本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗设备的喷淋装置，属于喷淋设备技术领域，包括承载底座、上料台、电动滑轨、取料组件、夹持组件、喷淋组件和输送组件，所述电动滑轨和上料台对称安装在承载底座上，所述取料组件处于电动滑轨和上料台之间，所述夹持组件固定安装在电动滑轨上且夹持组件处于承载底座的上方，并且夹持组件的一端靠近取料组件的下方，所述喷淋组件和输送组件分别安装在承载底座上且喷淋组件和输送组件处于取料组件的旁侧，所述输送组件与喷淋组件连接，本实用新型专利技术对晶圆喷淋时，通过夹持组件带动喷淋组件围绕着晶圆做圆周运动，使喷淋组件可更加全面地将喷淋液喷洒到晶圆上，从而可更加全面的对晶圆进行清洗。从而可更加全面的对晶圆进行清洗。从而可更加全面的对晶圆进行清洗。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备的喷淋装置
[0001]本技术涉及喷淋设备
，尤其涉及一种晶圆清洗设备的喷淋装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]现有技术中的喷淋设备对晶圆清洗时，由于喷淋设备上的喷淋方向单一，只能朝固定的方向喷洒喷淋液，使在对晶圆清洗的过程中，无法更加全面的对晶圆进行喷淋清洗。
技术实现思路
[0004]本技术实施例提供一种晶圆清洗设备的喷淋装置，以解决现有技术中喷淋设备上的喷淋方向单一，只能朝固定的方向喷洒喷淋液，使在对晶圆清洗的过程中，无法更加全面的对晶圆进行喷淋清洗的技术问题。
[0005]本技术实施例采用下述技术方案：包括承载底座、上料台、电动滑轨、取料组件、夹持组件、喷淋组件和输送组件，所述电动滑轨和上料台对称安装在承载底座上，所述取料组件处于电动滑轨和上料台之间，所述夹持组件固定安装在电动滑轨上且夹持组件处于承载底座的上方，并且夹持组件的一端靠近取料组件的下方，所述喷淋组件和输送组件分别安装在承载底座上且喷淋组件和输送组件处于取料组件的旁侧，所述输送组件与喷淋组件连接。
[0006]进一步的，所述夹持组件包括承载台、夹持电机、第一齿轮、第二齿轮、夹持齿条、夹块和驱动齿条，所述承载台安装在电动滑轨上，承载台上设有两处滑槽，所述夹持电机安装在承载台的底端且其输出端穿过承载台，所述第一齿轮和第二齿轮依次排列安装在夹持电机的输出端上，且第一齿轮和第二齿轮处于承载台的顶端，所述夹持齿条设有两个，两个夹持齿条呈交错设置在两处滑槽内且每个夹持齿条与滑槽滑动配合，两个夹持齿条其中一个夹持齿条与第一齿轮啮合，而另一个夹持齿条与第二齿轮啮合，所述夹块设有两个，两个夹块分别固定安装在两个夹持齿条的一端上，且每个夹块上设有半圆弧槽口，所述驱动齿条设置在夹块的下方，且驱动齿条的一端固定安装在承载台的底端。
[0007]进一步的，所述喷淋组件包括喷淋支架、转轴、转动板、喷淋齿轮和喷淋头，所述喷淋支架安装在承载底座上，所述转轴安装在喷淋支架上且转轴与输送组件连通，所述转动板呈L形且其一端与转轴连接，并且转动板还与转轴连通，所述喷淋齿轮安装在转轴上且处于转动板的一侧，且喷淋齿轮与驱动齿条对应，所述喷淋头设有若干个，若干个喷淋头依次排列安装在转动板的另一端且与转动板连通。
[0008]进一步的，所述输送组件包括蓄水盒、水泵和排水管，所述蓄水盒安装在承载底座上且处于喷淋支架的旁侧，所述水泵的进水口与蓄水盒连接，所述排水管的一端与水泵的出水口连接，而排水管的另一端穿过喷淋支架与转轴连通，所述限位块设有多个，多个限位
块依次排列安装在排水管上且每个限位块的一端固定在喷淋支架上。
[0009]进一步的，所述取料组件包括取料杆和取料板，所述取料杆处于上料台和承载台之间，取料杆的底部设有取料电机，取料电机处于承载底座的内部，所述取料杆的底端与取料电机的输出端连接，所述取料板安装在取料杆的顶端，并且取料板的左右两端上均设有取料电缸，且每个取料电缸的输出端均穿过取料板，每个取料电缸的输出端上均设有取料吸嘴，两个取料吸嘴其中一个取料吸嘴处于上料台的上方，另一个取料吸嘴处于两个夹块的上方。
[0010]进一步的，所述承载底座上设有收集槽，且收集槽处于转动板的下方。
[0011]本技术实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
[0012]其一，本技术通过夹持组件对晶圆进行夹持，然后通过电动滑轨驱动夹持组件朝喷淋组件的方向移动，当夹持组件经过喷淋组件时，通过夹持组件可驱动喷淋组件，使喷淋组件围绕着夹持组件上的晶圆做圆周运动，并且当喷淋组件运动的同时，由输送组件将喷淋液输送到喷淋组件内，使喷淋组件围绕着晶圆做圆周运动时，将喷淋液均匀地喷洒到晶圆上，从而可更加全面的对晶圆清洗。
[0013]其二，本技术中的承载底座上设有收集槽，其作用在于，通过收集槽使喷淋头在喷洒喷淋液的过程中，可对喷洒出的喷淋液进行收集而便于后续集中对其处理。
