，孙大方，
申请(专利权)人：安徽微芯长江半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：