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本实用新型涉及碳化硅技术领域，具体为一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置，包括机体和固定安装在机体内侧的收集箱，还包括旋转支撑机构、夹持机构、下压机构、上胶机构、刮胶机构和刮平机构，所述旋转支撑机构固定安装在收集箱内部，本实用新型通过设置有刮胶...
该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。

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