附图说明
[0014]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0015]图1为本技术的立体结构示意图；
[0016]图2为本技术中取料组件局部结构示意图；
[0017]图3为本技术中夹持组件部分结构示意图；
[0018]图4为本技术中驱动齿条与喷淋齿轮啮合状态下示意图；
[0019]图5为本技术中喷淋组件和输送组件结构示意图。
[0020]附图标记
[0021]承载底座1、收集槽11、上料台2、电动滑轨3、取料组件4、取料杆41、取料板42、取料电缸43、取料吸嘴44、夹持组件5、承载台51、夹持电机52、第一齿轮53、第二齿轮54、夹持齿条55、夹块56、驱动齿条57、喷淋组件6、喷淋支架61、转轴62、转动板63、喷淋齿轮64、喷淋头65、输送组件7、蓄水盒71、水泵72、排水管73、限位块74。
具体实施方式
[0022]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]以下结合附图，详细说明本技术各实施例提供的技术方案。
[0024]本技术实施例提供一种晶圆清洗设备的喷淋装置，包括承载底座1、上料台2、电动滑轨3、取料组件4、夹持组件5、喷淋组件6和输送组件7，所述电动滑轨3和上料台2对称安装在承载底座1上，所述取料组件4处于电动滑轨3和上料台2之间，所述夹持组件5固定安装在电动滑轨3上且夹持组件5处于承载底座1的上方，并且夹持组件5的一端靠近取料组件4的下方，所述喷淋组件6和输送组件7分别安装在承载底座1上且喷淋组件6和输送组件7处于取料组件4的旁侧，所述输送组件7与喷淋组件6连接，使用时，将晶圆放置在上料台2上，使晶圆处于取料组件4的下方，再接着由取料组件4将晶圆运输到夹持组件5内，通过夹持组件5对晶圆进行夹持，然后通过电动滑轨3驱动夹持组件5朝喷淋组件6的方向移动，当夹持组件5经过喷淋组件6时，通过夹持组件5可驱动喷淋组件6，使喷淋组件6围绕着夹持组件5上的晶圆做圆周运动，并且当喷淋组件6运动的同时，由输送组件7将喷淋液输送到喷淋组件6内，使喷淋组件6围绕着晶圆做圆周运动时，将喷淋液均匀地喷洒到晶圆上，可更加全面的对晶圆清洗。
[0025]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备的喷淋装置，其特征在于，包括承载底座(1)、上料台(2)、电动滑轨(3)、取料组件(4)、夹持组件(5)、喷淋组件(6)和输送组件(7)，所述电动滑轨(3)和上料台(2)对称安装在承载底座(1)上，所述取料组件(4)处于电动滑轨(3)和上料台(2)之间，所述夹持组件(5)固定安装在电动滑轨(3)上且夹持组件(5)处于承载底座(1)的上方，并且夹持组件(5)的一端靠近取料组件(4)的下方，所述喷淋组件(6)和输送组件(7)分别安装在承载底座(1)上且喷淋组件(6)和输送组件(7)处于取料组件(4)的旁侧，所述输送组件(7)与喷淋组件(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的喷淋装置，其特征在于，所述夹持组件(5)包括承载台(51)、夹持电机(52)、第一齿轮(53)、第二齿轮(54)、夹持齿条(55)、夹块(56)和驱动齿条(57)，所述承载台(51)安装在电动滑轨(3)上，承载台(51)上设有两处滑槽，所述夹持电机(52)安装在承载台(51)的底端且其输出端穿过承载台(51)，所述第一齿轮(53)和第二齿轮(54)依次排列安装在夹持电机(52)的输出端上，且第一齿轮(53)和第二齿轮(54)处于承载台(51)的顶端，所述夹持齿条(55)设有两个，两个夹持齿条(55)呈交错设置在两处滑槽内且每个夹持齿条(55)与滑槽滑动配合，两个夹持齿条(55)其中一个夹持齿条(55)与第一齿轮(53)啮合，而另一个夹持齿条(55)与第二齿轮(54)啮合，所述夹块(56)设有两个，两个夹块(56)分别固定安装在两个夹持齿条(55)的一端上，且每个夹块(56)上设有半圆弧槽口，所述驱动齿条(57)设置在夹块(56)的下方，且驱动齿条(57)的一端固定安装在承载台(51)的底端。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋组件(6)包括喷淋支架(61)、转轴(62)、转动板(63)、喷淋齿轮(64)和喷淋头(65)，所述喷淋支架...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆先锋，
申请(专利权)人：无锡颂林达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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