一种刀具调节结构及划片机制造技术

本发明专利技术提供的一种刀具调节结构及划片机，属于机械传动技术领域，刀具调节结构包括：安装座，与划片机本体固定连接；划刀支架，通过旋转轴转动安装在所述安装座上；驱动件，驱动端与所述旋转轴连接；所述驱动件带动所述旋转轴进行转动，改变所述划刀与晶圆接触时施加的抵接力；本发明专利技术将划刀支架通过旋转轴安装在安装座上，所以划刀能围绕旋转轴进行旋转，通驱动件带动旋转轴旋转，驱动件间接带动划刀围绕旋转轴旋转，划刀的旋转一方面可以改变划刀与晶圆的抵接的深度，另一方面可以改变在划刀的轴线的方向上划刀施加到晶圆上的力，进而够调整划刀与晶圆接触时施加的抵接力，从而实现晶圆切割过程中精确调节切割力的大小的优点。切割过程中精确调节切割力的大小的优点。切割过程中精确调节切割力的大小的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种刀具调节结构及划片机


[0001]本专利技术涉及机械传动
，具体涉及一种刀具调节结构及划片机。

技术介绍

[0002]主要针对砷化镓、磷化铟材质的光通信芯片，晶圆在使用前需要进行切割，传统的晶圆切割技术，都是手工采用金刚石刀进行切割，耗材大，力度不能确定，切割出来的晶圆芯片相距的宽度比较大，不均匀，适用性差，效率低下。
[0003]现有技术中使用弹簧压力的方式，但是精度会有误差，并且弹簧的使用寿命较短，所以提供一种晶圆切割过程中能够精准调节切割力大小的装置成为目前晶圆切割的主要问题。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的不能精准调节切割力的缺陷，从而提供一种刀具调节结构：包括安装座，与划片机本体固定连接；划刀支架，通过旋转轴转动安装在所述安装座上；所述划刀支架的一端连接有划刀；驱动件，驱动端与所述旋转轴连接；所述驱动件带动所述旋转轴进行转动，改变所述划刀与晶圆接触时施加的抵接力。
[0005]配重块，与所述旋转轴连接；所述划刀支架与所述配重块分别设置在所述旋转轴的两侧。
[0006]作为优选方案，还包括：拨杆，一端与所述旋转轴呈角度连接，另一端与驱动件连接。
[0007]作为优选方案，所述驱动件为电机；所述电机通过传动结构与所述拨杆连接；所述传动结构将电机的旋转运动转换成直线运动。
[0008]作为优选方案，还包括：张力计，通过传动结构与所述驱动件的驱动端连接；所述张力计具有阻挡杆；所述阻挡杆设置在所述拨杆旋转方向的前端。
[0009]作为优选方案，所述划刀支架具有以所述旋转轴为中心，朝向晶圆方向转动的趋势；所述阻挡杆设置在所述拨杆的靠近所述划刀的一侧。
[0010]作为优选方案，所述拨杆与所述旋转轴垂直设置；所述阻挡杆与所述旋转轴平行设置。
[0011]作为优选方案，还包括：连接座，与安装座连接；所述连接座内设置有安装槽，所述划刀支架通过旋转轴转动设置在所述安装槽内。
[0012]作为优选方案，所述划刀施加到晶圆上的力的范围为3g
‑
20g。
[0013]一种划片机，包括上述任一项所述的刀具调节结构。
[0014]本专利技术技术方案，具有如下优点： 1.本专利技术提供的刀具调节结构包括，安装座，与划片机本体固定连接；划刀支架，通过旋转轴转动安装在所述安装座上；所述划刀支架的一端连接有划刀；驱动件，驱动端与所述旋转轴连接；所述驱动件带动所述旋转轴进行转动，改变所述划刀与晶圆接触时施加的抵接力。
[0015]本专利技术将划刀支架通过旋转轴安装在安装座上，所以划刀能围绕旋转轴进行旋转，通过驱动件带动旋转轴旋转，驱动件间接带动划刀围绕旋转轴旋转，从而实现驱动件带动划刀旋转，划刀的旋转一方面可以改变划刀与晶圆的抵接的深度，另一方面可以改变在划刀的轴线的方向上划刀施加到晶圆上的力，进而够调整划刀与晶圆接触时施加的抵接力，从而实现晶圆切割过程中精确调节切割力的大小的优点。
