【技术实现步骤摘要】
一种基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统及方法
[0001]本专利技术涉及红外热成像检测
，更具体地，涉及一种基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统及方法。
技术介绍
[0002]随着集成电路(Integrated Circuit，IC)复杂度的不断提高，IC上的失效分析面临越来越严苛的挑战。失效分析的目的是寻找针对异常芯片(信号检测错误)进行失效点定位，这些失效点许多都与局部热耗散有关，如互联线缺陷、氧化物或结点破裂、高阻焊等。在对IC进行失效分析的若干技术中，无损检测技术是其中一个重要手段。
[0003]红外热像检测技术主要基于红外辐射原理，通过观察和记录被检对象表面的温度变化信息，并通过热波理论和信号处理方法对变化的温度进行分析，从而实现对被检测工件的表面及内部缺陷或结构进行分析。目前在对IC进行失效分析时，多采用主动式红外热像检测，也即采用人工主动的激励方式激励被检测物，使其产生变化的温度场。主动式红外热像检测的激励方式按照激励源的物理特性可以分为光学激励、热激励、振动激励、电磁激励等几大类。在采...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统，其特征在于，包括：控制器(1)；激励控制模块(2)，用于根据控制器(1)输出的控制信号生成带周期性锁相信号的激励信号；激励电源模块(3)，用于根据激励控制模块(2)输出的激励信号产生相应的激励电流，所述激励电源模块(3)的输出端与放置在平台上的待测对象的电源引脚或功能引脚电连接；图像采集模块(4)，所述图像采集模块(4)设置在平台的上方，用于采集待测对象在电流激励的情况下产生周期性热波的热红外图像；处理模块(5)，用于对图像采集模块(4)采集的热红外图像进行分析处理得到待测对象的温度信号，根据各个像素点的温度信号的变化程度划分无缺陷区域图像，对温度信号进行锁相相关处理，生成热红外图像中各个像素点的幅值、相位和深度信息；成像模块(6)，用于根据热红外图像中各个像素点的幅值、相位和深度信息进行三维特征成像并显示；根据成像模块(6)显示的三维图像得到待测对象中互联线缺陷的具体位置和尺寸。2.根据权利要求1所述的基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统，其特征在于，所述激励控制模块(2)包括：锁相信号产生单元(21)，用于根据控制器(1)输出的控制信号生成周期性的锁相信号；所述锁相信号包括正弦波信号或脉冲波信号；高频信号产生单元(22)，用于根据控制器(1)输出的控制信号生成连续的高频交流信号；和，幅度调制单元(23)，用于根据锁相信号产生单元(21)和高频信号产生单元(22)分别输出的锁相信号和高频交流信号进行幅度调制，生成激励信号。3.根据权利要求1所述的基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统，其特征在于，所述处理模块(5)包括：图像处理单元(51)，用于对图像采集模块(4)采集的热红外图像进行分析处理得到待测对象的温度信号；参考信号产生单元(52)，用于以热红外图像中无缺陷区域的温度信号作为参考生成参考信号，或以频率为锁相频率的正弦波作为参考信号输出；和，锁相相关计算单元(53)，用于根据待测对象的温度信号和参考信号进行锁相相关处理，提取热红外图像中各个像素点在特定频率的幅值和相位作为特征值进行输出，以及提取热红外图像中各个像素点的深度信息进行输出。4.根据权利要求1所述的基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统，其特征在于，所述图像采集模块(4)包括双目热成像仪。5.根据权利要求4所述的基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测系统，其特征在于，所述图像采集模块(4)采用固体浸没透镜。6.一种基于锁相同步图像处理的互联线缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、生成带周期性锁相信号的激励信号；S2、根据带周期性锁相信号的激励信号产生激励电流，对功能已知的待测对象的电路
引脚或功能引...
【专利技术属性】
技术研发人员：粟涛，胡炳翔，王自鑫，牟炳叡，杨锐佳，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：
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