晶圆自动搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆自动搬运装置，包括用于将物料抓取至固定机构的抓取机构，所述物料包括盖板、圈架和晶圆，所述固定机构用于定位圈架和晶圆；所述固定机构包括底座和升降台；所述底座上设有能够将圈架固定的抓手；所述升降台连接于所述底座，且所述升降台能够沿所述圈架的轴向上升或下降，以将位于升降台上的晶圆放置在所述圈架内。本实用新型专利技术通过将圈架、晶圆和盖板统一放置在固定组件内安装，避免了晶圆搬运过程中损坏。避免了晶圆搬运过程中损坏。避免了晶圆搬运过程中损坏。

【技术实现步骤摘要】
晶圆自动搬运装置


[0001]本技术涉及晶圆上片
，具体涉及一种晶圆自动搬运装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺需求，需要进行晶圆的ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺前，通常需要将晶圆排列放置到料盘内，此过程称为晶圆的上片，以便于在刻蚀加工时，将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行刻蚀加工。
[0003]生产后的晶圆，具有正面跟背面之分，在晶圆加工过程中，应避免触碰晶圆正面，触碰晶面正面会造成晶圆污染或划伤，直接影响晶圆质量。
[0004]目前市面上还没有用于晶圆搬运的设备，通常是由人工完成的，但是人工在操作的过程中由于操作不细心等各种主管原因，会导致晶圆表面的划伤或者直接损坏，大大增加了公司的成本，同时降低了生产的效率。同时，晶圆在放置的过程中有角度的需求，人员操作过程中劳动强度过大，无法精确的将晶圆放置在放置槽内。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆自动搬运装置，采用该装置降低了晶圆在运输过程中损坏的风险，同时节省了进入下一个工序的时间，提高了工作效率。
[0006]本技术的技术方案是：一种晶圆自动搬运装置，包括用于将物料抓取至固定机构的抓取机构，所述物料包括圈架、盖板和晶圆，所述固定机构用于定位圈架和晶圆；
[0007]所述固定机构包括底座和升降台；所述底座上设有能够将圈架固定的抓手；所述升降台连接于所述底座，且所述升降台能够沿所述圈架的轴向上升或下降，以将位于升降台上的晶圆放置在所述圈架内。
[0008]进一步的，所述抓取机构包括第一抓取组件和第二抓取组件，所述第一抓取组件和第二抓取组件依次将物料抓取至所述固定机构。
[0009]进一步的，所述第一抓取组件包括机械手臂和活动连接于所述机械手臂执行端的取放模块，所述机械手臂驱动所述取放模块移动，以对所述圈架和盖板进行搬运。
[0010]进一步的，所述取放模块包括支撑件与固定连接于所述支撑件内的夹持模组和吸嘴，所述夹持模组和吸嘴分别沿着所述支撑件的轴向的周向均匀分布。
[0011]进一步的，所述夹持模组和吸嘴交错设置。
[0012]进一步的，所述第二抓取组件包括机械臂和活动连接于所述机械臂执行端的取片板。
[0013]进一步的，所述升降台上固定有弧形支撑垫，且所述弧形支撑垫的一侧设有一开口，所述开口能够供所述第二抓取组件将所述晶圆搬运至升降台上。
[0014]进一步的，所述抓手包括直线模块，所述直线模块的底部连接于所述底座，且所述直线模块的顶部固定有能够将所述圈架固定的挡块。
[0015]进一步的，所述盖板的顶部设有一夹套，所述夹套内弹性连接有夹板，所述盖板盖合在所述圈架上，所述夹板将所述圈架夹持固定。
[0016]本技术的有益技术效果是：
[0017]1、通过第一抓取组件和第二抓取组件按一定顺序将晶圆放置在圈架内，并通过盖板将圈架进行盖好，避免了晶圆在单独运输过程中出现损坏。
[0018]2、盖板的顶部弹性设置有夹板，吸嘴将盖板吸取，并通过夹持模组驱动夹板对圈架进行夹持，从而实现了将圈架内的晶圆进行搬运，降低了搬运过程中的风险，达到自动化作业的目的。
[0019]3、第二抓取组件包括机械臂，机械臂的执行端部设有取片板，取片板的顶部设有吸片槽，通过真空吸附将晶圆进行拿取，避免了晶圆在拿取过程中脱落，提高了安全性。
[0020]4、底座上的抓手将圈架进行固定，升降台升起并将晶圆放置在升降台上，此时晶圆与圈架处于分离状态，升降台降落并将晶圆落入圈架内，以完成安装，操作工程完全自动化处理，降低了人工处理的风险。
