测试装置、测试系统及测试系统的操作方法制造方法及图纸

提供了一种测试装置、测试系统及测试系统的操作方法。所述测试装置被配置为对执行脉冲幅度调制(PAM)操作的接口通信的被测装置(DUT)进行测试，所述测试装置包括：逻辑生成/确定装置，被配置为生成对应于测试模式的多个位；第一驱动器和第二驱动器，被配置为分别根据所述多个位当中的第一位和第二位的逻辑状态生成第一不归零(NRZ)信号和第二NRZ信号，并分别经由第一通道和第二通道输出所生成的第一NRZ信号和第二NRZ信号。所述第一NRZ信号根据所述第一位的所述逻辑状态具有第一高电平或第一低电平，并且所述第二NRZ信号根据所述第二位的所述逻辑状态具有第二高电平或第二低电平。所述第一高电平和所述第二高电平彼此不同。不同。不同。

【技术实现步骤摘要】
测试装置、测试系统及测试系统的操作方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请基于并要求于2020年12月4日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2020
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0168723的优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。


[0003]本专利技术构思涉及测试装置，更具体地，涉及在不归零(NRZ)接口与脉冲幅度调制(PAM)接口之间执行互换性测试的测试装置、测试系统及测试系统的操作方法。

技术介绍

[0004]存储装置可以从外部装置接收命令、地址和数据。可以使用用于提高存储装置的输入/输出接口的效率的新的信令方法，并且提出了一种基于包括三个或更多个电压电平之一的信号来提高输入/输出接口的效率的方法。
[0005]在存储装置的批量生产过程中，存储装置可以作为被测装置(DUT)由测试装置进行测试。

