一种MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于基底的一侧的基座和设置在基座上的电容系统，电容系统包括背板组件以及与背板组件相对且分别间隔设置在背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于基座的内侧的悬臂结构，悬臂结构的未固定侧与基座的内侧形成间隔，背板组件包括子背板组件，第一振膜包括第一子振膜，第二振膜包括第二子振膜，子背板组件、第一子振膜和第二子振膜均固定连接于悬臂结构且位于悬臂结构的装配空间内的。第一子振膜和第二子振膜在基座上形成悬臂梁结构，实现增大第一振膜和第二振膜的顺性和降低张力，从而实现提升麦克风的灵敏度。从而实现提升麦克风的灵敏度。从而实现提升麦克风的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风


[0001]本技术属于麦克风
，尤其涉及一种MEMS麦克风。

技术介绍

[0002]由于MEMS(Micro－Electro－Mechanical System，微机电系统)技术具有小型化、易集成、高性能、低成本等特点，使其获得业界青睐，MEMS麦克风在当前的移动电话中应用较为广泛。
[0003]常见的MEMS麦克风为电容式，即包括振膜和背板，二者构成MEMS声传感电容，且MEMS声传感电容进一步通过连接盘连接到处理芯片以将声传感信号输出给处理芯片进行信号处理。为了进一步提高MEMS麦克风的性能，现有技术提出了双振膜MEMS麦克风结构，即利用两层振膜分别与背板构成电容结构；然而由于振膜存在张力过大、顺性不足的缺点，导致麦克风的灵敏度降低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种MEMS麦克风，能够解决相关技术中由于振膜存在张力过大、顺性不足的缺点，导致麦克风的灵敏度降低。
[0005]本技术的技术方案如下：一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧的基座和设置在所述基座上的电容系统，所述电容系统包括背板组件以及与所述背板组件相对且分别间隔设置在所述背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，所述MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于所述基座的内侧的悬臂结构，所述悬臂结构的未固定侧与所述基座的内侧形成间隔，所述背板组件包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的子背板组件，所述第一振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第一子振膜，所述第二振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第二子振膜。
[0006]优选地，所述悬臂结构包括两端均固定连接于所述基座的内侧的横梁组件，所述横梁组件和所述基座的内侧围合形成所述装配空间，所述横梁组件的背离所述装配空间侧和所述基座的内侧具有间隔。
[0007]优选地，所述MEMS麦克风包括一所述悬臂结构，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，各所述横梁沿着所述基座的内轮廓延伸且和所述基座的内侧形成间隔。
[0008]优选地，所述MEMS麦克风包括至少两所述悬臂结构，每一所述悬臂结构设有一所述子背板组件、一所述第一子振膜和一所述第二子振膜，各所述横梁组件环绕所述基座的中心等角度间隔设置，相邻的所述横梁组件之间形成狭缝。
[0009]优选地，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，所述横梁组件对应的所述电容系统的一侧固定于所述基座的内侧，所述横梁组件的横梁围设于对应的所述电容系统的未与所述基座相连侧，相邻
悬臂结构的横梁之间形成所述狭缝。
[0010]优选地，所述悬臂结构还包括固定于所述横梁的背离所述装配空间侧的加强筋，所述加强筋与所述横梁相匹配。
[0011]优选地，所述第一子振膜和所述第二子振膜均与所述基座的内侧固定连接，所述第一子振膜、所述第二子振膜、所述基座和对应的所述悬臂结构围合形成密闭空间。
[0012]优选地，所述MEMS麦克风还包括与所述悬臂结构相匹配且两端分别固定连接于所述第一子振膜和所述第二子振膜的至少一支撑绝缘件，所述支撑绝缘件贯穿通过所述背板组件。
[0013]优选地，所述支撑绝缘件设置有多个，各所述支撑绝缘件环绕所述基座的中心间隔排列。
[0014]优选地，所述子背板组件包括固定连接于所述悬臂结构和所述基座的内侧的背板、第一电极层和第二电极层，所述第一电极层叠设于所述背板靠近所述第一子振膜的板面，所述第二电极层叠设于所述背板靠近所述第二子振膜的板面，所述第一电极层与所述第一子振膜之间具有间隔，所述第二电极层与所述第二子振膜之间具有间隔。
