一种光伏镀膜设备用加热器组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光伏镀膜设备用加热器组件，属于光伏镀膜领域，包括底板，底板的底部设置有屏蔽反射板，底板的表面设置有支撑柱，底板的一侧焊接有加热管支架，加热管支架的表面固定连接有反射板体，反射板体的一侧设置有出线法兰；通过设施多温区加热，每温区配备一支热电偶，温区布置合理，可以精准对载板加热温度进行精准控温，实现大面积加热的温度均匀性，通过加热器组件设置多层屏蔽反射板，在真空中有效的阻隔热量，防止真空腔室温度过高，同时降低了能耗，通过加热器组件设置了均温板体，加热效率得到了提高，通过加热器温区设置为环形温区控制，实现四周温度补偿，中心温度调节，对温度控制更加精准。对温度控制更加精准。对温度控制更加精准。

【技术实现步骤摘要】
一种光伏镀膜设备用加热器组件


[0001]本技术属于光伏镀膜
，具体涉及一种光伏镀膜设备用加热器组件。

技术介绍

[0002]随着光伏行业的大力发展，为了进一步提高太阳能电池组件的光电转换效率，需要使用到加热器组件。
[0003]但是目前市场上的光伏镀膜设备在物理气相沉积工艺或者化学气相沉积工艺中均需要一个衬底温度，对薄膜生长的均匀性和致密性有这显著的影响，衬底温度的均匀性对成膜质量息息相关，为此这里提出了一种光伏镀膜设备用加热器组件。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光伏镀膜设备用加热器组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光伏镀膜设备用加热器组件，包括底板，所述底板的底部设置有屏蔽反射板，所述底板的表面设置有支撑柱，所述底板的一侧焊接有加热管支架，所述加热管支架的表面固定连接有反射板体，所述反射板体的一侧设置有出线法兰，所述反射板体的顶部设置有均温板体。
[0006]作为一种优选的实施方式，所述均温板体与反射板体沿着底板的侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光伏镀膜设备用加热器组件，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的底部设置有屏蔽屏蔽反射板(2)，所述底板(1)的表面设置有支撑柱(3)，所述底板(1)的一侧焊接有加热管支架(6)，所述加热管支架(6)的表面固定连接有反射板体(5)，所述屏蔽反射板(2)反射板体(5)的一侧设置有出线法兰(4)，所述反射板体(5)的顶部设置有均温板体(7)。2.根据权利要求1所述的一种光伏镀膜设备用加热器组件，其特征在于：所述均温板体(7)与反射板体(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马尚忠，鲁继浩，罗欣，毛成，
申请(专利权)人：上海欧展电器有限公司，
类型：新型
国别省市：