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本实用新型公开了一种晶圆自动搬运装置，包括用于将物料抓取至固定机构的抓取机构，所述物料包括盖板、圈架和晶圆，所述固定机构用于定位圈架和晶圆；所述固定机构包括底座和升降台；所述底座上设有能够将圈架固定的抓手；所述升降台连接于所述底座，且所述升...
该专利属于昆山铭驰自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山铭驰自动化科技有限公司授权不得商用。

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