[0015]本技术的有益效果在于：将悬臂结构的一侧固定于基座的内侧，且悬臂结构的未固定侧与基座的内侧形成间隔，使得悬臂结构能够在基座上形成悬臂梁结构并震动；又由于第一子振膜和第二子振膜固定于悬臂结构的装配空间内，使得第一子振膜和第二子振膜可以跟随悬臂结构震动，即第一子振膜和第二子振膜也在基座上形成悬臂梁结构，实现增大第一振膜和第二振膜的顺性，降低第一振膜和第二振膜的张力，从而实现提升麦克风的灵敏度。
【附图说明】
[0016]图1为本技术一种MEMS麦克风的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术一种MEMS麦克风中电容系统的立体分解结构示意图；
[0018]图3为本技术一种MEMS麦克风中部分组件的立体分解结构示意图；
[0019]图4为本技术一种MEMS麦克风的俯视图；
[0020]图5为图4中的A－A向剖视图。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0022]请参阅图1、图2和图3，一种MEMS麦克风，包括具有背腔11的基底1、设置于基底1的一侧的基座2和设置在基座2上的电容系统3，电容系统3包括背板组件31以及与背板组件31相对且分别间隔设置在背板组件31两侧的第一振膜32和第二振膜33，MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于基座2的内侧的悬臂结构4，悬臂结构4的未固定侧与基座2的内侧形成间隔，背板组件31包括固定连接于悬臂结构4且位于悬臂结构4的装配空间内的子背板组件311，第一振膜32包括固定连接于悬臂结构4且位于悬臂结构4的装配空间内的第一子振膜321，第二振膜33包括固定连接于悬臂结构4且位于悬臂结构4的装配空间内的第二子振膜331。可以理解的，将悬臂结构4的一侧固定于基座2的内侧，且悬臂结构4的未固定侧与基座2的内侧形成间隔，使得悬臂结构4能够在基座2上形成悬臂梁结构并震动；又由于
第一子振膜321和第二子振膜331固定于悬臂结构4的装配空间内，使得第一子振膜321和第二子振膜331可以跟随悬臂结构4震动，即第一子振膜321和第二子振膜331也在基座2上形成悬臂梁结构，实现增大第一振膜32和第二振膜33的顺性，降低第一振膜32和第二振膜33的张力，从而实现提升麦克风的灵敏度。
[0023]请参阅图3、图4和图5，在本实施例中，悬臂结构4包括两端均固定连接于基座2的内侧的横梁组件41，横梁组件41和基座2的内侧围合形成装配空间，横梁组件41的背离装配空间侧和基座2的内侧具有间隔。具体的，基底1可以为矩形块，背腔11可以为圆柱孔，且背腔11的中心线与基底1的中心线相重合；基座2可以为圆环或矩形环，基座2的内孔直径大于背腔11的直径，使得基座2可以围合于背腔11外；基底1和基座2的材质可以为半导体材料，例如硅，背腔11可以通过体硅工艺或干法腐蚀形成。横梁组件41和基座2的内侧围合形成的装配空间可以为矩形和扇形等，横梁组件41的两端均固定连接于基座2的内侧，且横梁组件41的背离装配空间侧和基座2的内侧具有间隔，使得横梁组件41在基座2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧的基座和设置在所述基座上的电容系统，所述电容系统包括背板组件以及与所述背板组件相对且分别间隔设置在所述背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于所述基座的内侧的悬臂结构，所述悬臂结构的未固定侧与所述基座的内侧形成间隔，所述背板组件包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的子背板组件，所述第一振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第一子振膜，所述第二振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第二子振膜。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述悬臂结构包括两端均固定连接于所述基座的内侧的横梁组件，所述横梁组件和所述基座的内侧围合形成所述装配空间，所述横梁组件的背离所述装配空间侧和所述基座的内侧具有间隔。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括一所述悬臂结构，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，各所述横梁沿着所述基座的内轮廓延伸且和所述基座的内侧形成间隔。4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括至少两所述悬臂结构，每一所述悬臂结构设有一所述子背板组件、一所述第一子振膜和一所述第二子振膜，各所述横梁组件环绕所述基座的中心等角度间隔设置，相邻的所述横梁组件之间形成狭缝。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯杰，赵转转，
申请(专利权)人：瑞声开泰科技武汉有限公司，
类型：新型
国别省市：