一种光刻机的可调支脚座制造技术

本实用新型专利技术属于支脚座技术领域，尤其为一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接有连接卡板，所述连接卡板内部铰接安装有支撑杆，所述安装槽底部铰接安装有支撑底板，所述支撑底板顶端一侧开设有转动槽，所述固定套管内壁一侧中部开设有限位螺孔。通过使用安装槽，可以对支撑杆和支撑底板进行收纳，通过使用固定套管，可以对支撑杆和支撑底板的位置进行调节，通过使用限位螺杆，可以对固定套管进行固定，通过使用支撑底板，可以增大支脚座本体的支撑面积，可以使支脚座本体安装的更加稳定，便于支脚座本体的使用。便于支脚座本体的使用。便于支脚座本体的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的可调支脚座


[0001]本技术属于支脚座
，具体涉及一种光刻机的可调支脚座。

技术介绍

[0002]光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；
[0003]在光刻机的安装过程中，需要使用到支脚座，现有的支脚座通常由底部支撑台和支撑台内部安装的螺柱构成，支脚座的高度一定，当光刻机的安装高度需要调整时，需要对支脚座进行整体更换，较为不便，且支脚座支撑面积一定，当光刻机安装环境改变时，支脚座容易出现稳定性不足的现象，会影响支脚座的使用。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种光刻机的可调支脚座，具有使用性能高和安装稳定性能高的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接有连接卡板，所述连接卡板内部铰接安装有支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体（1），其特征在于：所述支脚座本体（1）外表面等距开设有安装槽（2），所述支脚座本体（1）外表面中部套接安装有固定套管（3），所述固定套管（3）底端等距焊接有连接卡板（4），所述连接卡板（4）内部铰接安装有支撑杆（5），所述安装槽（2）底部铰接安装有支撑底板（6），所述支撑底板（6）顶端一侧开设有转动槽（7），所述固定套管（3）内壁一侧中部开设有限位螺孔（8），所述限位螺孔（8）内部安装有限位螺杆（9）；所述支脚座本体（1）顶端中部开设有固定螺槽（10），所述固定螺槽（10）内部安装有支撑螺柱（11），所述支撑螺柱（11）外表面一侧安装有顶部托盘（12），所述顶部托盘（12）顶端中部开设有固定螺孔（13）。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述固定套管（3）的内径和所述支脚座本体（1）的顶端直径相同。3.根据权利要求1所述的一种光刻机的可调支脚座，其特征在于：所述安装槽（2）...

【专利技术属性】
技术研发人员：商富彬，
申请(专利权)人：江苏瑞鑫集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：