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本实用新型为一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，涉及光学薄膜加工领域。包括光学薄膜厚度测量仪本体，还包括：承托机构，其用以承托待检测光学零件；平面坐标系移动机构，其设置在光学薄膜厚度测量仪本体上用以驱动承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y...
该专利属于长春富倍驰光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春富倍驰光电科技有限公司授权不得商用。

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