一种晶圆传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆传输装置，包括运输板，所述运输板两端固定设有安装板，一个所述安装板一侧安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆安装在两组安装板之间，所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹块，所述第一连接板下端固定安装有第一伺服电缸，所述第一伺服电缸输出端连接有固定块，所述固定块一侧设有第二伺服电机，所述第二伺服电机输出端通过联轴器连接有转杆，所述转杆另一端连接有第二连接板，所述第二连接板一侧固定安装有第二伺服电缸，所述第二伺服电缸输出端连接有第一夹具，所述第二连接板一端固定安装有第二夹具，本实用新型专利技术可以进行角度调节夹持运输，且夹持便利。且夹持便利。且夹持便利。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传输装置


[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种晶圆传输装置。

技术介绍

[0002]在晶圆生产制造过程中，采用机械手在各个后清洗单元的工艺腔室之间进行传输。机械手可以为关节机械手或直角坐标机械手，关节机械手或直角坐标机械手可以从腔室侧面传输晶圆，晶圆从侧面进出腔室。其中，关节机械手具有滑轨、本体、手臂、手爪等几部分。
[0003]但是，上述两种机械手在传输晶圆过程中，存在以下问题：(1)关节机械手或直角坐标机械手从工艺腔室侧面传输晶圆，需要工艺腔室在侧面设置晶圆进出的窗口，容易出现泄漏或液体溅出，这样对腔室密封具有很高的要求。(2)关节机械手或直角坐标机械手从腔室侧面传输晶圆，大大增加设备的占地面积，增大了生产成本。
[0004]参照现有公开号为CN106449510B的中国专利公开了一种晶圆传输装置，晶圆传输装置包括：晶圆夹持组件；竖直移动组件，所述竖直移动组件设置成驱动所述晶圆夹持组件竖直移动；水平移动组件，所述水平移动组件设置成驱动所述竖直移动组件水平移动。
[0005]上述的这种晶圆传输装置，通过设置竖直移动组件和水平移动组件，可以在上下方向上输送和输出晶圆，可以避免在工艺腔室的侧面开设窗口，从而一方面可以避免泄露以及液体溅射，可以降低工艺腔室的密封要求，另一方面可以减小晶圆传输装置的占地面积，降低晶圆传输装置的生产成本。但是上述的这种晶圆传输装置依旧存在着一些缺点，如：不能进行角度调节运输，且夹持不够便利。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种晶圆传输装置，可以进行角度调节夹持运输，且夹持便利，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0008]一种晶圆传输装置，包括运输板，所述运输板两端固定设有安装板，一个所述安装板一侧安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆安装在两组安装板之间，所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块下端固定安装有第一连接板，所述第一连接板下端固定安装有第一伺服电缸，所述第一伺服电缸输出端连接有固定块，所述固定块一侧设有第二伺服电机，所述第二伺服电机输出端通过联轴器连接有转杆，所述转杆另一端连接有第二连接板，所述第二连接板一侧固定安装有第二伺服电缸，所述第二伺服电缸输出端连接有第一夹具，所述第二连接板一端固定安装有第二夹具。
[0009]优选的，所述运输板内开设有第一滑槽，所述螺纹块上端固定安装有限位块，所述限位块上端安装有滑轮，所述滑轮滑动连接在所述第一滑槽内。
[0010]优选的，所述第二连接板上开设有第二滑槽，所述第一夹具一侧固定安装有滑块，
所述滑块滑动连接在所述第二滑槽内。
[0011]优选的，所述第一夹具与所述第二夹具下端为弧形，所述第一夹具与所述第二夹具一侧均设有弧形夹板，所述弧形夹板与所述第一夹具和所述第二夹具之间设有若干弹簧。
[0012]优选的，两个所述弧形夹板一侧均固定设有橡胶层。
[0013]优选的，所述运输板一侧固定安装有第一固定板，所述第一伺服电机固定安装在所述第一固定板上。
[0014]优选的，所述第二连接板一侧固定安装有第二固定板，所述第二伺服电缸固定安装在所述第二固定板上。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]1、本技术安装板一侧安装有第一伺服电机，使用时，第一伺服电机通过螺纹杆带动螺纹块进行移动，螺纹块带动第一夹具与第二夹具进行水平移动，第一伺服电缸带动第一夹具与第二夹具进行竖直移动，第二伺服电机可通过转杆带动第二连接板进行旋转，可调节角度后进行夹持；
