籽晶的提拉机构及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种籽晶的提拉机构及其使用方法，所述提拉机构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位组件，限位组件为一个或环绕籽晶夹分布的多个，每个限位组件位于籽晶夹的水平一侧，限位组件构造成能够升降和绕软轴的旋转轴线旋转；其中，限位组件包括限位件，限位件具有可切换的伸出位置和回缩位置，在伸出位置限位件与籽晶夹之间的距离为第一距离，在回缩位置限位件与籽晶夹之间的距离为第二距离，第二距离大于第一距离，限位组件能够在籽晶夹晃动时将限位件伸至伸出位置。本发明专利技术的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。减少对晶棒生长的影响。减少对晶棒生长的影响。

【技术实现步骤摘要】
籽晶的提拉机构及其使用方法


[0001]本专利技术涉及单晶生长
，具体涉及一种籽晶的提拉机构及其使用方法。

技术介绍

[0002]在直拉单晶制造法(CZ法)的单晶生长中，利用提拉机构和籽晶夹将籽晶浸渍于坩埚内所积存的原料熔汤中，并利用提拉机构将所浸渍的籽晶缓慢提拉，通过这种方式可以于籽晶的下方生长出单晶晶体。
[0003]相关技术中，提拉机构为软轴(如钼丝绳)，利用软轴的牵拉，可以实现籽晶夹的旋转和升降，以带动籽晶进行旋转和升降。但是，在旋转或升降过程中，容易出现籽晶的晃动，而且无法快速稳定，影响单晶的生长。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种籽晶的提拉机构，所述提拉机构在旋转和升降籽晶夹的过程中，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。
[0005]本专利技术还旨在提出一种籽晶的提拉机构的使用方法。
[0006]根据本专利技术实施例的籽晶的提拉机构，包括：籽晶夹，所述籽晶夹用于固定籽晶；软轴，所述软轴下端连接所述籽晶夹，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶的提拉机构，其特征在于，包括：籽晶夹(10)，所述籽晶夹(10)用于固定籽晶(200)；软轴(20)，所述软轴(20)下端连接所述籽晶夹(10)，所述软轴(20)构造成能够牵引所述籽晶夹(10)旋转和升降；限位组件(30)，所述限位组件(30)为一个或环绕所述籽晶夹(10)分布的多个，每个所述限位组件(30)位于所述籽晶夹(10)的水平一侧，所述限位组件(30)构造成能够升降和绕所述软轴(20)的旋转轴线(L1)旋转；其中，所述限位组件(30)包括限位件(31)，所述限位件(31)具有可切换的伸出位置和回缩位置，在所述伸出位置所述限位件(31)与所述籽晶夹(10)之间的距离为第一距离(a1)，在所述回缩位置所述限位件(31)与所述籽晶夹(10)之间的距离为第二距离(a2)，所述第二距离(a2)大于所述第一距离(a1)，所述限位组件(30)能够在所述籽晶夹(10)晃动时将所述限位件(31)伸至所述伸出位置。2.根据权利要求1所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，还包括：硬轴(40)，所述硬轴(40)设置在所述籽晶夹(10)的水平一侧或者套在所述籽晶夹(10)的外侧，所述限位组件(30)安装在所述硬轴(40)上；所述硬轴(40)构造成能够绕所述软轴(20)的旋转轴线(L1)旋转，所述限位组件(30)可升降地安装在所述硬轴(40)上。3.根据权利要求2所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，所述硬轴(40)套在所述籽晶夹(10)的外侧，所述硬轴(40)的内壁上设有竖向设置的升降槽(44)，所述限位组件(30)包括滑座(32)，所述滑座(32)可上下滑动地配合在所述升降槽(44)内。4.根据权利要求1所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，所述限位件(31)为限位柱，所述限位组件(30)还包括：推动件(33)，所述推动件(33)的输出轴(337)与所述限位柱的一端相连，所述限位柱的另一端朝向所述籽晶夹(10)设置。5.根据权利要求1
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4中任一项所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，所述限位件(31)还具有与所述籽晶夹(10)连接的固定位置，所述限位组件(30)构造成在判定条件下，将所述限位件(31)驱动至所述固定位置以与所述籽晶夹(10)同步运动。6.根据权利要求5所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，所述籽晶夹(10)包括：下夹体(11)，所述下夹体(11)用于固定所述籽晶(200)；上夹体(12)，所述上夹体(12)可分离地连接在所述下夹体(11)上，所述上夹体(12)与所述软轴(20)相连；离合结构(13)，所述离合结构(13)设置在所述上夹体(12)和所述下夹体(11)之间，所述离合结构(13)在分离状态和结合状态之间可切换，在分离状态时所述下夹体(11)和所述上夹体(12)之间可分离，在结合状态时所述离合结构(13)将所述下夹体(11)和所述上夹体(12)结合为一体；所述限位件(31)在所述固定位置时，带动所述离合结构(13)由所述结合状态切换至所述分离状态。7.根据权利要求6所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，所述离合结构(13)包括：结合件(131)，所述结合件(131)可活动地设在所述上夹体(12)上；结合槽(132)，所述结合槽(132)形成在所述下夹体(11)上；
所述离合结构(13)处于所述结合状态时，所述结合件(131)插入配合在所述结合槽(132)的一端；所述离合结构(13)处于所述分离状态时，所述结合件(131)完全退出所述结合槽(132)；所述限位件(31)在所述固定位置时，所述限位件(31)从所述结合槽(132)的另一端伸至所述结合槽(132)内以与所述下夹体(11)结合，且将所述结合件(131)推出所述结合槽(132)。8.根据权利要求7所述的籽晶的提拉机构，其特征在于，所述下夹体(11)包括：竖向设置的夹体管段(111)，所述结合槽(132)沿径向形成在所述夹体管段(111)上；所述上夹体(12)包括：竖向设置的夹体柱段(121)，所述夹体柱段(121)配合在所述夹体管段(111)内；其中，所述离合结构(13)还包括弹性件(133)、形成在所述夹体柱段(121)内的安装槽(134)，所述安装槽(134)在所述夹体柱段(121)的外周面上具有安...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：