一种用于半导体生产设备安装用的防震脚制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括U型卡槽和安装孔，所述防震脚整体呈Z型结构，所述U型卡槽开设于防震脚Z型结构的上部中间位置，所述安装孔为两个，并列开设于防震脚Z型结构的下部位置，所述防振脚Z型结构的中间部位的外侧焊接有外侧加强筋板，所述防振脚Z型结构的中间部位的内侧两端分别焊接有内侧加强筋板。本实用新型专利技术通过设计三块加强筋板有效提高了防震脚的强度，尤其内侧两块加强筋板的设计，大大提高了防震脚上部的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力，且防震脚结构简单，成本低，安装方便。安装方便。安装方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产设备安装用的防震脚


[0001]本技术涉及防震脚
，具体是一种用于半导体生产设备安装用的防震脚。

技术介绍

[0002]半导体制造一般对环境要求都比较高，特别是对地震引起的振动；由于地震的震动会对设备产生水平方向和垂直方向的加速度；由于设备一般情况下是直接安装在地板上，没有对设备的脚进行相应的固定措施，所以当发生地震时，设备会在水平方向和垂直方向受到地震加速度，从而使设备产生水平方向以及垂直方向的移动，从而会损坏设备以及导致设备生产出来的产品的质量受到影响。
[0003]传统固定方式为Z字形固定片，但仅仅是通过一体成型的Z型结构，其强度不够，有的是在内外两侧添加加强筋，但是因加强筋设计不合理，其强度提高不大。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括U型卡槽和安装孔，所述防震脚整体呈Z型结构，所述U型卡槽开设于防震本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括U型卡槽和安装孔，其特征在于，所述防震脚整体呈Z型结构，所述U型卡槽开设于防震脚Z型结构的上部中间位置，所述安装孔为两个，并列开设于防震脚Z型结构的下部位置，所述防震脚Z型结构的中间部位的外侧焊接有外侧加强筋板，所述防震脚Z型结构的中间部位的内侧两端分别焊接有内侧加强筋板。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵小江，刘国东，王宁，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：