一种气体切换用集控模块制造技术

本发明专利技术提供了一种气体切换用集控模块，包括输入端模组和输出端模组；输入端模组上设置有第一五通气动阀、第一膜片、出气端口、两个输入三通阀和三个外接端口；输出端模组上设置有第二五通气动阀、第二膜片、进气端口、输出端口和两个输出三通阀；三个外接端口通过第一五通气动阀、第一膜片与出气端口连通；两个输入三通阀用于控制第一五通气动阀；进气端口的一端与出气端口连通；进气端口的另一端通过第二五通气动阀、第二膜片与输出端口连通；两个输出三通阀用于控制第二五通气动阀。本发明专利技术的气体切换用集控模块，将控制阀元件及膜片均集成于一个整体，大幅压缩了设备的尺寸，另外，避免气流经过电磁阀进行切换，防止了气流被污染。防止了气流被污染。防止了气流被污染。

【技术实现步骤摘要】
一种气体切换用集控模块


[0001]本专利技术涉及气流切换控制
，具体而言，涉及一种气体切换用集控模块。

技术介绍

[0002]现有技术为了实现真空气体、环境气体(常压气体，一般默认为大气)、压缩空气三种气体的切换，一般采用的方法是将两个两位三通电磁阀串联起来配合动作，具体方法为第一电磁阀的输入端同时通入大气和压缩空气(或真空气体)，该电磁阀的线圈是否通电，决定着第一电磁阀的输出端是压缩空气(或真空气体)或环境气体。第二电磁阀的一个输入端与第一电磁阀的输出端连通，第二电磁阀的另一个输入为真空气体(或压缩空气)，第二电磁阀的线圈是否通电，决定着其输出气体为真空气体(或压缩空气)或第一电磁阀输出端的气体。此种方法一般在输入、输出通道上并联压力传感器来检测输入、输出气体压力的大小。
[0003]然而，现有的气体切换装置和方法由于组件配合连接集成度低，存在占用空间大的缺点，另外，要求输出压缩气体时，压缩空气从输入端到输出端都至少经过了一个电磁阀，而电磁阀难以避免磨损，故压缩气体清洁度较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种气体切换用集控模块，有助于解决上述技术问题。
[0005]本专利技术是这样实现的：
[0006]一种气体切换用集控模块，包括输入端模组和输出端模组；所述输入端模组上设置有第一五通气动阀、第一膜片、出气端口、两个输入三通阀和三个外接端口；所述输出端模组上设置有第二五通气动阀、第二膜片、进气端口、输出端口和两个输出三通阀；三个所述外接端口分别用于接通外界的压缩气体、常压气体和真空气体；三个所述外接端口通过所述第一五通气动阀、所述第一膜片与所述出气端口连通；两个所述输入三通阀用于控制所述第一五通气动阀；所述进气端口的一端与所述出气端口连通；所述进气端口的另一端通过所述第二五通气动阀、所述第二膜片与所述输出端口连通；两个所述输出三通阀用于控制所述第二五通气动阀。
[0007]上述气体切换用集控模块在使用时，将用于控制切换不同气体的多个五通气动阀、三通阀以及两个膜片进行了集成设计和组装，大幅减小了整体集控模块的轮廓尺寸；另外，由于利用第一膜片阀和第二膜片阀进行气流的通断控制，避免使用三通电磁阀进行气流切换，避免了电磁阀长时间使用出现磨损而带来的固体颗粒污染。其中，常压气体通常为环境气体。
[0008]进一步地，所述输入端模组从下往上依次包括底部阀板、中部阀板、上部阀板和板卡组件；三个所述外接端口设置在所述底部阀板的底面；所述第一五通气动阀设置在板卡组件上，两个所述输入三通阀设置在所述第一五通气动阀的两侧。所述第一膜片包括设置在所述底部阀板和所述中部阀板之间的左膜和右膜；所述左膜、所述右膜均与所述第一五
通气动阀连接，所述常压气体、所述压缩气体分别通过所述左膜和所述右膜与所述出气端口连通。其技术效果在于：三个阀板不仅集成了多个组件并且利于进行密封设计，而板卡组件便于安装第一五通气动阀和输入三通阀。同时还利于设置压力传感器。
[0009]进一步地，所述输出端模组从下往上依次包括底部阀板、中部阀板、上部阀板和板卡组件；所述输出端口设置在所述底部阀板的底面，所述第二膜片设置在所述底部阀板和所述中部阀板之间；所述第二五通气动阀设置在板卡组件上，两个所述输出三通阀设置在所述第二五通气动阀的两侧。其技术效果在于：同样地，三个阀板不仅集成了多个组件并且利于进行密封设计，而板卡组件便于安装第二五通气动阀和输出三通阀。同时还利于设置压力传感器。
[0010]进一步地，所述底部阀板和所述中部阀板之间设置密封组件，和/或所述中部阀板和所述上部阀板之间设置密封组件。其技术效果在于：由于各个阀板之间需要设置不同的中间元件比如膜片和阀门，需在连接件之间设置密封元件防止发生气体泄露。
[0011]进一步地，所述底部阀板、所述中部阀板、所述上部阀板通过长螺钉实现固定安装。其技术效果在于：长螺钉不仅实现了多个部件的集成化组装，还提高了气流管路的气密性。
[0012]进一步地，还包括两个压力传感器，两个所述压力传感器分别设置在所述输入端模组和所述输出端模组中；一个所述压力传感器用于测量所述输入端模块中的真空气体的压力值，另一个所述压力传感器用于测量所述输出端口的气体压力。其技术效果在于：压力传感器测量获得气体的压力数据供后台数据平台进行实时控制，另外还能够监测设备的运行稳定性和可靠性。
[0013]进一步地，所述进气端口与所述出气端口之间设置密封组件。其技术效果在于：同样地，由于输入端模组和输出端模组分别独立设置，其气流接口处密封效果较差，需设置密封元件保证其气密性。
[0014]进一步地，所述输入端模组和所述输出端模组之间通过长螺栓安装固定。其技术效果在于：长螺栓不仅提高了设备的集成化组装且增强了气路的密封性。