附图说明
[0021]图1为本技术的整体结构示意图；
[0022]图2为本技术的第一暂存台的结构示意图；
[0023]图3为本技术的第一暂存台内部的结构示意图；
[0024]图4为本技术的第二驱动件与平台连接的结构示意图；
[0025]图5为本技术的第二暂存台的结构示意图；
[0026]图6为本技术的盖板的结构示意图；
[0027]图7为本技术的取放模块的结构示意图；
[0028]图8为本技术的取片板的结构示意图；
[0029]图9为本技术的固定机构的结构示意图；
[0030]图10为本技术的固定机构内部的结构示意图；
[0031]图11为本技术的升降台的结构示意图。
[0032]附图标记为：
[0033]1、工作台；2、第一抓取组件；3、第一暂存台；4、固定机构；5、第二抓取组件；6、第二暂存台；7、第一暂存框；8、第二暂存框；9、盖板；10、圈架；11、限位杆；12、平台；13、第二驱动件；14、固定块；15、框架；16、晶圆；17、夹套；18、夹板；19、支架；20、第一法兰板；21、第二法兰板；22、夹持模组；23、吸嘴；24、连杆；25、摄像组件；26、取片板；27、底座；28、抓手；281、直线模块；282、挡块；283、弧形槽；29、升降台；30、垫块；31、第一驱动件；32、弧形支撑垫；33、传感器。
具体实施方式
[0034]为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述，以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0035]如图1所示，本技术具体涉及一种晶圆16自动搬运装置，包括用于将物料抓取
至固定机构4的抓取机构，所述物料包括圈架(10)、盖板(9)和晶圆(16)，所述固定机构4用于定位圈架10和晶圆16；抓取机构和固定机构4均位于工作台1上；
[0036]其中，晶圆16存放在第二暂存台6，圈架10和盖板9存放在第一暂存台3，抓取机构按照相应的顺序分别将存放在第一暂存台3的圈架10和盖板9以及存放在第二暂存台6的晶圆16分别抓取至固定机构4，并进行安装。
[0037]抓取机构包括第一抓取组件2和第二抓取组件5，第一抓取组件2和第二抓取组件5依次将上述物料抓取至固定机构4上进行安装。
[0038]进一步的，所述第一抓取组件2抓取所述圈架10放置在所述固定机构4上，所述第二抓取组件5抓取所述晶圆16放置在所述固定机构4上，且位于所述圈架10的上方；所述第一抓取组件2抓取所述盖板9放置在所述固定机构4上，且位于所述晶圆16的上方，所述盖板9能够将所述圈架10盖合，以对圈架10内的晶圆16进行固定；
[0039]需要说明的是，通过第一抓取组件2和第二抓取组件5按照一定的顺序分别将圈架10、晶圆16和盖板9放置在固定机构4上，通过固定机构4将晶圆16放置在圈架10内，盖板9将圈架10进行盖合，以完成对晶圆16的搬运。通过圈架10和盖板9的双重保护，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动搬运装置，包括用于将物料抓取至固定机构(4)的抓取机构，所述物料包括圈架(10)、盖板(9)和晶圆(16)，其特征在于，所述固定机构(4)用于定位所述圈架和晶圆；所述固定机构(4)包括底座(27)和升降台(29)；所述底座(27)上设有能够将圈架固定的抓手(28)；所述升降台(29)连接于所述底座(27)，且所述升降台能够沿所述圈架的轴向上升或下降，以将位于升降台上的晶圆搬运至所述圈架内。2.根据权利要求1所述的晶圆自动搬运装置，其特征在于，所述抓取机构包括第一抓取组件(2)和第二抓取组件(5)，所述第一抓取组件和第二抓取组件依次将物料抓取至所述固定机构(4)。3.根据权利要求2所述的晶圆自动搬运装置，其特征在于，所述第一抓取组件(2)包括机械手臂和活动连接于所述机械手臂执行端的取放模块，所述机械手臂驱动所述取放模块移动，以对所述圈架和盖板进行搬运。4.根据权利要求3所述的晶圆自动搬运装置，其特征在于，所述取放模块包括支撑件与固定连接于所述支撑件内的夹持模组...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琪，赵洪建，郑旭海，
申请(专利权)人：昆山铭驰自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：