[0017]2、本技术通过第一夹具与第二夹具进行夹持，启动第二伺服电缸，可带动第一夹具进行移动，对晶圆进行夹持，可对不同直径的晶圆进行夹持，弧形夹板与第一夹具和第二夹具之间设有若干弹簧，可使第一夹具与第二夹具在夹持时具有缓冲作用。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为本技术的夹具结构示意图；
[0020]图3为本技术的图2中A中放大图；
[0021]图4为本技术的夹具俯视剖视结构示意图。
[0022]图中：1、运输板；2、安装板；3、第一伺服电机；4、螺纹杆；5、螺纹块；6、第一连接板；7、第一伺服电缸；8、固定块；9、第二伺服电机；10、转杆；11、第二连接板；12、第一夹具；13、第二夹具；14、第一滑槽；15、限位块；16、滑轮；17、第二滑槽；18、滑块；19、弧形夹板；20、弹簧；21、橡胶层；22、第一固定板；23、第二固定板；24、第二伺服电缸。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0025]一种晶圆传输装置，包括运输板1，运输板1两端固定设有安装板2，一个安装板2一侧安装有第一伺服电机3，第一伺服电机3输出端通过联轴器连接有螺纹杆4，螺纹杆4安装在两组安装板2之间，螺纹杆4上螺纹连接有螺纹块5，螺纹块5下端固定安装有第一连接板6，第一连接板6下端固定安装有第一伺服电缸7，第一伺服电缸7输出端连接有固定块8，固定块8一侧设有第二伺服电机9，第二伺服电机9输出端通过联轴器连接有转杆10，转杆10另
一端连接有第二连接板11，第二连接板11一侧固定安装有第二伺服电缸24，第二伺服电缸24输出端连接有第一夹具12，第二连接板11一端固定安装有第二夹具13。
[0026]参考图1，由于运输板1内开设有第一滑槽14，螺纹块5上端固定安装有限位块15，限位块15上端安装有滑轮16，滑轮16滑动连接在第一滑槽14内，故限位块15可将螺纹块5进行限位移动，滑轮16便于限位块15在第一滑槽14内移动。
[0027]参考图4，由于第二连接板11上开设有第二滑槽17，第一夹具12一侧固定安装有滑块18，滑块18滑动连接在第二滑槽17内，故可将第一夹具12进行限位移动。
[0028]参考图3，由于第一夹具12与第二夹具13下端为弧形，第一夹具12与第二夹具13一侧均设有弧形夹板19，弧形夹板19与第一夹具12和第二夹具13之间设有若干弹簧20，故弹簧20可在夹持过程中起到缓冲作用。
[0029]参考图3，由于两个弧形夹板19一侧均固定设有橡胶层21，故橡胶层21可在夹持过程中减少对晶圆的损坏。
[0030]参考图1，由于运输板1一侧固定安装有第一固定板22，第二伺服电缸24固定安装在第一固定板22上，故便于将第二伺服电缸24本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输装置，包括运输板(1)，其特征在于：所述运输板(1)两端固定设有安装板(2)，一个所述安装板(2)一侧安装有第一伺服电机(3)，所述第一伺服电机(3)输出端通过联轴器连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)安装在两组安装板(2)之间，所述螺纹杆(4)上螺纹连接有螺纹块(5)，所述螺纹块(5)下端固定安装有第一连接板(6)，所述第一连接板(6)下端固定安装有第一伺服电缸(7)，所述第一伺服电缸(7)输出端连接有固定块(8)，所述固定块(8)一侧设有第二伺服电机(9)，所述第二伺服电机(9)输出端通过联轴器连接有转杆(10)，所述转杆(10)另一端连接有第二连接板(11)，所述第二连接板(11)一侧固定安装有第二伺服电缸(24)，所述第二伺服电缸(24)输出端连接有第一夹具(12)，所述第二连接板(11)一端固定安装有第二夹具(13)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆传输装置，其特征在于：所述运输板(1)内开设有第一滑槽(14)，所述螺纹块(5)上端固定安装有限位块(15)，所述限位块(15)上端安装有滑轮(16)，所述滑轮(16)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴继勇，
申请(专利权)人：江苏宿芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：