一种半导体生产洁净室的紧固结构制造技术

本实用新型专利技术属于半导体生产技术领域，尤其为一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板，所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板，所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板，所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔，所述第一固定板一端四边角处和第二固定板一端四边角处均开设有连接孔，所述连接孔内部安装有连接螺栓。通过限位滑孔、限位螺柱和限位螺帽的配合使用，可以对支撑板进行固定，便于工作人员对支撑底板的使用，通过第一固定板、第二固定板、支撑板和支撑底板的配合使用，可以对支撑腿进行辅助支撑，可以使支撑腿安装的更加稳定，便于工作人员对支撑腿的使用。便于工作人员对支撑腿的使用。便于工作人员对支撑腿的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产洁净室的紧固结构


[0001]本技术属于半导体生产
，具体涉及一种半导体生产洁净室的紧固结构。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件；
[0003]在半导体生产洁净室内部会安装若干仪器中，仪器与洁净室地面之间通过支撑腿进行支撑，现有的支撑腿设计只是保证其允许的垂直方向的载重，当仪器出现震动时，支撑腿容易出现倾斜和晃动的现象，会影响支撑腿的正常使用。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种半导体生产洁净室的紧固结构，具有可以对支撑腿进行辅助支撑，让支撑腿安装更加稳定的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板，所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板，所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板，所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔，所述第一固定板一端四边角处和第二固定板一端四边角处均开设有连接孔，所述连接孔内部安装有连接螺栓；
[0006]所述第一固定板另一端顶部和第二固定板另一端顶部均开设有连接转槽，所述连接转槽内部铰接安装有支撑板，所述支撑板一端边部连接有支撑底板，所述支撑底板顶端中部开设有固定转槽，所述支撑板一端中部开设有限位滑孔，所述第一固定板另一端底部和第二固定板另一端底部均开设有限位转槽，所述限位转槽内部铰接安装有固定转轴，所述固定转轴外表面中部焊接有限位螺柱，所述限位螺柱外表面一侧安装有限位螺帽。
[0007]作为本技术的一种半导体生产洁净室的紧固结构优选技术方案，所述导向滑板的纵截面尺寸和导向滑孔的纵截面尺寸相同，所述导向滑板一端贯穿导向滑孔。
[0008]作为本技术的一种半导体生产洁净室的紧固结构优选技术方案，所述支撑板一端边部位于固定转槽内部，所述支撑板和支撑底板之间通过铰接连接。
[0009]作为本技术的一种半导体生产洁净室的紧固结构优选技术方案，所述限位转槽内壁顶端中部开设有收纳槽，所述收纳槽的长度大于限位螺柱的长度，所述收纳槽的宽度和限位螺柱的直径相同。
[0010]作为本技术的一种半导体生产洁净室的紧固结构优选技术方案，所述限位滑孔的宽度和限位螺柱的直径相同，所述限位螺柱一端贯穿限位滑孔。
[0011]作为本技术的一种半导体生产洁净室的紧固结构优选技术方案，一个所述限位螺柱外表面一侧安装有两个所述限位螺帽，两个所述限位螺帽一端均与支撑板接触。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术在使用时，通过导向滑孔和导向滑板的配合使用，可以降低第一固定板与第二固定板的拼装难度，通过连接孔和连接螺栓的使用，可以对第一固定板与第二固定板之间进行连接固定，降低了紧固结构的安装难度，便于工作人员对紧固结构的使用。
