一种双壳体密封氮气柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体和密封门，还包括：不少于两个独立的内部腔体，不少于两个的内部腔体并列位于主壳体中，每个内部腔体的顶部设有进气口，每个内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口；进氮系统，进氮系统为内部腔体提供氮气，进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中；进氮系统与各个内部腔体的进气口连通；温湿度控制系统，每个内部腔体分别设有一个温湿度控制系统，温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度；控制器，每个内部腔体的上方分别安装有一个控制器，控制器与温湿度控制系统和进氮系统电性连接。统和进氮系统电性连接。统和进氮系统电性连接。

【技术实现步骤摘要】
一种双壳体密封氮气柜


[0001]本技术涉及氮气柜加工
，具体为一种双壳体密封氮气柜。

技术介绍

[0002]氮气柜是一种利用氮气吹扫达到防潮防氧化的柜体，在半导体、新能源、电气电子等领域有广泛的应用，晶圆通常放置在晶圆传送盒(FOUP)中，再将晶圆传送盒(FOUP)放置于密封氮气柜中干燥和储存。
[0003]现有技术中，氮气柜还存在以下缺陷：
[0004]氮气柜大都采用单壳体结构，密封性较差，会产生如干燥效率不高，温湿度稳定性不够，氮气消耗量较大，投入产出比较小等问题。
[0005]现有的氮气柜内腔一般采用一体式，当打开一个柜门时，不可避免的会有外界环境中的空气进入柜内，从而影响柜内整个存储环境，需要再次大量通入氮气以排除空气，造成氮气浪费，经济效益低。

