一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置制造方法及图纸

一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其中：包括取样系统、检测系统、数据库以及异常控制系统，所述取样系统包括有采样枪，通过对采样点进行采样，将取样运输至检测系统中，所述检测系统包括有多参数烟气检测装置、烟气分析仪，本发明专利技术为了解决PCB车间重要工作岗位在化学反应后的空气多参数指标检测、对同一时间样品的收集和维护，同时对环境质量进行控制等问题。控制等问题。控制等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置


[0001]本专利技术属于环境检测
，具体涉及一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路制造工艺中，各个工艺流程对生产车间的环境条件的要求十分严格，比如环境温度、空气湿度，空气中污染颗粒的数目，污染气体的比例等，通常半导体制造厂会对生产流程中各个车间的环境参数进行多方面的监控，并制定相对应的参数范围，一旦这些环境参数不在工艺标准规定的数值范围内，就很容易导致产品产生缺陷，影响器件的良率和可靠性。
[0003]现有技术中除了会利用传感器针对敏感参数的实时监控外，还会进行分时段在取样区进行空气取样，然后进行综合分析以进行空气环境的监控,对于这样的即时监控系统，能在一定程度上反映出半导体制造车间的实际空气环境，但同样的由于是即时取样，各种因素都会影响取样分析的结果，例如人为操作问题、气泵或取样系统的运行状态，导致在出现异常数据时无法判断数据是否准确，也很难再现出当时的取样情景。
[0004]常见的做法是数据采集通过纸质表格进行记录，待现场工作完成后再进行数据处理和分析；这些检测方法既增加了各个岗位的人员数量和工作量，又无法通过远程平台直接查看或处理收据，难以实现项目负责人对各个测试岗位和测量数据的综合判断和分析,不同检测项目由于不能够对同一时间段的采样标本进行采样而对检测外，由于检测项目或参数不同，所检测项目可能因为不同时间段的检测，结果有些许差异，导致分析误差，或者由于同一时间段的采样标本由于集体采样而在采样瓶内沉积或者附着，导致针对不同检测时的抽取样品时的含量不一致，从而对检测造成较大的误差影响，此时需要一种能解决多参数的检测装置以及同时能够在采样时同时采样同一时间内的采集样本等问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术为了解决PCB车间重要工作岗位在化学反应后的空气多参数指标检测、对同一时间样品的收集和维护，同时对环境质量进行控制等问题。
[0006]本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其中：包括取样系统、检测系统、数据库以及异常控制系统，所述取样系统包括有采样枪，通过对采样点进行采样，将取样运输至检测系统中，所述检测系统包括有多参数烟气检测装置、烟气分析仪，用于分析所述取样系统取到的样本，并将分析结果分别传递至控制器，所述控制器通过对数据的比对确定PCB车间环境质量，当数据结果异常时，控制器将数据传递至异常控制系统，所述异常控制系统通过报警装置对取样结果不同进行不同状态的报警，最终控制器将取样数据存储入数据库。
[0007]优选的，烟气收集袋位于采样枪内部，并从所需PCB车间设备内中收集烟气，烟气
收集袋由人工分别进入到多参数烟气检测装置中，所述多参数烟气检测装置包括烟气分析仪、烟气排放氧气检测仪、烟尘测试仪、温度传感器、湿度传感器，所述控制器将各检测仪的检测信息接收并呈现与工作人员。
[0008]优选的，所述烟气分析仪包括红外热像仪，所述烟气分析仪检测NO、NO2、CO、SO2成份含量指标。
[0009]优选的，所述烟尘测试仪通过电化学ECD技术，通过干燥箱和电子秤测得烟气颗粒物浓度。
[0010]优选的，所述温度传感器、湿度传感器分别对烟气收集袋内烟气的温度、湿度进行检测。
[0011]优选的，所述采样枪包括枪头、抽气仓、收集仓和储藏仓，所述抽气仓为内部中空的圆筒形结构，所述抽气仓后半段为镂空状结构，所述抽气仓内部安装有抽气机，所述抽气仓前段安装有枪头，所述枪头可深入所需检测设备内部，所述抽气仓底部固定有固定架，所述抽气仓后端固定有收集仓，所述收集仓后端与所述储藏仓连接。
[0012]优选的，所述收集仓包括外壳，所述外壳为圆筒形结构，所述外壳内部设置有旋转支撑杆，所述旋转支撑杆上均匀设置有支撑板，所述支撑板将所述外壳和所述旋转支撑杆连接，所述支撑板将所述外壳均匀分隔出工作仓，所述工作仓中间设置有分割刀，所述分割刀固定于所述旋转支撑杆上，所述工作仓底端设置有复位弹簧，所述外壳上均匀设置有夹取口，所述工作仓内部可通过夹取口固定有烟气收集袋，所述烟气收集袋为一侧设置有卡条，另一侧为可充气气囊结构，所述卡条与所述可充气气囊结构之间设置有预撕条，同时烟气收集袋设置有抽气口，所述抽气口与所述抽气机相连接。