[0014]2、本技术在使用时，通过连接转槽的固定转槽配合使用，可以降低支撑板的转动难度，便于工作人员对支撑底板使用角度的调节，通过限位滑孔、限位螺柱和限位螺帽的配合使用，可以对支撑板进行固定，便于工作人员对支撑底板的使用，通过第一固定板、第二固定板、支撑板和支撑底板的配合使用，可以对支撑腿进行辅助支撑，可以使支撑腿安装的更加稳定，便于工作人员对支撑腿的使用。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术中连接螺栓的安装结构示意图；
[0018]图3为本技术中导向滑孔的结构示意图；
[0019]图4为本技术中收纳槽的结构示意图。
[0020]图中：1、第一固定板；2、导向滑板；3、第二固定板；4、导向滑孔；5、连接孔；6、连接螺栓；7、连接转槽；8、支撑板；9、支撑底板；10、固定转槽；11、限位转槽；12、收纳槽；13、固定转轴；14、限位螺柱；15、限位螺帽；16、限位滑孔。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0022]请参阅图1
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4，本技术提供以下技术方案：一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板1，第一固定板1一端边部焊接有导向滑板2，导向滑板2外表面一侧安装有第二固定板3，第二固定板3一端边部开设有导向滑孔4，导向滑板2的纵截面尺寸和导向滑孔4的纵截面尺寸相同，导向滑板2一端贯穿导向滑孔4，可以对第一固定板1与第二固定板3之间的拼装进行定位和限位，有利于降低紧固装置的组装难度，第一固定板1一端四边角处和第二固定板3一端四边角处均开设有连接孔5，连接孔5内部安装有连接螺栓6；
[0023]第一固定板1另一端顶部和第二固定板3另一端顶部均开设有连接转槽7，连接转槽7内部铰接安装有支撑板8，支撑板8一端边部连接有支撑底板9，支撑底板9顶端中部开设有固定转槽10，支撑板8一端边部位于固定转槽10内部，支撑板8和支撑底板9之间通过铰接连接，可以降低支撑底板9的安装难度，便于支撑底板9的使用，支撑板8一端中部开设有限位滑孔16；
[0024]第一固定板1另一端底部和第二固定板3另一端底部均开设有限位转槽11，限位转
槽11内部铰接安装有固定转轴13，固定转轴13外表面中部焊接有限位螺柱14，限位转槽11内壁顶端中部开设有收纳槽12，收纳槽12的长度大于限位螺柱14的长度，收纳槽12的宽度和限位螺柱14的直径相同，可以对限位螺柱14进行收纳，便于限位螺柱14的存放，限位滑孔16的宽度和限位螺柱14的直径相同，限位螺柱14一端贯穿限位滑孔16，一个限位螺柱14外表面一侧安装有两个限位螺帽15，两个限位螺帽15一端均与支撑板8接触，可以对支撑板8进行固定限位，便于支撑板8的使用。
[0025]本技术的工作原理及使用流程：工作人员移动第二固定板3，并对第二固定板3的位置进行调整，使的导向滑板2进入到导向滑孔4内部，之后工作人员分别转动第一固定板1和第二固定板3上安装的支撑板8，并从收纳槽12内部取出限位螺柱14，然后工作人员在限位螺柱14上安装第一限位螺帽15，并转动限位螺柱14，使的限位螺柱14穿过限位滑孔16，随后工作人员对支撑板8的角度进行调节，当两个支撑底板9均能与地面平稳接触时，工作人员在限位螺柱14上安装第二限位螺帽15，对支撑板8进行固定；
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板（1），其特征在于：所述第一固定板（1）一端边部焊接有导向滑板（2），所述导向滑板（2）外表面一侧安装有第二固定板（3），所述第二固定板（3）一端边部开设有导向滑孔（4），所述第一固定板（1）一端四边角处和第二固定板（3）一端四边角处均开设有连接孔（5），所述连接孔（5）内部安装有连接螺栓（6）；所述第一固定板（1）另一端顶部和第二固定板（3）另一端顶部均开设有连接转槽（7），所述连接转槽（7）内部铰接安装有支撑板（8），所述支撑板（8）一端边部连接有支撑底板（9），所述支撑底板（9）顶端中部开设有固定转槽（10），所述支撑板（8）一端中部开设有限位滑孔（16），所述第一固定板（1）另一端底部和第二固定板（3）另一端底部均开设有限位转槽（11），所述限位转槽（11）内部铰接安装有固定转轴（13），所述固定转轴（13）外表面中部焊接有限位螺柱（14），所述限位螺柱（14）外表面一侧安装有限位螺帽（15）。2.根据权利要求1所述的一种半导体生...

【专利技术属性】
技术研发人员：商富彬，
申请(专利权)人：江苏瑞鑫集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：