一种位移机构的位移标定方法及装置制造方法及图纸

本申请提供了一种位移机构的位移标定方法及装置，包括：确定预先设置的电机步数向量集合；控制电机按照电机步数向量集合中的各步数向量依次进行运动，在电机每运动一个步数向量时，获取测微计采集到的位移测量值；针对每个步数向量，根据该步数向量对应的位移测量值和中点位移向量，确定该步数向量对应的滑块的位移标定值；根据每个步数向量以及与各步数向量对应的位移标定值，建立多个步数向量与多个位移标定值之间的映射关系，以完成对位移机构的位移标定。本申请通过预先对位移标定机构进行位移标定，有助于消除电机回隙造成的定位误差，以提高位移机构的定位精度。以提高位移机构的定位精度。以提高位移机构的定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种位移机构的位移标定方法及装置


[0001]本申请涉及位移标定
，尤其涉及一种位移机构的位移标定方法及装置。

技术介绍

[0002]在基于成像的精密对准光路系统设计中，为适应不同厚度被测物的识别，成像物镜组件设计有控制成像物镜进行焦距调节的自动调焦机构，自动调焦机构的精度直接影响着成像质量，而调焦速度关系着整个对准系统的处理速度。因此自动调焦机构需要高精度、高速控制方案。
[0003]现有的自动调焦机构单纯靠电机本身的旋转角度来推算机构位移量，由于机械加工精度有限，实际的机构移动量与理想值之间存在误差从而降低了机构的定位精度。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于至少提供一种位移机构的位移标定方法及装置，本申请通过预先对位移标定机构进行位移标定，有助于消除电机回隙造成的定位误差，以提高位移机构的定位精度。
[0005]本申请主要包括以下几个方面：
[0006]第一方面，本申请实施例提供一种位移机构的位移标定方法，位移机构包括电机、偏心轮、滑块、拉簧固定柱、拉簧和L型固定座，L型固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位移机构的位移标定方法，其特征在于，所述位移机构包括电机、偏心轮、滑块、拉簧固定柱、拉簧和L型固定座，所述L型固定座包括相互垂直连接的第一支撑板和第二支撑板；其中，所述第一支撑板固定在水平平台上，所述电机的旋转轴通过所述第二支撑板上的通孔与所述偏心轮的轴孔连接，所述拉簧固定柱设置在第二支撑板上、且位于偏心轮的一侧，所述滑块设置在第二支撑板上、且位于偏心轮的另一侧，所述拉簧的一端连接到所述拉簧固定柱上，所述拉簧的另一端连接到所述滑块，所述滑块与所述第二支撑板滑动连接，以随着偏心轮的转动带动所述滑块在垂直于所述电机的旋转轴的方向上来回移动；其中，所述位移标定方法包括：确定预先设置的电机步数向量集合，所述电机步数向量集合中的每个元素表示电机相对电机零位置所运动的步数向量；控制所述电机按照所述电机步数向量集合中的各步数向量依次进行运动，在电机每运动一个步数向量时，获取测微计采集到的位移测量值，所述位移测量值表示在所述电机运动对应的步数向量时所述滑块相对标定起始点的位移向量；针对每个步数向量，根据该步数向量对应的所述位移测量值和中点位移向量，确定该步数向量对应的滑块的位移标定值，所述中点位移向量表示电机运动到所述电机零位置时所述滑块相对所述标定起始点的位移向量，所述位移标定值表示在所述电机运动对应的步数向量时，所述滑块相对所述中点位移向量所指示的滑块位置的位移向量；根据每个步数向量以及与该步数向量对应的位移标定值，建立多个步数向量与多个位移标定值之间的映射关系，以完成对所述位移机构的位移标定。2.根据权利要求1所述的位移标定方法，其特征在于，通过以下方式确定所述电机零位置：控制所述电机运动一完整运动周期；根据所述测微计在电机运动过程中采集到的多个记录值，确定所述滑块的位移行程范围和所述位移行程范围的中心位置；控制所述电机运动以带动所述滑块移动至所述中心位置，将滑块在所述中心位置时所述电机的运动位置确定为所述电机零位置；和/或，通过以下方式确定所述标定起始点：从所述电机零位置开始，控制所述电机按照预设电机运动步数n沿着预设方向运动到第一预设电机位置，将所述第一预设电机位置确定为所述标定起始点，同时将测微计清零。3.根据权利要求2所述的位移标定方法，其特征在于，控制所述电机运动一完整运动周期，根据所述测微计在电机运动过程中获取到的多个记录值，确定所述滑块的位移行程范围和所述位移行程范围的中心位置的步骤包括：控制所述电机运动一完整运动周期，以使所述滑块在垂直于所述电机的旋转轴的方向上来回移动；根据所述测微计在电机运动过程中采集到的多个记录值，确定所述滑块移动的第一极限位置和第二极限位置；根据所述第一极限位置和所述第二极限位置，确定所述位移行程范围；将所述第一极限位置和所述第二极限位置之间的中心位置确定为所述位移行程范围
的中心位置。4.根据权利要求2所述的位移标定方法，其特征在于，确定预先设置的电机步数向量集合的步骤包括：从所述电机零位置开始，控制所述电机按照预设步数n沿着预设方向运动到第一预设电机位置，确定预设方向上的n个步数向量；从所述电机零位置开始，控制所述电机按照所述预设步数n沿着与所述预设方向相反的方向运动到第二预设电机位置，确定与预设方向相反的方向上的n个步数向量；根据获取到的预设方向上的n个步数向量、与预设方向相反的方向上的n个步数向量以及所述电机零位置，形成所述电机步数向量集合。5.根据权利要求1所述的位移标定方法，其特征在于，所述测微计包括标定基座和测量探头，所述测微计的测量探头的一端固定在所述标定基座的一端，所述测量探头的另一端连接到所述滑块，所述标定基座的另一端固定在所述水平平台上。6.根据权利要求4所述的位移标定方法，其特征在于，通过以下方式获取所述电机步数向量集合中的各步数向量对应的位移测量值：控制所述电机执行m个标定周期，每个标定周期包括控制所述电机从所述第一预设电机位置开始，按照所述电机步数向量集合中的各...

【专利技术属性】
技术研发人员：李欢，武震，王东海，魏祥英，张天奇，李星辰，高爱梅，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：