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本实用新型属于支脚座技术领域，尤其为一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接有连接卡板，所述连接卡板内部铰接安装有支撑杆，所述安装槽底...
该专利属于江苏瑞鑫集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏瑞鑫集成电路设备有限公司授权不得商用。

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