[0013]综上所述，本专利技术包括以下至少一种有益技术效果：一、本专利技术适用于对于动密封状态下的PCB车间设备内的气体监测，VOCs在线检测系统布局合理，结构清晰，数据采集装置能够对泄露区域的VOCs的浓度、成分、流量等参数进行详细分析，之后通过数据分析模块对整体VOCs进行分析。
[0014]三、本专利技术采样装置利用对采样枪的设计，能够完成对同一时间内的气体进行分装收集，确保对同一批次的空气质量和空气成分进行分析监测，同时利用采样枪和烟气收集袋的设计，能够很方便的进行套袋和取出工作，且采用烟气收集袋，一定程度上可以节约资源。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置的采样枪整体示意图；图2是本专利技术的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置的收集仓截面示意图；图3是本专利技术的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置的烟气收集袋侧面示意图。
[0016]图中：1烟气收集袋、101卡条、102可充气气囊、103预撕条、2采样枪、3枪头、4抽气仓、5收集仓、501外壳、502旋转支撑杆、503支撑板、504工作仓、505分割刀、506复位弹簧、507夹取口、6储藏仓。
具体实施方式
[0017]本专利技术关于一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其中：包括取样系统、检测系统、数据库以及异常控制系统，所述取样系统包括有采样枪2，通过对采样点进行采样，将取样运输至检测系统中，所述检测系统包括有多参数烟气检测装置、烟气分析仪，用于分析所述取样系统取到的样本，并将分析结果分别传递至控制器，所述控制器通过对数据的比对确定PCB车间环境质量，当数据结果异常时，控制器将数据传递至异常控制系统，所述异常控制系统通过报警装置对取样结果不同进行不同状态的报警，最终控制器将取样数据存储入数据库。
[0018]具体的，烟气收集袋位于采样枪2内部，并从所需PCB车间设备内中收集烟气，烟气收集袋1由人工分别进入到多参数烟气检测装置中，所述多参数烟气检测装置包括烟气分析仪、烟气排放氧气检测仪、烟尘测试仪、温度传感器、湿度传感器，所述控制器将各检测仪的检测信息接收并呈现与工作人员。
[0019]具体的，所述烟气分析仪包括红外热像仪，所述烟气分析仪检测NO、NO2、CO、SO2成份含量指标。
[0020]具体的，所述烟尘测试仪通过电化学ECD技术，通过干燥箱和电子秤测得烟气颗粒物浓度。
[0021]具体的，所述温度传感器、湿度传感器分别对烟气收集袋内烟气的温度、湿度进行检测。
[0022]具体的，所述采样枪2包括枪头3、抽气仓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其特征在于：包括取样系统、检测系统、数据库以及异常控制系统，所述取样系统包括有采样枪（2），通过对采样点进行采样，将取样运输至检测系统中，所述检测系统包括有多参数烟气检测装置、烟气分析仪，用于分析所述取样系统取到的样本，并将分析结果分别传递至控制器，所述控制器通过对数据的比对确定PCB车间环境质量，当数据结果异常时，控制器将数据传递至异常控制系统，所述异常控制系统通过报警装置对取样结果不同进行不同状态的报警，最终控制器将取样数据存储入数据库。2.根据权利要求1所述的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其特征在于：烟气收集袋位于采样枪（2）内部，并从所需PCB车间设备内中收集烟气，烟气收集袋（1）由人工分别进入到多参数烟气检测装置中，所述多参数烟气检测装置包括烟气分析仪、烟气排放氧气检测仪、烟尘测试仪、温度传感器、湿度传感器，所述控制器将各检测仪的检测信息接收并呈现与工作人员。3.根据权利要求2所述的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其特征在于：所述烟气分析仪包括红外热像仪，所述烟气分析仪检测NO、NO2、CO、SO2成份含量指标。4.根据权利要求2所述的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其特征在于：所述烟尘测试仪通过电化学ECD技术，通过干燥箱和电子秤测得烟气颗粒物浓度。5.根据权利要求2所述的一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其特征在于：所述温度传感器、湿度传感器分别对烟气收集袋内烟气的温度、湿度进行检测。6.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢益刚，朱统明，刘辉，赖政军，
申请(专利权)人：龙南骏亚电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：