[0015]进一步地，还包括排气模组；所述排气模组设置在所述输出端模组背离所述输入端模组的一侧；所述排气模组上设置有排气通道，所述排气通道与所述输入三通阀和/或所述输出三通阀连通。其技术效果在于：排气模组用于将三通阀中的先导气排除到气路之外。
[0016]本专利技术的有益效果是：
[0017]本专利技术的气体切换用集控模块，将控制阀元件及膜片均集成于一个整体，大幅压缩了设备的尺寸，另外，避免气流经过电磁阀进行切换，防止了气流被污染。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本专利技术提供的气体切换用集控模块的整体结构示意图；
[0020]图2为本专利技术提供的气体切换用集控模块分解后的仰视图；
[0021]图3为本专利技术提供的气体切换用集控模块的第一种工况的工作流程图；
[0022]图4为本专利技术提供的气体切换用集控模块的第二种工况的工作流程图；
[0023]图5为本专利技术提供的气体切换用集控模块的第三种工况的工作流程图。
[0024]图标：100
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输入端模组；110
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第一五通气动阀；121
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左膜；122
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右膜；130
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出气端口；140
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输入三通阀；150
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外接端口；200
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输出端模组；210
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第二五通气动阀；220
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第二膜片；230
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进气端口；240
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输出端口；250
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输出三通阀；300
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压力传感器；400
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排气模组；1
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底部阀板；2
‑
中部阀板；3
‑
上部阀板；4
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体切换用集控模块，其特征在于，包括输入端模组(100)和输出端模组(200)；所述输入端模组(100)上设置有第一五通气动阀(110)、第一膜片、出气端口(130)、两个输入三通阀(140)和三个外接端口(150)；所述输出端模组(200)上设置有第二五通气动阀(210)、第二膜片(220)、进气端口(230)、输出端口(240)和两个输出三通阀(250)；三个所述外接端口(150)分别用于接通外界的压缩气体、常压气体和真空气体；三个所述外接端口(150)通过所述第一五通气动阀(110)、所述第一膜片与所述出气端口(130)连通；两个所述输入三通阀(140)用于控制所述第一五通气动阀(110)；所述进气端口(230)的一端与所述出气端口(130)连通；所述进气端口(230)的另一端通过所述第二五通气动阀(210)、所述第二膜片(220)与所述输出端口(240)连通；两个所述输出三通阀(250)用于控制所述第二五通气动阀(210)。2.根据权利要求1所述的气体切换用集控模块，其特征在于，所述输入端模组(100)从下往上依次包括底部阀板(1)、中部阀板(2)、上部阀板(3)和板卡组件(4)；三个所述外接端口(150)设置在所述底部阀板(1)的底面；所述第一五通气动阀(110)设置在板卡组件(4)上，两个所述输入三通阀(140)设置在所述第一五通气动阀(110)的两侧；所述第一膜片包括设置在所述底部阀板(1)和所述中部阀板(2)之间的左膜(121)和右膜(122)；所述左膜(121)、所述右膜(122)均与所述第一五通气动阀(110)连接，所述常压气体、所述压缩气体分别通过所述左膜(121)和所述右膜(122)与所述出气端口(130)连通。3.根据权利要求1所述的气体切换用集控模块，其特征在于，所述输出端模组(...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔晓兵，田世伟，李志龙，宋婉贞，时连辉，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：