技术实现思路

[0006]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种双壳体密封氮气柜，在保证工作性能的前提下，节能环保，具有一定的经济型。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0008]本技术提供一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体和密封门，还包括：
[0009]不少于两个独立的内部腔体，不少于两个的所述内部腔体并列位于所述主壳体中，每个所述内部腔体的顶部设有进气口，每个所述内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口；
[0010]进氮系统，所述进氮系统为内部腔体提供氮气，所述进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中；所述进氮系统与各个内部腔体的进气口连通；
>[0011]温湿度控制系统，每个所述内部腔体分别设有一个所述温湿度控制系统，所述温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度；
[0012]控制器，每个所述内部腔体的上方分别安装有一个控制器，所述控制器与该内部腔体的温湿度控制系统和进氮系统电性连接。
[0013]优选地，所述进氮系统包括：
[0014]并列设置的进气组件，所述进气组件的数量与内部腔体的数量相同，所述并列设置的进气组件分别连通至各个内部腔体中；
[0015]所述进气组件包括流量计，所述流量计的进气口与进气管连通，所述流量计的出气口与出气管连通，所述出气管上安装有电磁阀。
[0016]优选地，所述进气管的端部安装有进气密封接头，所述出气管的端部安装有出气密封接头，所述进气密封接头与主壳体后侧的外接氮气管路连通，所述出气密封接头与内部腔体的顶部的进气口连通。
[0017]优选地，相邻两个所述电磁阀螺纹固定在电磁阀支架上，所述电磁阀支架通过螺栓固定在主壳体的顶板上。
[0018]优选地，每个所述内部腔体内从上到下等间距可拆卸安装有多个隔板，所述隔板上密布通孔,所述隔板通过其左右两侧的支撑板固定在内部腔体的侧壁上，所述支撑板呈矩形板状，所述支撑板靠近隔板的一侧上部开设有与隔板相匹配的槽，所述支撑板螺纹固定在内部腔体侧壁上的安装孔上，所述安装孔从上到下设置多组。
[0019]优选地，所述主壳体的左右两端分别竖直固定一个内部支撑架，所述内部支撑架位于主壳体与内部腔体之间的空间中，所述主壳体前端面左右两侧转动连接密封门，每个所述密封门的中部安装有钢化玻璃，所述钢化玻璃前后两侧的四周与密封门之间设有橡胶密封条，两个所述密封门在钢化玻璃的内侧沿橡胶密封条固定有压板，所述压板的周边向内部腔体一侧翻折形成折边。
[0020]优选地，所述密封门的四周与内部腔体间均采用四唇密封条密封。
[0021]优选地，所述温湿度控制系统包括温湿度传感器，两个所述内部腔体的一侧壁向内凹陷形成容纳槽，所述容纳槽内安装有温湿度传感器，所述温湿度传感器与其所在内部腔体上的控制器电性连接。
[0022]优选地，所述主壳体的外侧安装有氧含量监测器，所述主壳体的背面内嵌设有温湿度传感器检修窗口和进氮系统检修窗口；
[0023]所述主壳体的底部四角处安装有福马轮。
[0024]优选地，所述密封门通过锁紧件锁紧，所述密封门上安装有开门提示器，每个所述开门提示器分别与其所在内部腔体上的控制器电性连接。
[0025]本技术的有益效果在于：
[0026](1)本技术的内部腔体和主壳体组成双壳体结构，比普通单壳体结构的氮气柜密封效果好；内部腔体独立设置，每个内部腔体分别与密封门组成密封腔体，此腔体为氮气柜工作区，当一个密封腔体的密封门打开时，并不会影响其他密封腔体的存储环境，因此可以大大减少氮气的浪费。同时配合密封门的四周设置的四唇密封条密封，使得内部腔体具有较好的密封性，可以防止外部湿空气的渗入，并且出气口安装有逆止安全阀，可以防止湿空气或湿度较大氮气通过出气管道回流，同时可以控制内部腔体内氮气的流失。
[0027](2)每个密封腔体都有独立的进氮组件和温湿度控制系统，温湿度传感器可以实时监测内部腔体内的温湿度，并在控制器上显示，当温湿度或氮气浓度达不到设定值时，控制器控制加打开电磁阀进气。当温湿度达到设定值，控制器控制关闭电磁阀，使得内部腔体维持一定的温湿度和氮气浓度；通过各自的控制器独立、自动控制，自动化程度高；
[0028](3)隔板将内部腔体分隔为多层，由于隔板密布通孔能保持气体流通，氮气通入内部腔体后，在压差作用下，将湿空气通过出气口置换出去，达到防潮防氧化的目的，隔板通过其左右两侧的支撑板固定在内部腔体的侧壁上，支撑板螺纹固定在内部腔体侧壁上的安装孔上，安装孔从上到下设置多组，如此，可以根据实际需求调节隔板之间的间距以及隔板的数量。
[0029](4)密封门的四周与内部腔体间均采用四唇密封条密封，此类密封条系首次引入氮气柜，其通过四唇密封条压迫密封，具有密封效果好，可靠性强，经久耐用等优点。
[0030](5)温湿度传感器安装于容纳槽内，一方面可以防止晶圆传送盒上水滴对温湿度
传感器的影响，保证较准确的采集实时温湿度数据，另一方面可以避免晶圆传送盒与温湿度传感器直接接触，起到保护作用。温湿度传感器所测的数据通过控制器显示。
[0031](6)主壳体的外侧安装有氧含量监测器，氧含量监测器可以对室内氧含量进行监测，在氧含量较低时，为工作人员提供安全警示。主壳体的背面内嵌设有温湿度传感器检修窗口和进氮系统检修窗口，以上的检修窗口采用内嵌式设计结构，除了能减小占用空间，还能保持较好的美观性；
[0032]主壳体的底部四角处安装有福马轮，福马轮除了可以方便柜体移动，还能让柜体和地面保持距离，防潮防湿。
[0033]两个密封门通过锁紧件锁紧，两个密封门上分别安装有开门提示器，两个开门提示器分别与对应的控制器电性连接，开门提示器可以实时传输开门数据至控制器。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体和密封门，其特征在于，还包括：不少于两个独立的内部腔体，不少于两个的所述内部腔体并列位于所述主壳体中，每个所述内部腔体的顶部设有进气口，每个所述内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口；进氮系统，所述进氮系统为内部腔体提供氮气，所述进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中；所述进氮系统与各个内部腔体的进气口连通；温湿度控制系统，每个所述内部腔体分别设有一个所述温湿度控制系统，所述温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度；控制器，每个所述内部腔体的上方分别安装有一个控制器，所述控制器与温湿度控制系统和进氮系统电性连接。2.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，所述进氮系统包括：并列设置的进气组件，所述进气组件的数量与内部腔体的数量相同，所述并列设置的进气组件分别连通至各个内部腔体中；所述进气组件包括流量计，所述流量计的进气口与进气管连通，所述流量计的出气口与出气管连通，所述出气管上安装有电磁阀。3.如权利要求2所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，所述进气管的端部安装有进气密封接头，所述出气管的端部安装有出气密封接头，所述进气密封接头与主壳体后侧的外接氮气管路连通，所述出气密封接头与内部腔体的顶部的进气口连通。4.如权利要求2所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，相邻两个所述电磁阀螺纹固定在电磁阀支架上，所述电磁阀支架通过螺栓固定在主壳体的顶板上。5.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜，其特征在于，每个所述内部腔体内从上到下等间距可拆卸安装有多个隔板，所述隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，汪佳，宋涛，孙固，王建军，王晓明，赵旸，钟岩峰，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：