安全防护装置及硅棒传输系统制造方法及图纸

技术编号:33738629 阅读:16 留言:0更新日期:2022-06-08 21:36
本实用新型专利技术公开一种安全防护装置及硅棒传输系统,涉及硅棒加工技术领域,在有效防止硅棒及机械手的零部件掉落砸伤操作人员的情况下,用于改善工作环境减少操作人员工作量,提高操作人员工作效率,提升车间自动化水平。安全防护装置包括第一防护组件,第一防护组件随动的设置在机械手的下方。第一防护组件具有第一防护空间,硅棒容纳在第一防护空间内。第一防护组件的底部具有闭合状态和开启状态,承载有硅棒的机械手在硅棒加工工位之间滑动时,第一防护组件的底部处于闭合状态,承载有硅棒的机械手位于硅棒加工工位时,第一防护组件的底部处于开启状态。本实用新型专利技术还提供了硅棒传输系统,包括导轨、机械手和上述的安全防护装置。置。置。

【技术实现步骤摘要】
安全防护装置及硅棒传输系统


[0001]本技术涉及硅棒加工
,尤其涉及一种安全防护装置及硅棒传输系统。

技术介绍

[0002]硅片由硅棒加工而成,加工工序依次为:粘棒、切片、脱胶、插片、清洗、分选。粘棒是指将硅棒用胶水粘到晶托上,然后送入切片机切割成硅片,再经过脱胶工序将晶托与硅片分离,而后插片机将硅片插入花篮,再经过清洗机清洗后,分选机分出不同等级的硅片,至此完成半成品硅片的生产。
[0003]现有技术中,在切片工位,沿着硅棒的输送方向往往设置有多台切片机,机械手沿着导轨完成硅棒在切片机之间的输送。
[0004]为了降低安全事故的发生概率,现有技术中,一般采用“全包裹”的防护方式,在机械手的运行区域内,切片机的顶部铺设钢板,运行区域侧部采用带安全插销的手动防护门。这种安全防护方式,不仅使得光照不足,影响操作人员视野,而且操作空间局促,自动化水平较低。再者,防护门一般较笨重,不便于操作人员操作,同时降低了工作效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种安全防护装置及硅棒传输系统,在有效防止硅棒及机械手的零部件掉落砸伤操作人员的情况下,用于改善工作环境减少操作人员工作量,提高操作人员工作效率,提升车间自动化水平。
[0006]为了实现上述目的,第一方面,本技术提供一种安全防护装置。该安全防护装置应用于硅棒传输系统。硅棒传输系统包括导轨和机械手,沿导轨的延伸方向间隔分布多个硅棒加工工位,机械手沿导轨滑动设置,用于将硅棒搬运至硅棒加工工位。安全防护装置包括第一防护组件,第一防护组件随动的设置在机械手的下方。第一防护组件具有第一防护空间,硅棒容纳在第一防护空间内。第一防护组件的底部具有闭合状态和开启状态,承载有硅棒的机械手在硅棒加工工位之间滑动时,第一防护组件的底部处于闭合状态,承载有硅棒的机械手位于硅棒加工工位时,第一防护组件的底部处于开启状态。
[0007]采用上述技术方案时,承载有硅棒的机械手沿导轨滑动将硅棒搬运至硅棒加工工位,而第一防护组件随动的设置在机械手的下方,由此可见,当机械手沿着导轨滑动时,第一防护组件随着机械手同步沿着导轨滑动。不仅如此,第一防护组件设置在机械手的下方,且第一防护组件具有第一防护空间,硅棒容纳在第一防护空间内,第一防护组件的底部具有闭合状态和开启状态,承载有硅棒的机械手在硅棒加工工位之间滑动时,第一防护组件的底部处于闭合状态。可以理解的是,当第一防护组件随着机械手沿导轨在硅棒加工工位之间滑动时,第一防护组件的底部处于闭合状态,此时,如果硅棒或者机械手所具有的零部件在自身重力作用下掉落时,第一防护组件能够承接掉落的硅棒及机械手所具有的零部件,防止硅棒掉落损坏的同时,避免硅棒及机械手所具有的零部件下落时砸中操作人员,从
而降低操作人员安全隐患。再者,当承载有硅棒的机械手位于硅棒加工工位,即机械手在硅棒加工工位上下硅棒时,第一防护组件的底部处于开启状态,为机械手上下硅棒提供操作空间,防止因第一防护组件的存在而对机械手上下硅棒造成干扰。
[0008]在一种可能的实现方式中,第一防护组件包括紧固在机械手下部的承载框及滑动设置在承载框底部的承接部,承载框与承接部围合形成第一防护空间。
[0009]采用上述技术方案时,设置的承载框紧固在机械手的下部,增强装置的稳固性,为承接部提供强有力的支撑力。同时,采用承载框,尽可能的减少光遮挡,使得光照充足,当机械手进行上下硅棒时,便于操作人员较为直观的观察机械手的工作状况。
[0010]在一种可能的实现方式中,承接部由驱动组件驱动沿着承载框滑动,实现闭合状态与开启状态之间的切换。
[0011]在一种可能的实现方式中,驱动组件包括驱动电机、齿轮和齿条,驱动电机紧固在承载框上,齿轮设置在驱动电机的输出轴上,齿条紧固在承接部上,齿条与齿轮啮合。
[0012]采用上述技术方案时,驱动组件驱动承接部沿着承载框滑动,驱动组件包括驱动电机、齿轮和齿条,驱动电机驱动齿轮转动,从而带动与齿轮啮合的齿条移动,最终使得与齿条紧固连接的承接部移动。齿轮与齿条配合,将电机输出轴的转动,转化为承接部的直线移动,工作较为平稳,可靠性高。
