本实用新型专利技术公开一种预抽真空装置，包括壳体、输送台和至少一个液冷板，输送台和液冷板均设置在壳体内，输送台用于输送玻璃基板，液冷板设置在输送台的上方，且液冷板与输送台的上表面垂直设置。本实用新型专利技术的预抽真空装置在壳体内设有液冷板，受热的惰性气体会向上升并与液冷板之间进行热交换，使得预抽真空装置中的惰性气体保持在较低的温度，从而有效缩短玻璃基板的冷却时间，提高生产效率。由于气体受热后上升的特性，将液冷板与输送台的上表面垂直设置，相较于将液冷板与输送台的上表面平行的设置方式，能让液冷板对更大高度范围的惰性气体起到冷却作用，因而具有更好的冷却效果。因而具有更好的冷却效果。因而具有更好的冷却效果。
【技术实现步骤摘要】
预抽真空装置
[0001]本技术涉及显示面板制造
，尤其涉及一种预抽真空装置。
技术介绍
[0002]溅射沉积是利用高能粒子轰击靶材，使靶材中的原子溅射出来，沉积在基底表面形成薄膜的方法，是显示面板的制造中的一种重要的成膜方法。玻璃基板在进行溅射沉积前，需首先进入预抽真空装置，待预抽真空装置从常压状态切换到真空状态时，玻璃基板再进入到溅射腔室，沉积膜层后玻璃基板送回预抽真空装置，待预抽真空装置从真空状态切换到常压状态后，玻璃基板再从溅射腔室内排出。
[0003]现有技术的缺陷在于：玻璃基板进行溅射沉积后具有较高的温度，为了避免温度较高的玻璃基板与空气接触导致沉积膜被氧化，在玻璃基板从预抽真空装置中排出前，需要向预抽真空装置中通入惰性气体，利用惰性气体使玻璃基板降温，待玻璃基板的温度下降到设定温度后才能将玻璃基板从预抽真空装置中排出到大气环境中，由于玻璃基板的降温速度较慢，造成生产效率较低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种预抽真空装置，能实现玻璃基板的快速降温，提高生产效率。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]提供一种预抽真空装置，包括壳体、输送台和至少一个液冷板，所述输送台和所述液冷板均设置在所述壳体内，所述输送台用于输送玻璃基板，所述液冷板设置在所述输送台的上方，且所述液冷板与所述输送台的上表面垂直设置。
[0007]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，所述液冷板包括板本体、进液管和出液管，所述板本体内开设有供冷却液流动的流道，所述进液管和所述出液管的一端均与所述板本体连接，所述进液管和所述出液管分别与所述流道的两端连通，所述进液管和所述出液管的另一端与所述壳体连接并在所述壳体上分别形成进液口和出液口。
[0008]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，所述进液管和所述出液管均设置在所述板本体的顶部，所述进液管和所述出液管将所述板本体悬挂在所述壳体中。
[0009]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，所述板本体为波浪形板。
[0010]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，定义所述输送台的上表面距离所述壳体内壁的顶面之间的距离为L1，所述板本体的底面到所述板本体的顶面之间的距离为L2，则L1/2≤L2＜L1。
[0011]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，所述板本体的底面与所述输送台之间的距离不小于所述玻璃基板厚度的两倍。
[0012]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，所述液冷板的数量为多个。
[0013]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，多个所述液冷板沿垂直或平行于
所述玻璃基板的输送方向排列。
[0014]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，所述板本体为矩形板，所述板本体的长度大于所述玻璃基板的长度或宽度。
