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本申请提供了一种位移机构的位移标定方法及装置，包括：确定预先设置的电机步数向量集合；控制电机按照电机步数向量集合中的各步数向量依次进行运动，在电机每运动一个步数向量时，获取测微计采集到的位移测量值；针对每个步数向量，根据该步数向量对应的位移...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。