光谱仪和成像装置制造方法及图纸

根据本实施方式的光谱仪包括：第一衍射光栅，用于对所提供的光进行分光；第一检测单元，用于将由第一衍射光栅分光的光聚光并且输出对应的电信号；第二衍射光栅，用于对从第一衍射光栅输出的0级光进行分光；以及第二检测单元，用于将由第二衍射光栅分光的光聚光并且输出对应的电信号。出对应的电信号。出对应的电信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光谱仪和成像装置


[0001]本技术涉及光谱仪和成像装置。

技术介绍

[0002]光谱仪是指将由目标材料吸收或发射的光(即电磁波)分解成不同波长并且测量每个波长的强度分布的装置。光谱仪可以使用衍射光栅、棱镜、干涉仪、滤光片等，以使每个波长的电磁波分散。
[0003]常规的光谱仪被设计和配置成输出相对于输入光具有最强强度的特定级的光。常规的光谱仪被设计和制造成使得预定特定级的光的强度大，从而另一个不期望级的光既不被以光谱方式处理，也不被执行其他处理。

技术实现思路

[0004]技术问题
[0005]因此，考虑到相关技术中出现的以上问题而做出了本公开内容。具体地，在常规的光谱仪中，在未被以光谱方式处理的情况下被丢弃的光的比例为高，并且当需要用所提供的光以各种方式执行处理时，需要多次执行处理过程，这是繁琐的，并且花费很长时间。
[0006]本实施方式旨在解决相关技术的上述缺点并且提供能够用相同的光执行多个处理情况的光谱仪。此外，本实施方式旨在提供成像装置，该成像装置能够用相同的光通过光谱处理同时执行成像。
[0007]技术解决方案
[0008]为了实现以上目的，可以提供根据本实施方式的一种光谱仪，该光谱仪包括：第一衍射光栅，被配置成以光谱方式处理提供的光；第一检测单元，被配置成将由第一衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号；第二衍射光栅，被配置成以光谱方式处理由第一衍射光栅提供的0级光；以及第二检测单元，被配置成将由第二衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号。
[0009]在本光谱仪实施方式的一个方面中，第一检测单元可以包括：第一聚光器，被配置成将由第一衍射光栅以光谱方式处理的光聚光；以及第一检测器，被配置成检测由第一聚光器聚光并提供的光以及被配置成输出与检测到的光对应的电信号，并且第二检测单元可以包括：第二聚光器，被配置成将由第二衍射光栅以光谱方式处理的光聚光；以及第二检测器，被配置成检测由第二聚光器聚光并提供的光，以及被配置成输出与检测到的光对应的电信号。
[0010]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一检测器和第二检测器可以在以下特性中的至少一个上彼此不同：灵敏度、检测波长段和分辨率方面。
[0011]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一检测器和第二检测器可以在灵敏度、检测波长段和分辨率方面具有彼此相同的特性。
[0012]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪还可以包括：壳体；以及狭缝，被配置成
将光提供到壳体中。
[0013]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪还可以包括准直器，该准直器被配置成将从狭缝提供的光形成为平行光并将平行光提供给第一衍射光栅。
[0014]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪还可以包括光输送单元，该光输送单元被配置成将从目标T提供的光提供给狭缝，其中，光输送单元可以包括：物镜，被配置成将从目标T提供的光聚光；以及聚焦透镜，被配置成将由物镜聚光的光提供给狭缝。
[0015]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一衍射光栅可以是透射型衍射光栅和反射型衍射光栅中的任何一个，并且第二衍射光栅可以是透射型衍射光栅和反射型衍射光栅中的任何一个。
[0016]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一衍射光栅可以包括呈凹镜形式的衍射光栅和呈凸透镜形式的衍射光栅中的任何一个。
[0017]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一衍射光栅和第二衍射光栅可以在分辨率方面彼此不同。
[0018]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一衍射光栅和第二衍射光栅可以具有彼此相同的分辨率。
[0019]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪可以被配置成允许相对于第一衍射光栅调整第一检测单元的位置。
[0020]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪可以被配置成允许相对于第二衍射光栅调整第二检测单元的位置。
[0021]可以提供根据另一实施方式的一种光谱仪，该光谱仪包括：衍射光栅，被配置成以光谱方式处理提供的光；第一检测单元，被配置成将由衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号；反射镜，被配置成将从衍射光栅输出的0级光反射回至衍射光栅；以及第二检测单元，其中，衍射光栅被配置成以光谱方式处理由反射镜反射的光，以及被配置成将以光谱方式处理的光提供给第二检测单元。
[0022]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一检测单元可以包括：第一聚光器，被配置成将由衍射光栅以光谱方式处理的光聚光；以及第一检测器，被配置成检测由第一聚光器聚光的光以及被配置成以电信号输出检测到的光，并且第二检测单元可以包括：第二聚光器，被配置成将光聚光，该光是由衍射光栅以光谱方式处理的反射的0级光；以及第二检测器，被配置成检测由第二聚光器聚光的光以及被配置成以电信号输出检测到的光。
[0023]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一检测器和第二检测器可以在灵敏度、检测波长段和分辨率方面具有彼此相同的特性。
