一种半导体生产洁净室的紧固结构制造技术

本实用新型专利技术属于半导体生产技术领域，尤其为一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板，所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板，所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板，所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔，所述第一固定板一端四边角处和第二固定板一端四边角处均开设有连接孔，所述连接孔内部安装有连接螺栓。通过限位滑孔、限位螺柱和限位螺帽的配合使用，可以对支撑板进行固定，便于工作人员对支撑底板的使用，通过第一固定板、第二固定板、支撑板和支撑底板的配合使用，可以对支撑腿进行辅助支撑，可以使支撑腿安装的更加稳定，便于工作人员对支撑腿的使用。便于工作人员对支撑腿的使用。便于工作人员对支撑腿的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产洁净室的紧固结构


[0001]本技术属于半导体生产
，具体涉及一种半导体生产洁净室的紧固结构。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件；
[0003]在半导体生产洁净室内部会安装若干仪器中，仪器与洁净室地面之间通过支撑腿进行支撑，现有的支撑腿设计只是保证其允许的垂直方向的载重，当仪器出现震动时，支撑腿容易出现倾斜和晃动的现象，会影响支撑腿的正常使用。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种半导体生产洁净室的紧固结构，具有可以对支撑腿进行辅助支撑，让支撑腿安装更加稳定的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板，所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板，所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板，所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔，所述第一固定板一端四边角处和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板（1），其特征在于：所述第一固定板（1）一端边部焊接有导向滑板（2），所述导向滑板（2）外表面一侧安装有第二固定板（3），所述第二固定板（3）一端边部开设有导向滑孔（4），所述第一固定板（1）一端四边角处和第二固定板（3）一端四边角处均开设有连接孔（5），所述连接孔（5）内部安装有连接螺栓（6）；所述第一固定板（1）另一端顶部和第二固定板（3）另一端顶部均开设有连接转槽（7），所述连接转槽（7）内部铰接安装有支撑板（8），所述支撑板（8）一端边部连接有支撑底板（9），所述支撑底板（9）顶端中部开设有固定转槽（10），所述支撑板（8）一端中部开设有限位滑孔（16），所述第一固定板（1）另一端底部和第二固定板（3）另一端底部均开设有限位转槽（11），所述限位转槽（11）内部铰接安装有固定转轴（13），所述固定转轴（13）外表面中部焊接有限位螺柱（14），所述限位螺柱（14）外表面一侧安装有限位螺帽（15）。2.根据权利要求1所述的一种半导体生...

【专利技术属性】
技术研发人员：商富彬，
申请(专利权)人：江苏瑞鑫集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：