本实用新型专利技术为一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，涉及光学薄膜加工领域。包括光学薄膜厚度测量仪本体，还包括：承托机构，其用以承托待检测光学零件；平面坐标系移动机构，其设置在光学薄膜厚度测量仪本体上用以驱动承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，X轴方向与Y轴方向相互垂直；以及移动减震机构，其设置在承托机构与平面坐标系移动机构之间用以减缓从平面坐标系移动机构传递到承托机构处的震动。承托机构处的震动。承托机构处的震动。
【技术实现步骤摘要】
一种光学薄膜加工用的厚度检测装置
[0001]本技术涉及光学薄膜加工
，特别涉及一种光学薄膜加工用的厚度检测装置。
技术介绍
[0002]镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜，目的是希望减少光的反射，增加透光率，抗紫外线并抑制耀光、鬼影。镀膜膜厚单位一般使用微米(μm)单位，其厚度非常小，传统方法根本无法精准测量,而在实际应用环节中镀膜的厚度又对产品质量有着极其重要的影响。由于光学镀膜的厚度普遍较薄，因此其厚度比较难以测量，目前我国使用的薄膜厚度测量装置只能够对点厚度进行测量，不能对物品表面厚度进行连续测量，因此目前普遍采用光学薄膜厚度测量仪进行连续的点位测量。
[0003]现有的光学薄膜厚度测量仪在使用中，首先对需要检测测量的光学零件固定不够稳定，尤其是在测量不同点位时需要不断变换光学零件位置，光学零件固定不稳定将严重影响测量准确性，同时在驱动光学零件移动时常常伴随着震动，同样严重影响测量准确性，为了对此进行改善，需要设计一种光学薄膜加工用的厚度检测装置。
技术实现思路
[0004]本技术要解决上述的技术问题，提供一种光学薄膜加工用的厚度检测装置。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术的技术方案具体如下：
[0006]一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，包括光学薄膜厚度测量仪本体，还包括：
[0007]承托机构，其用以承托待检测光学零件；
[0008]平面坐标系移动机构，其设置在所述光学薄膜厚度测量仪本体上用以驱动所述承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直；
[0009]以及移动减震机构，其设置在所述承托机构与所述平面坐标系移动机构之间用以减缓从所述平面坐标系移动机构传递到所述承托机构处的震动。
[0010]优选的，所述承托机构包括：
[0011]承托底盘，所述承托底盘上开设有嵌装凹槽；
[0012]活动承托盘，所述活动承托盘能够可拆卸的嵌入所述嵌装凹槽内，所述活动承托盘上开设有用以容纳光学零件的容纳凹槽；
[0013]以及固定机构，其设置在所述活动承托盘上用以将光学零件固定在所述容纳凹槽内。
[0014]优选的，所述固定机构包括：
[0015]弹性布罩，其连接在所述嵌装凹槽内一侧表面上；
[0016]螺纹孔，其开设在所述活动承托盘侧表面上并与所述嵌装凹槽相连通；
[0017]螺纹杆，其穿设于所述螺纹孔内并伸入所述嵌装凹槽内，所述螺纹杆与所述螺纹
孔之间螺纹配合；
[0018]以及弹性橡胶球，其连接在所述螺纹杆上伸入所述嵌装凹槽内的一端，所述弹性橡胶球被包裹于所述弹性布罩内。
[0019]优选的，所述平面坐标系移动机构包括设置在所述光学薄膜厚度测量仪本体上的第一无盖盒体、设置在所述第一无盖盒体内的第二无盖盒体、设置在所述第一无盖盒体与所述第二无盖盒体之间的X轴方向移动驱动机构以及设置在所述承托底盘与所述第二无盖盒体之间的Y轴方向移动驱动机构。
[0020]优选的，所述X轴方向移动驱动机构包括：
[0021]第一直线电机，其设置在所述第一无盖盒体与所述第二无盖盒体之间用以驱动所述第二无盖盒体在所述第一无盖盒体内移动；
[0022]导向杆，其为结构相同的两组并相互平行的对称设置在所述第二无盖盒体下表面，两组所述导向杆对称分布在所述第一直线电机两侧并与所述第一直线电机轴线延伸方向相互平行；
[0023]以及限位支撑导向圆环，每组所述导向杆上均设有两组所述限位支撑导向圆环，所述限位支撑导向圆环同轴套装在所述导向杆上并滑动于所述导向杆上，所述限位支撑导向圆环的外侧表面固定连接在所述第二无盖盒体上。
[0024]优选的，所述Y轴方向移动驱动机构包括：
[0025]第二直线电机，其设置在所述承托底盘与所述第二无盖盒体之间用以驱动所述承托底盘在所述所述第二无盖盒体内移动，所述第二直线电机轴线延伸方向与所述第一直线电机轴线延伸方向相互垂直；
[0026]导向支撑滑轨，为结构相同的两组并相互平行的对称设置在所述第二无盖盒体上表面，两组所述导向支撑滑轨对称分布在所述第二直线电机两侧并与所述第二直线电机轴线延伸方向相互平行；
[0027]以及支撑滑块，其为结构相同的两组并与两组所述导向支撑滑轨之间一一对应设置，所述支撑滑块滑动于所述导向支撑滑轨上；
[0028]所述移动减震机构设置在所述支撑滑块与所述承托底盘之间。
[0029]优选的，所述移动减震机构包括：
[0030]柱形减震器，在两组所述支撑滑块中的每个所述支撑滑块上表面两端均设有柱形减震器，所述柱形减震器的两端分别固定连接在所述支撑滑块与所述承托底盘上。