[0013]在一种可能的实现方式中,承接部为承接板或承接框。
[0014]在一种可能的实现方式中,安全防护装置还包括第二防护组件,第二防护组件设置在硅棒加工工位的侧部,承载有硅棒的机械手位于硅棒加工工位时,第二防护组件具有第二防护空间,此时,承载有硅棒的机械手位于第二防护空间内。
[0015]采用上述技术方案时,当承载有硅棒的机械手位于硅棒加工工位时,第二防护组件具有第二防护空间,且承载有硅棒的机械手位于第二防护空间内。第二防护组件在机械手位于硅棒加工工位进行上下硅棒时,具有第二防护空间,防止操作人员误入硅棒加工工位,为操作人员的人身安全提供防护屏障,有效避免机械手所具有的零部件及硅棒掉落时砸伤工作人员。不仅如此,机械手在硅棒加工工位进行上下硅棒时,机械手带动硅棒上下移动,如果此时有操作人员误入第二防护空间内,则会出现因机械手的上下移动而误伤操作人员的情况。
[0016]在一种可能的实现方式中,第二防护组件包括多个起落杆,多个起落杆两两相对设置在硅棒加工工位的侧部。多个起落杆升起时,多个起落杆形成的空间为第二防护空间。
[0017]采用上述技术方案时,多个起落杆两两相对设置在硅棒加工工位的侧部,当机械手在硅棒加工工位进行上下硅棒时,位于该硅棒加工工位侧部的起落杆升起,防止操作人员误入第二防护空间内,避免给操作人员的人身安全带来安全隐患,增强安全防护工作。当机械手没有在该硅棒加工工位进行上下料操作时,可以控制起落杆降落,便于操作人员进入该硅棒加工工位进行检查、维护等工作。起落杆具有自动升起降落功能,无需使用人工操作,节约人力的同时,提高装置的自动化水平。不仅如此,起落杆结构简单,不会影响操作人员视野,便于操作人员较为直观的观察硅棒的加工状况。
[0018]在一种可能的实现方式中,安全防护装置还包括第三防护组件,第三防护组件包括至少一个扫描仪,至少一个扫描仪设置在承载框上,至少一个扫描仪用于确定第二防护空间内是否有障碍物。
[0019]采用上述技术方案时,第三防护组件的设置为操作人员的人身安全增加了又一道保护屏障,使得安全防护工作更加可靠。第三防护组件包括至少一个扫描仪,至少一个扫描仪设置在承载框底部,至少一个扫描仪用于确定第二防护空间内是否有障碍物。具体来说,由于承载框设置在机械手下部,且至少一个扫描仪设置在承载框底部,因此,至少一个扫描仪能够随着机械手的运动而同步运动。当承载有硅棒的机械手在硅棒加工工位进行上下硅棒时,扫描仪随着机械手的升降而升降,用于确定第二防护空间内有无障碍物。防止操作人员在机械手进行上下硅棒时,进入第二防护空间内,避免操作人员被掉落的硅棒或机械手的零部件砸伤。不仅如此,避免机械手进行上下硅棒时,由于机械手的上下移动,而误伤操作人员。
[0020]在一种可能的实现方式中,安全防护装本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安全防护装置,其特征在于,所述安全防护装置应用于硅棒传输系统;所述硅棒传输系统包括导轨,沿所述导轨的延伸方向间隔分布多个硅棒加工工位;以及沿所述导轨滑动设置的机械手,所述机械手用于将所述硅棒搬运至所述硅棒加工工位;所述安全防护装置包括:第一防护组件,所述第一防护组件随动的设置在所述机械手的下方,所述第一防护组件具有第一防护空间,所述硅棒容纳在所述第一防护空间内;所述第一防护组件的底部具有闭合状态和开启状态;承载有所述硅棒的机械手在所述硅棒加工工位之间滑动时,所述第一防护组件的底部处于所述闭合状态,承载有所述硅棒的机械手位于所述硅棒加工工位时,所述第一防护组件的底部处于所述开启状态。2.根据权利要求1所述的安全防护装置,其特征在于,所述第一防护组件包括紧固在所述机械手下部的承载框及滑动设置在所述承载框底部的承接部,所述承载框与所述承接部围合形成所述第一防护空间。3.根据权利要求2所述的安全防护装置,其特征在于,所述承接部由驱动组件驱动沿着所述承载框滑动,实现所述闭合状态与所述开启状态之间的切换。4.根据权利要求3所述的安全防护装置,其特征在于,所述驱动组件包括:驱动电机,所述驱动电机紧固在所述承载框上;齿轮,所述齿轮设置在所述驱动电机的输出轴上;齿条,所述齿条紧固在所述承接部上,所述齿条与所述齿轮啮合。5.根据权利要求2所述的安全防护装置,其特征在于,所述承接部为承接板或承接框。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:王慧智袁海军王虎姜树人杜康刘立新田兴武魏兴星
申请(专利权)人:银川隆基光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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