一种光学薄膜加工用的厚度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，涉及光学薄膜加工领域。包括光学薄膜厚度测量仪本体，还包括：承托机构，其用以承托待检测光学零件；平面坐标系移动机构，其设置在光学薄膜厚度测量仪本体上用以驱动承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，X轴方向与Y轴方向相互垂直；以及移动减震机构，其设置在承托机构与平面坐标系移动机构之间用以减缓从平面坐标系移动机构传递到承托机构处的震动。承托机构处的震动。承托机构处的震动。

【技术实现步骤摘要】
一种光学薄膜加工用的厚度检测装置


[0001]本技术涉及光学薄膜加工
，特别涉及一种光学薄膜加工用的厚度检测装置。

技术介绍

[0002]镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜，目的是希望减少光的反射，增加透光率，抗紫外线并抑制耀光、鬼影。镀膜膜厚单位一般使用微米(μm)单位，其厚度非常小，传统方法根本无法精准测量,而在实际应用环节中镀膜的厚度又对产品质量有着极其重要的影响。由于光学镀膜的厚度普遍较薄，因此其厚度比较难以测量，目前我国使用的薄膜厚度测量装置只能够对点厚度进行测量，不能对物品表面厚度进行连续测量，因此目前普遍采用光学薄膜厚度测量仪进行连续的点位测量。
[0003]现有的光学薄膜厚度测量仪在使用中，首先对需要检测测量的光学零件固定不够稳定，尤其是在测量不同点位时需要不断变换光学零件位置，光学零件固定不稳定将严重影响测量准确性，同时在驱动光学零件移动时常常伴随着震动，同样严重影响测量准确性，为了对此进行改善，需要设计一种光学薄膜加工用的厚度检测装置。

技术实现思路

[0004]本技术要解决上述的技术问题，提供一种光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，包括光学薄膜厚度测量仪本体(1)，其特征在于，还包括：承托机构，其用以承托待检测光学零件；平面坐标系移动机构，其设置在所述光学薄膜厚度测量仪本体(1)上用以驱动所述承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直；以及移动减震机构，其设置在所述承托机构与所述平面坐标系移动机构之间用以减缓从所述平面坐标系移动机构传递到所述承托机构处的震动。2.根据权利要求1所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述承托机构包括：承托底盘(2)，所述承托底盘(2)上开设有嵌装凹槽(3)；活动承托盘(4)，所述活动承托盘(4)能够可拆卸的嵌入所述嵌装凹槽(3)内，所述活动承托盘(4)上开设有用以容纳光学零件的容纳凹槽(5)；以及固定机构，其设置在所述活动承托盘(4)上用以将光学零件固定在所述容纳凹槽(5)内。3.根据权利要求2所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述固定机构包括：弹性布罩(6)，其连接在所述嵌装凹槽(3)内一侧表面上；螺纹孔(7)，其开设在所述活动承托盘(4)侧表面上并与所述嵌装凹槽(3)相连通；螺纹杆(8)，其穿设于所述螺纹孔(7)内并伸入所述嵌装凹槽(3)内，所述螺纹杆(8)与所述螺纹孔(7)之间螺纹配合；以及弹性橡胶球(9)，其连接在所述螺纹杆(8)上伸入所述嵌装凹槽(3)内的一端，所述弹性橡胶球(9)被包裹于所述弹性布罩(6)内。4.根据权利要求2所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述平面坐标系移动机构包括设置在所述光学薄膜厚度测量仪本体(1)上的第一无盖盒体(10)、设置在所述第一无盖盒体(10)内的第二无盖盒体(11)、设置在所述第一无盖盒体(10)与所述第二无盖盒体(11)之间的X轴方向移动驱动机构以及设置在所述承托底盘(2)与所述第二无盖盒体(11)之间的Y轴方向移动驱动机构。5.根据权利要求4所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述X轴方向移动驱动机构包括：第一直线电机(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏丽秀，
申请(专利权)人：长春富倍驰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：