一种双壳体密封氮气柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体和密封门，还包括：不少于两个独立的内部腔体，不少于两个的内部腔体并列位于主壳体中，每个内部腔体的顶部设有进气口，每个内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口；进氮系统，进氮系统为内部腔体提供氮气，进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中；进氮系统与各个内部腔体的进气口连通；温湿度控制系统，每个内部腔体分别设有一个温湿度控制系统，温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度；控制器，每个内部腔体的上方分别安装有一个控制器，控制器与温湿度控制系统和进氮系统电性连接。统和进氮系统电性连接。统和进氮系统电性连接。

【技术实现步骤摘要】
一种双壳体密封氮气柜


[0001]本技术涉及氮气柜加工
，具体为一种双壳体密封氮气柜。

技术介绍

[0002]氮气柜是一种利用氮气吹扫达到防潮防氧化的柜体，在半导体、新能源、电气电子等领域有广泛的应用，晶圆通常放置在晶圆传送盒(FOUP)中，再将晶圆传送盒(FOUP)放置于密封氮气柜中干燥和储存。
[0003]现有技术中，氮气柜还存在以下缺陷：
[0004]氮气柜大都采用单壳体结构，密封性较差，会产生如干燥效率不高，温湿度稳定性不够，氮气消耗量较大，投入产出比较小等问题。
[0005]现有的氮气柜内腔一般采用一体式，当打开一个柜门时，不可避免的会有外界环境中的空气进入柜内，从而影响柜内整个存储环境，需要再次大量通入氮气以排除空气，造成氮气浪费，经济效益低。

技术实现思路

[0006]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种双壳体密封氮气柜，在保证工作性能的前提下，节能环保，具有一定的经济型。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0008]本技术提供一种双壳体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体和密封门，其特征在于，还包括：不少于两个独立的内部腔体，不少于两个的所述内部腔体并列位于所述主壳体中，每个所述内部腔体的顶部设有进气口，每个所述内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口；进氮系统，所述进氮系统为内部腔体提供氮气，所述进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中；所述进氮系统与各个内部腔体的进气口连通；温湿度控制系统，每个所述内部腔体分别设有一个所述温湿度控制系统，所述温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度；控制器，每个所述内部腔体的上方分别安装有一个控制器，所述控制器与温湿度控制系统和进氮系统电性连接。2.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，所述进氮系统包括：并列设置的进气组件，所述进气组件的数量与内部腔体的数量相同，所述并列设置的进气组件分别连通至各个内部腔体中；所述进气组件包括流量计，所述流量计的进气口与进气管连通，所述流量计的出气口与出气管连通，所述出气管上安装有电磁阀。3.如权利要求2所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，所述进气管的端部安装有进气密封接头，所述出气管的端部安装有出气密封接头，所述进气密封接头与主壳体后侧的外接氮气管路连通，所述出气密封接头与内部腔体的顶部的进气口连通。4.如权利要求2所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，相邻两个所述电磁阀螺纹固定在电磁阀支架上，所述电磁阀支架通过螺栓固定在主壳体的顶板上。5.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，每个所述内部腔体内从上到下等间距可拆卸安装有多个隔板，所述隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，汪佳，宋涛，孙固，王建军，王晓明，赵旸，钟岩峰，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：