一种晶圆存放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆存放装置，其技术要点是：包括箱体，所述箱体的内壁上设置有多个对称的T型板，所述T型板上插装有支撑板，所述支撑板上固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫上设置有多个存放盒，所述箱体上安装有进出口，所述进出口上安装有除尘罩；所述箱体上方安装有第一安装板，所述第一安装板上安装有第一移动机构，所述第一移动机构上固定安装有第二安装板，所述第二安装板上安装有第二移动机构，通过多个T型板上安装的支撑板，方便多个存放盒进行放置，提高了箱体内部空间的占有率，方便晶圆的分类存放，通过进出口上设置的除尘罩有利于将灰尘进行吸附，减小箱体内部存放的晶圆表面附着灰尘。圆表面附着灰尘。圆表面附着灰尘。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆存放装置


[0001]本技术涉及晶圆存放
，具体为一种晶圆存放装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]现有的晶圆在存放的时候，手动打开存放箱的时候容易使得晶圆表面附着空气中的灰尘，不利于晶圆的加工，智能化较低，不方便进行分类存储。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆存放装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆存放装置，包括箱体，所述箱体的内壁上设置有多个对称的T型板，所述T型板上插装有支撑板，所述支撑板上固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫上设置有多个存放盒，所述箱体上安装有进出口，所述进出口上安装有除尘罩；
[0006]所述箱体上方安装有第一安装板，所述第一安装板上安装有第一移动机构，所述第一移动机构上固定安装有第二安装板，所述第二安装板上安装有第二移动机构，所述第二移动机构上安装有L型板，所述L型板上通过轴承转动安装有转动块，所述转动块上固定安装有电动推杆，所述电动推杆上安装有机械爪，所述L型板上安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴通过联轴器与所述转动块传动连接。
[0007]优选的，所述第一移动机构包括第一丝杆、第一滑块和第二伺服电机，所述第二伺服电机固定安装在所述箱体上，所述第一丝杆的两端均通过轴承转动安装在所述第一安装板上，所述第二伺服电机的输出轴通过联轴器与所述第一丝杆的一端传动连接，所述第一滑块螺纹连接在所述第一丝杆上，且滑动连接在所述第一安装板上，所述第二安装板安装在所述第一滑块上。
[0008]优选的，所述第二移动机构包括第二丝杆、导杆、第三伺服电机和第二滑块，所述第二丝杆的两端均通过轴承转动安装在所述第二安装板上，所述导杆的两端均固定在所述第二安装板上，所述第三伺服电机通过联轴器与所述第二丝杆传动连接，所述第三伺服电机固定安装在所述第二安装板上，所述第二滑块螺纹连接在所述第二丝杆，且滑动安装在所述导杆上，所述L型板固定在所述第二滑块。
[0009]优选的，所述箱体的底面上安装有滑轨，所述第二安装板的底部安装有固定架，所述固定架上安装有滑轮，所述滑轮安装在所述滑轨上。
[0010]优选的，所述箱体上安装有玻璃箱门。
[0011]优选的，所述除尘罩上连接有吸尘管，所述吸尘管的一端连接有负压风泵，所述负
压风泵安装在所述箱体上。
[0012]优选的，所述存放盒内开设有多个等距分布的插槽。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]第一、本晶圆存放装置中，通过多个T型板上安装的支撑板，方便多个存放盒进行放置，提高了箱体内部空间的占有率，方便晶圆的分类存放，通过进出口上设置的除尘罩有利于将灰尘进行吸附，减小箱体内部存放的晶圆表面附着灰尘；
[0015]第二、本晶圆存放装置中，通过机械爪方便对存放晶圆的存放盒进行夹持，通过第一移动机构方便调节电动推杆的水平位置，通过第二移动机构方便调节电动推杆的高度位置，电动推杆有利于调节机械爪的水平伸缩距离，第一伺服电机与转动块之间的配合，方便调节机械爪水平转动角度，提高了存放盒取放的智能程度，以及便捷性。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图之一；
[0017]图2为本技术的结构示意图之二；
[0018]图3为本技术的结构示意图之三；
[0019]图4为图3中A处局部放大图。
