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本发明公开了一种籽晶的提拉机构及其使用方法,所述提拉机构包括:籽晶夹,籽晶夹用于固定籽晶;软轴,软轴下端连接籽晶夹,软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降;限位组件,限位组件为一个或环绕籽晶夹分布的多个,每个限位组件位于籽晶夹的水平一侧,限位组...该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种籽晶的提拉机构及其使用方法,所述提拉机构包括:籽晶夹,籽晶夹用于固定籽晶;软轴,软轴下端连接籽晶夹,软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降;限位组件,限位组件为一个或环绕籽晶夹分布的多个,每个限位组件位于籽晶夹的水平一侧,限位组...