技术实现思路

[0006]本专利技术构思通过利用执行(例如，包括、支持等)基于2级脉冲幅度调制(在下文中称为不归零(NRZ))的接口通信的测试装置来提供基于N级脉冲幅度调制(PAM)方法的接口通信的操作方法。
[0007]根据本专利技术构思的一些示例实施例，一种被配置为对执行脉冲幅度调制(PAM)操作的接口通信的被测装置(DUT)进行测试的测试装置可以包括：逻辑生成/确定装置，所述逻辑生成/确定装置被配置为生成对应于测试模式的多个位；第一驱动器，所述第一驱动器被配置为根据所述多个位当中的第一位的逻辑状态生成第一不归零(NRZ)信号并经由第一通道输出所生成的第一NRZ信号；以及第二驱动器，所述第二驱动器被配置为根据所述多个位当中的第二位的逻辑状态生成第二NRZ信号并经由第二通道输出所生成的第二NRZ信号，其中，所述第一NRZ信号根据所述第一位的所述逻辑状态具有第一高电平或第一低电平，并且所述第二NRZ信号根据所述第二位的所述逻辑状态具有第二高电平或第二低电平，其中，所述第一高电平不同于所述第二高电平。
[0008]根据本专利技术构思的一些示例实施例，一种测试系统可以包括：测试板，所述测试板被配置为与测试装置通信，所述测试装置包括不归零(NRZ)接口电路，其中，所述测试板被配置为：经由第一通道从所述测试装置接收具有根据多个位当中的第一位的逻辑状态的电压电平的第一NRZ信号，以及经由第二通道从所述测试装置接收具有根据所述多个位当中的第二位的逻辑状态的电压电平的第二NRZ信号。所述测试板可以包括叠加线，所述叠加线被配置为将脉冲幅度调制(PAM)信号作为测试信号提供给被测装置(DUT)，所述PAM信号通过对所述第一NRZ信号和所述第二NRZ信号进行电压叠加被生成为满足PAM操作。
[0009]根据本专利技术构思的一些示例实施例，一种被配置为对执行脉冲幅度调制(PAM)操
作的接口通信的被测装置(DUT)进行测试的测试系统的操作方法可以包括：经由第一通道输出根据与测试模式对应的多个位当中的第一位的逻辑状态的第一不归零(NRZ)信号；经由第二通道输出根据所述多个位当中的第二位的逻辑状态的第二NRZ信号；以及将基于对所述第一NRZ信号和所述第二NRZ信号进行电压叠加而生成的满足所述PAM操作的PAM信号作为测试信号提供给所述DUT，其中，所述第一NRZ信号根据所述第一位的所述逻辑状态具有第一高电平或第一低电平，并且所述第二NRZ信号根据所述第二位的所述逻辑状态具有第二高电平或第二低电平，其中，所述第一高电平不同于所述第二高电平。
附图说明
[0010]通过以下结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解本专利技术构思的示例实施例，其中：
[0011]图1A和图1B是示出根据一些示例实施例的测试系统的框图；
[0012]图2和图3是示出测试装置的实现示例的测试系统的框图；
[0013]图4是示出根据一些示例实施例的测试系统的实现示例的框图；
[0014]图5A和图5B是示出根据一些示例实施例的经由第一通道、第二通道和第一DUT通道传输的信号的逻辑状态的图；
[0015]图6和图7是根据一些示例实施例的测试系统的操作方法的流程图；
[0016]图8是示出根据一些示例实施例的由测试装置输出的信号的电压电平的示例的表；
[0017]图9、图10A和图10B是示出根据一些示例实施例的由测试装置根据测试结果确定数据的逻辑状态的示例的图；
[0018]图11、图12A和图12B是示出根据一些示例实施例的测试装置确定逻辑状态的示例的图；
[0019]图13是示出根据一些示例实施例的测试装置与作为DUT的存储装置之间的通信示例的框图；
[0020]图14A、图14B、图15A、图15B和图15C是根据一些示例实施例的测试系统的操作示例的图；以及
[0021]图16是根据一些示例实施例的电子装置的框图。
具体实施方式
[0022]在下文中，参照附图详细描述本专利技术构思的示例实施例。
[0023]将理解，如本文所描述的，信号、电压等的“电平”可互换地称为信号、电压等的大小。
[0024]如本文所描述的，当操作被描述为“通过”执行另外的操作来执行时，将理解，该操作可以“基于”另外的操作来执行，这可以包括单独地执行所述另外的操作或与其他另外的操作相结合。
[0025]当在本说明书中结合数值使用术语“大约”或“基本上”时，意图是相关数值包括所述数值周围
±
10％的容差。当指定范围时，该范围包括诸如0.1％的增量的范围内的所有值。
[0026]图1A和图1B是示出根据一些示例实施例的测试系统10的框图。
[0027]参照图1A和图1B，用于测试诸如存储装置的各种类型的半导体装置的测试系统10可以包括测试装置11以及其上安装有用于执行测试的一个或更多个被测装置(DUT)14的测试板12。此外，与测试操作相关的各种组件可以安装在测试板12上，并且测试板12可以配备有测试装置11和DUT 14，但是示例实施例不限于此。例如，因为测试装置11被布置在测试板12的外部，所以测试装置11可以经由测试板12与DUT 14通信。在一些示例实施例中，因为DUT 14被布置在测试板12的外部，所以DUT 14可以经由测试板12与测试装置11通信。