[0020]图中：1、箱体；2、T型板；3、支撑板；4、橡胶垫；5、存放盒；6、第一安装板；7、第一移动机构；71、第一丝杆；72、第一滑块；73、第二伺服电机；8、第二安装板；9、第二移动机构；91、第二丝杆；92、导杆；93、第三伺服电机；94、第二滑块；10、L型板；11、转动块；12、电动推杆；13、机械爪；14、第一伺服电机；15、进出口；16、除尘罩；17、滑轨；18、固定架；19、滑轮；20、玻璃箱门；21、吸尘管；22、负压风泵；23、插槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆存放装置，包括箱体1，箱体1的内壁上设置有多个对称的T型板2，T型板2上插装有支撑板3，支撑板3上固定安装有橡胶垫4，橡胶垫4上设置有多个存放盒5，箱体1上安装有进出口15，进出口15上安装有除尘罩16，通过多个T型板2上安装的支撑板3，方便多个存放盒5进行放置，提高了箱体1内部空间的占有率，方便晶圆的分类存放，通过进出口15上设置的除尘罩16有利于将灰尘进行吸附，减小箱体1内部存放的晶圆表面附着灰尘，通过机械爪13方便对存放晶圆的存放盒5进行夹持，通过第一移动机构7方便调节电动推杆12的水平位置，通过第二移动机构9方便调节电动推杆12的高度位置，电动推杆12有利于调节机械爪13的水平伸缩距离，第一伺服电机14与转动块11之间的配合，方便调节机械爪13水平转动角度，提高了存放盒5取放的智能程度，以及便捷性。
[0023]箱体1上方安装有第一安装板6，第一安装板6上安装有第一移动机构7，第一移动机构7上固定安装有第二安装板8，第二安装板8上安装有第二移动机构9，第二移动机构9上
安装有L型板10，L型板10上通过轴承转动安装有转动块11，转动块11上固定安装有电动推杆12，电动推杆12上安装有机械爪13，L型板10上安装有第一伺服电机14，第一伺服电机14的输出轴通过联轴器与转动块11传动连接，机械爪13为现有技术，采用型号为AG
‑
145机械爪。
[0024]本实施例中，优选的，第一移动机构7包括第一丝杆71、第一滑块72和第二伺服电机73，第二伺服电机73固定安装在箱体1上，第一丝杆71的两端均通过轴承转动安装在第一安装板6上，第二伺服电机73的输出轴通过联轴器与第一丝杆71的一端传动连接，第一滑块72螺纹连接在第一丝杆71上，且滑动连接在第一安装板6上，第二安装板8安装在第一滑块72上，第二伺服电机73的输出轴通过联轴器带动第一丝杆71转动，带动第一滑块72在第一安装板6上移动，方便调节第二安装板8的位置。
[0025]本实施例中，优选的，第二移动机构9包括第二丝杆91、导杆92、第三伺服电机93和第二滑块94，第二丝杆91的两端均通过轴承转动安装在第二安装板8上，导杆92的两端均固定在第二安装板8上，第三伺服电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆存放装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内壁上设置有多个对称的T型板(2)，所述T型板(2)上插装有支撑板(3)，所述支撑板(3)上固定安装有橡胶垫(4)，所述橡胶垫(4)上设置有多个存放盒(5)，所述箱体(1)上安装有进出口(15)，所述进出口(15)上安装有除尘罩(16)；所述箱体(1)上方安装有第一安装板(6)，所述第一安装板(6)上安装有第一移动机构(7)，所述第一移动机构(7)上固定安装有第二安装板(8)，所述第二安装板(8)上安装有第二移动机构(9)，所述第二移动机构(9)上安装有L型板(10)，所述L型板(10)上通过轴承转动安装有转动块(11)，所述转动块(11)上固定安装有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)上安装有机械爪(13)，所述L型板(10)上安装有第一伺服电机(14)，所述第一伺服电机(14)的输出轴通过联轴器与所述转动块(11)传动连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于：所述第一移动机构(7)包括第一丝杆(71)、第一滑块(72)和第二伺服电机(73)，所述第二伺服电机(73)固定安装在所述箱体(1)上，所述第一丝杆(71)的两端均通过轴承转动安装在所述第一安装板(6)上，所述第二伺服电机(73)的输出轴通过联轴器与所述第一丝杆(71)的一端传动连接，所述第一滑块(72)螺纹连接在所述第一丝杆(71)上，且滑动连接在所述第一安...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴继勇，
申请(专利权)人：江苏宿芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：