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本实用新型提供一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括U型卡槽和安装孔，所述防震脚整体呈Z型结构，所述U型卡槽开设于防震脚Z型结构的上部中间位置，所述安装孔为两个，并列开设于防震脚Z型结构的下部位置，所述防振脚Z型结构的中间部位的外侧焊接...
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