[0016]2.本专利技术提供的刀具调节结构还包括，配重块，配重块与划刀支架分别设置在旋转轴两侧，因为划刀与旋转轴的重心不共线，所以划刀具有旋转的趋势，为了平衡划刀旋转的趋势，设置有配重块，并使整体装置更加精密。
[0017]3.本专利技术提供的刀具调节结构中的驱动件为电机，在驱动件的输出端连接有传动结构，在电机的输出轴设有丝杠结构，电机在丝杠结构的作用下能够实现将电机的旋转运动转变为直线运动，满足本装置中拨杆带动旋转轴的运动。
[0018]4.本专利技术提供的刀具调节结构还包括，拨杆，一端与所述旋转轴呈角度连接，另一端与驱动件连接。拨杆与旋转轴固定连接能够保证内部的传动效率不会丢失。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术提供的刀具调节结构的第一种实施方式整体示意图。
[0021]图2为本专利技术提供的刀具调节结构中配重块的示意图。
[0022]图3为本专利技术提供的刀具调节结构的张力计的示意图。
[0023]图4为本专利技术提供的刀具调节结构的电机的示意图。
[0024]图5为本专利技术提供的刀具调节结构的第二种实施方式整体示意图。
[0025]图6为本专利技术提供的刀具调节结构的第二种实施方式局部结构示意图。
[0026]附图标记说明：1、划刀支架；2、划刀；3、阻挡杆；4、张力计；5、拨杆；6、配重块；7、电机；8、旋转轴；9、丝杠；10、安装座；11、连接座。
具体实施方式
[0027]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0030]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0031]本专利技术提供的刀具调节结构包括，安装座10，与划片机本体固定连接；划刀支架1，通过旋转轴8转动安装在所述安装座10上；所述划刀支架1的一端连接有划刀2；驱动件，驱动端与所述旋转轴8连接；所述驱动件带动所述旋转轴8进行转动，改变所述划刀2与晶圆接触时施加的抵接力。
[0032]本专利技术将划刀支架1通过旋转轴8安装在安装座10上，所以划刀2能围绕旋转轴8进行旋转，通过驱动件带动旋转轴8旋转，驱动件间接带动划刀2围绕旋转轴8旋转，从而实现驱动件带动划刀2旋转，划刀2的旋转一方面可以改变划刀2与晶圆的抵接的深度，另一方面可以改变在划刀2的轴线的方向上划刀2施加到晶圆上的力，进而够调整划刀2与晶圆接触时施加的抵接力，从而实现晶圆切割过程中精确调节切割力的大小的优点。
[0033]如图1所示，在安装座10上连接有连接座11，所述连接座11内开设有安装槽，划刀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刀具调节结构，其特征在于，包括：安装座（10），与划片机本体固定连接；划刀支架（1），通过旋转轴（8）转动安装在所述安装座（10）上；所述划刀支架（1）的一端连接有划刀（2）；驱动件，驱动端与所述旋转轴（8）连接；所述驱动件带动所述旋转轴（8）进行转动，改变所述划刀（2）与晶圆接触时施加的抵接力；配重块（6），与所述旋转轴（8）连接；所述划刀支架（1）与所述配重块（6）分别设置在所述旋转轴（8）的两侧。2.根据权利要求1所述的刀具调节结构，其特征在于，还包括：拨杆（5），一端与所述旋转轴（8）呈角度连接，另一端与驱动件连接。3.根据权利要求2所述的刀具调节结构，其特征在于，所述驱动件为电机（7）；所述电机（7）通过传动结构与所述拨杆（5）连接；所述传动结构将电机（7）的旋转运动转换成直线运动。4.根据权利要求3所述的刀具调节结构，其特征在于，还包括：张力计（4），通过传动结构与所述驱动件的驱动端连接；所述张力计...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨木，张文杰，张一暾，温子勋，马修远，刘亚洲，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：