[0031]优选的，所述柱形减震器为圆柱形橡胶柱体。
[0032]本技术具有以下的有益效果：
[0033]本技术的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，通过承托机构能够更加稳定的固定光学零件以进行更为稳定的厚度检测工作，同时利用平面坐标系移动机构驱动承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，以使光学薄膜厚度测量仪本体对光学零件进行连续点位的厚度检测，同时利用移动减震机构减缓从平面坐标系移动机构传递到承托机构处的震动，减少振动对厚度检测工作的影响，提高光学薄膜加工用时厚度检测精准度。
附图说明
[0034]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明。
[0035]图1为本技术的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置的结构示意图；
[0036]图2为本技术的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置的侧视的结构示意图；
[0037]图3为本技术的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置的承托机构的俯视图。
[0038]图中的附图标记表示为：
[0039]1、光学薄膜厚度测量仪本体；2、承托底盘；3、嵌装凹槽；4、活动承托盘；5、容纳凹槽；6、弹性布罩；7、螺纹孔；8、螺纹杆；9、弹性橡胶球；10、第一无盖盒体；11、第二无盖盒体；12、第一直线电机；13、导向杆；14、限位支撑导向圆环；15、第二直线电机；16、导向支撑滑轨；17、支撑滑块；18、柱形减震器。
具体实施方式
[0040]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0041]请参阅图1
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3，一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，包括光学薄膜厚度测量仪本体1，还包括：
[0042]承托机构，其用以承托待检测光学零件；
[0043]平面坐标系移动机构，其设置在光学薄膜厚度测量仪本体1上用以驱动承托机构沿水平的平面坐标系的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，包括光学薄膜厚度测量仪本体(1)，其特征在于，还包括：承托机构，其用以承托待检测光学零件；平面坐标系移动机构，其设置在所述光学薄膜厚度测量仪本体(1)上用以驱动所述承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直；以及移动减震机构，其设置在所述承托机构与所述平面坐标系移动机构之间用以减缓从所述平面坐标系移动机构传递到所述承托机构处的震动。2.根据权利要求1所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述承托机构包括：承托底盘(2)，所述承托底盘(2)上开设有嵌装凹槽(3)；活动承托盘(4)，所述活动承托盘(4)能够可拆卸的嵌入所述嵌装凹槽(3)内，所述活动承托盘(4)上开设有用以容纳光学零件的容纳凹槽(5)；以及固定机构，其设置在所述活动承托盘(4)上用以将光学零件固定在所述容纳凹槽(5)内。3.根据权利要求2所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述固定机构包括：弹性布罩(6)，其连接在所述嵌装凹槽(3)内一侧表面上；螺纹孔(7)，其开设在所述活动承托盘(4)侧表面上并与所述嵌装凹槽(3)相连通；螺纹杆(8)，其穿设于所述螺纹孔(7)内并伸入所述嵌装凹槽(3)内，所述螺纹杆(8)与所述螺纹孔(7)之间螺纹配合；以及弹性橡胶球(9)，其连接在所述螺纹杆(8)上伸入所述嵌装凹槽(3)内的一端，所述弹性橡胶球(9)被包裹于所述弹性布罩(6)内。4.根据权利要求2所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述平面坐标系移动机构包括设置在所述光学薄膜厚度测量仪本体(1)上的第一无盖盒体(10)、设置在所述第一无盖盒体(10)内的第二无盖盒体(11)、设置在所述第一无盖盒体(10)与所述第二无盖盒体(11)之间的X轴方向移动驱动机构以及设置在所述承托底盘(2)与所述第二无盖盒体(11)之间的Y轴方向移动驱动机构。5.根据权利要求4所述的一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，其特征在于，所述X轴方向移动驱动机构包括：第一直线电机(12...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏丽秀，
申请(专利权)人：长春富倍驰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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