[0024]在本光谱仪实施方式的一个方面，第一检测器和第二检测器可以在灵敏度、检测波长段和分辨率中的任何一个方面彼此不同。
[0025]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪还可以包括：壳体；狭缝，被配置成将光提供到壳体中；以及准直器，被配置成将从狭缝提供的光修改成平行光。
[0026]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪还包括光输送单元，该光输送单元被配置成将从目标T提供的光提供给狭缝，其中，光输送单元还可以包括：物镜，被配置成将从目标T提供的光聚光；以及聚焦透镜，被配置成将由物镜聚光的光提供给狭缝。
[0027]在本光谱仪实施方式的一个方面，衍射光栅可以是透射式衍射光栅和反射型衍射
光栅中的任何一个。
[0028]在本光谱仪实施方式的一个方面，衍射光栅可以包括呈凹镜形式的衍射光栅和呈凸透镜形式的衍射光栅中的任何一个。
[0029]在本光谱仪实施方式的一个方面，光谱仪可以被配置成允许相对于衍射光栅调整第一检测单元的位置和第二衍射光栅的位置中的至少任何一个。
[0030]可以提供根据本实施方式的一种成像装置，该成像装置包括：衍射光栅，被配置成以光谱方式处理提供的光；检测单元，被配置成将由衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成以电信号输出聚光的光；以及成像单元，被配置成对从衍射光栅输出的0级光进行成像，其中，成像单元可以包括被配置成聚焦0级光的聚焦透镜。
[0031]在本成像装置实施方式的一个方面，检测单元可以包括：聚光器，被配置成将由衍射光栅以光谱方式处理的光聚光；以及检测器，被配置成检测由聚光器聚光的光以及被配置成以电信号输出检测到的光。
[0032]在本成像装置实施方式的一个方面，光谱仪还可以包括：壳体；狭缝，被配置成将光提供到壳体中；以及准直器，被配置成将从狭缝提供的光修改成平行光。
[0033]在本成像装置实施方式的一个方面，衍射光栅可以包括呈凹镜形式的衍射光栅和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光谱仪，包括：第一衍射光栅，被配置成以光谱方式处理提供的光；第一检测单元，被配置成将由所述第一衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号；第二衍射光栅，被配置成以光谱方式处理由所述第一衍射光栅提供的0级光；以及第二检测单元，被配置成将由所述第二衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号。2.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述第一检测单元包括：第一聚光器，被配置成将由所述第一衍射光栅以光谱方式处理的光聚光；以及第一检测器，被配置成检测由所述第一聚光器聚光并提供的光以及被配置成输出与检测到的光对应的电信号，并且所述第二检测单元包括：第二聚光器，被配置成将由所述第二衍射光栅以光谱方式处理的光聚光；以及第二检测器，被配置成检测由所述第二聚光器聚光并提供的光，以及被配置成输出与检测到的光对应的电信号。3.根据权利要求2所述的光谱仪，其中，所述第一检测器和所述第二检测器在以下特性中的至少一个上彼此不同：灵敏度、检测波长段和分辨率。4.根据权利要求2所述的光谱仪，其中，所述第一检测器和所述第二检测器在灵敏度、检测波长段和分辨率方面具有彼此相同的特性。5.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述光谱仪还包括：壳体；以及狭缝，被配置成将光提供到所述壳体中。6.根据权利要求5所述的光谱仪，其中，所述光谱仪还包括准直器，所述准直器被配置成将从所述狭缝提供的光形成为平行光以及被配置成将所述平行光提供给所述第一衍射光栅。7.根据权利要求5所述的光谱仪，其中，所述光谱仪还包括光输送单元，所述光输送单元被配置成将从目标提供的光提供给所述狭缝，其中，所述光输送单元包括：物镜，被配置成将从所述目标提供的光聚光；以及聚焦透镜，被配置成将由所述物镜聚光的光提供给所述狭缝。8.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述第一衍射光栅是透射型衍射光栅和反射型衍射光栅中的任何一个，并且所述第二衍射光栅是所述透射型衍射光栅和所述反射型衍射光栅中的任何一个。9.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述第一衍射光栅包括呈凹镜形式的衍射光栅和呈凸透镜形式的衍射光栅中的任何一个。10.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅在分辨率方面彼此不同。11.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅具有彼此相同的分辨率。
12.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述光谱仪被配置成允许相对于所述第一衍射光栅调整所述第一检测单元的位置。13.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述光谱仪被配置成允许相对于所述第二衍射光栅调整所述第二检测单元的位置。14.根据权利要求1所述的光谱仪，其中，所述光谱仪还包括：第三衍射光栅，被配置成以光谱方式处理从所述第二衍射光栅提供的0级光；以及第三检测单元，被配置成将由所述第三衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号。15.一种光谱仪，包括：衍射光栅，被配置成以光谱方式处理提供的光；第一检测单元，被配置成将由所述衍射光栅以光谱方式处理的光聚光以及被配置成输出与聚光的光对应的电信号；反射镜，被配置成将从所述衍射光栅输出的0级光反射至所述衍射光栅；以及第二检测单元，其中，所述衍射光栅被配置成以光谱方式处理由所述反射镜反射的0级光，以及被配置成将以光谱方式处理的光提供给所述第二检测单元。16.根据权利要求15所述的光谱仪，其中，所述第一检测单元包...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成豪，加金德拉，
申请(专利权)人：安斯威雷有限公司，
类型：发明
国别省市：