[0028]从提供测试装置11与DUT 14之间的接口的方面来看，测试板12可以被称为接口板。例如，测试板12可以包括印刷电路板(PCB)，并且PCB可以包括用于传输电信号的多条导线，来自测试装置11的测试信号可以经由多条导线传输到DUT 14，或者来自DUT 14的测试结果可以经由多条导线传输到测试装置11。在一些示例实施例中，多条导线中的至少一部分可以与测试装置11和DUT 14之间的信令相关，并且包括多条导线中的至少一部分的配置可以被称为布线电路(或布线电路区13)。
[0029]测试装置11可以包括测试逻辑11_1和I/F电路(NRZ)11_2。尽管图1A和图1B未示出，但是测试装置11还可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，所述测试装置被配置为对执行脉冲幅度调制操作的接口通信的被测装置进行测试，所述脉冲幅度调制即PAM，所述被测装置即DUT，所述测试装置包括：逻辑生成/确定装置，所述逻辑生成/确定装置被配置为生成对应于测试模式的多个位；第一驱动器，所述第一驱动器被配置为根据所述多个位当中的第一位的逻辑状态生成第一NRZ信号并经由第一通道输出所生成的第一NRZ信号，所述NRZ即不归零；以及第二驱动器，所述第二驱动器被配置为根据所述多个位当中的第二位的逻辑状态生成第二NRZ信号并经由第二通道输出所生成的第二NRZ信号，其中，所述第一NRZ信号根据所述第一位的所述逻辑状态具有第一高电平或第一低电平，并且所述第二NRZ信号根据所述第二位的所述逻辑状态具有第二高电平或第二低电平，其中，所述第一高电平不同于所述第二高电平。2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，所述第一低电平不同于所述第二低电平。3.根据权利要求1所述的测试装置，其中，所述第一NRZ信号和所述第二NRZ信号经由形成在测试板上的叠加线被电压叠加，并且作为测试信号被提供给所述DUT，并且所述测试信号具有满足PAM
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4操作的电压电平。4.根据权利要求3所述的测试装置，其中，所述测试信号具有基于PAM
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4操作的电源电压VDDQ、2/3*VDDQ、1/3*VDDQ或0V中的任何一种电平，并且所述第一高电平与所述第二高电平之和为2*VDDQ。5.根据权利要求1所述的测试装置，还包括：第一比较器，所述第一比较器被配置为经由所述第一通道从所述DUT接收包含具有至少2位的信息的PAM信号，并将所述PAM信号与第一参考电压进行比较；以及第二比较器，所述第二比较器被配置为与所述第一比较器并行地经由所述第二通道接收所述PAM信号，并将所述PAM信号与第二参考电压进行比较，其中，当对来自所述DUT的同一条数据执行第一读取操作和第二读取操作时，测试结果被连续地提供给所述第一比较器和所述第二比较器，并且在所述第一读取操作和所述第二读取操作中，所述第一参考电压或第二参考电压中的至少一者的电平被改变。6.根据权利要求5所述的测试装置，其中，在所述第一读取操作或所述第二读取操作中的一者中，所述第一参考电压的电平和所述第二参考电压的电平被设置为相同，并且在所述第一读取操作或所述第二读取操作中的另一者中，所述第一参考电压的电平被设置为不同于所述第二参考电压的电平。7.根据权利要求6所述的测试装置，其中，所述逻辑生成/确定装置被配置为基于以下操作确定所述测试结果的逻辑状态：组合所述第一比较器和所述第二比较器在所述第一读取操作中的比较结果，以及组合所述第一比较器和所述第二比较器在所述第二读取操作中的比较结果。8.根据权利要求1所述的测试装置，还包括：
第一比较器和第二比较器，所述第一比较器和所述第二比较器被配置为经由所述第一通道从所述DUT并行地接收包括具有至少2位的信息的PAM信号作为测试结果；以及第三比较器和第四比较器，所述第三比较器和所述第四比较器被配置为经由所述第二通道并行地接收所述PAM信号，其中，所述第一比较器被配置为将所述PAM信号与第一高参考电压进行比较，所述第二比较器被配置为将所述PAM信号与第一低参考电压进行比较，所述第三比较器被配置为将所述PAM信号与第二高参考电压进行比较，所述第四比较器被配置为将所述PAM信号与第二低参考电压进行比较，其中，所述第一高参考电压的电平不同于所述第二高参考电压的电平。9.一种测试系统，包括：测试板，所述测试板被配置为与测试装置通信，所述测试装置包括NRZ接口电路，所述NRZ即不归零，其中，所述测试板被配置为：经由第一通道从所述测试装置接收具有根据多个位当中的第一位的逻辑状态的电压电平的第一NRZ信号，以及经由第二通道从所述测试装置接收具有根据所述多个位当中的第二位的逻辑状态的电压电平的第二NRZ信号，其中，所述测试板包括叠加线，所述叠加线被配置为将脉冲幅度调制信号作为测试信号提供给被测装置即DUT，所述脉冲幅度调制即PAM...

【专利技术属性】
技术研发人员：张熊镇，张成权，金容正，朴洙龙，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：