[0015]作为本技术预抽真空装置的一种优选方案，预抽真空装置还包括风扇，所述风扇位于所述壳体中并设置在所述壳体的内壁上。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]当利用惰性气体对玻璃基板进行降温时，由于气体的比热容低，惰性气体接触到玻璃基板后会快速升温，使其对玻璃基板的冷却效果变差，玻璃基板需要在预抽真空装置中停留较长的时间才能从预抽真空装置中输出，以避免沉积膜在接触到空气后发生氧化。而本技术的预抽真空装置在壳体内设有液冷板，受热的惰性气体会向上升并与液冷板之间进行热交换，使得预抽真空装置中的惰性气体保持在较低的温度，从而有效缩短玻璃基板的冷却时间，提高生产效率。由于气体受热后上升的特性，将液冷板与输送台的上表面垂直设置，相较于将液冷板与输送台的上表面平行的设置方式，能让液冷板对更大高度范围的惰性气体起到冷却作用，因而具有更好的冷却效果。
附图说明
[0018]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0019]图1为本技术一实施例的预抽真空装置的结构示意图；
[0020]图2为图1的侧视图；
[0021]图3为图1中的液冷板的结构示意图；
[0022]图4为本技术一实施例的液冷板的俯视图；
[0023]图5为本技术另一实施例的预抽真空装置的结构示意图。
[0024]图中：
[0025]1、壳体；11、进液口；12、出液口；2、输送台；3、液冷板；31、板本体；32、进液管；33、出液管；4、风扇；100、玻璃基板；200、流道。
具体实施方式
[0026]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0027]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0028]如图1和图2所示，一实施例的预抽真空装置包括包括壳体1、输送台2和三个液冷板3，输送台2和液冷板3均设置在壳体1内，输送台2用于输送玻璃基板100，液冷板3设置在输送台2的上方，且液冷板3与输送台2的上表面垂直设置。
[0029]当利用惰性气体对玻璃基板100进行降温时，由于气体的比热容低，惰性气体接触到玻璃基板100后会快速升温，使其对玻璃基板100的冷却效果变差，玻璃基板100需要在预抽真空装置中停留较长的时间才能从预抽真空装置中输出，以避免沉积膜在接触到空气后
发生氧化。而本技术的预抽真空装置在壳体1内设有液冷板3，受热的惰性气体会向上升并与液冷板3之间进行热交换，使得预抽真空装置中的惰性气体保持在较低的温度，从而有效缩短玻璃基板100的冷却时间，提高生产效率。由于气体受热后上升的特性，将液冷板3与输送台2的上表面垂直设置，相较于将液冷板3与输送台2的上表面平行的设置方式，能让液冷板3对更大高度范围的惰性气体起到冷却作用，因而具有更好的冷却效果。
[0030]如图3所示，液冷板3包括板本体31、进液管32和出液管33，板本体31内开设有供冷却液流动的流道200，进液管32和出液管33的一端均与板本体31连接且与流道200连通。如图1所示，进液管32和出液管33的另一端与壳体1连接并在壳体1上分别形成进液口11和出液口12。液冷板3是设置在输送台2上方的，如果将液冷板3固定在输送台2上，会干扰玻璃基板100的运输，因此，本实施例中的液冷板3通过进液管32和出液管33固定在壳体1上，并不与输送台2之间发生接触，不会对玻璃基板100的输送造成阻碍。
[0031]进一步的，进液管32和出液管33均设置在板本体31的顶部，进液管32和出液管33将板本体31悬挂在壳体1中。如果液冷板3采用侧面固定的方式，板本体31的长度需要与壳体1内部的长度或宽度相匹配才行，从而对板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种预抽真空装置，其特征在于，包括壳体、输送台和至少一个液冷板，所述输送台和所述液冷板均设置在所述壳体内，所述输送台用于输送玻璃基板，所述液冷板设置在所述输送台的上方，且所述液冷板与所述输送台的上表面垂直设置。2.根据权利要求1所述的预抽真空装置，其特征在于，所述液冷板包括板本体、进液管和出液管，所述板本体内开设有供冷却液流动的流道，所述进液管和所述出液管的一端均与所述板本体连接，所述进液管和所述出液管分别与所述流道的两端连通，所述进液管和所述出液管的另一端与所述壳体连接并在所述壳体上分别形成进液口和出液口。3.根据权利要求2所述的预抽真空装置，其特征在于，所述进液管和所述出液管均设置在所述板本体的顶部，所述进液管和所述出液管将所述板本体悬挂在所述壳体中。4.根据权利要求2所述的预抽真空装置，其特征在于，所述板本体为波浪...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴常材，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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