一种气体切换用集控模块制造技术

本发明专利技术提供了一种气体切换用集控模块，包括输入端模组和输出端模组；输入端模组上设置有第一五通气动阀、第一膜片、出气端口、两个输入三通阀和三个外接端口；输出端模组上设置有第二五通气动阀、第二膜片、进气端口、输出端口和两个输出三通阀；三个外接端口通过第一五通气动阀、第一膜片与出气端口连通；两个输入三通阀用于控制第一五通气动阀；进气端口的一端与出气端口连通；进气端口的另一端通过第二五通气动阀、第二膜片与输出端口连通；两个输出三通阀用于控制第二五通气动阀。本发明专利技术的气体切换用集控模块，将控制阀元件及膜片均集成于一个整体，大幅压缩了设备的尺寸，另外，避免气流经过电磁阀进行切换，防止了气流被污染。防止了气流被污染。防止了气流被污染。

【技术实现步骤摘要】
一种气体切换用集控模块


[0001]本专利技术涉及气流切换控制
，具体而言，涉及一种气体切换用集控模块。

技术介绍

[0002]现有技术为了实现真空气体、环境气体(常压气体，一般默认为大气)、压缩空气三种气体的切换，一般采用的方法是将两个两位三通电磁阀串联起来配合动作，具体方法为第一电磁阀的输入端同时通入大气和压缩空气(或真空气体)，该电磁阀的线圈是否通电，决定着第一电磁阀的输出端是压缩空气(或真空气体)或环境气体。第二电磁阀的一个输入端与第一电磁阀的输出端连通，第二电磁阀的另一个输入为真空气体(或压缩空气)，第二电磁阀的线圈是否通电，决定着其输出气体为真空气体(或压缩空气)或第一电磁阀输出端的气体。此种方法一般在输入、输出通道上并联压力传感器来检测输入、输出气体压力的大小。
[0003]然而，现有的气体切换装置和方法由于组件配合连接集成度低，存在占用空间大的缺点，另外，要求输出压缩气体时，压缩空气从输入端到输出端都至少经过了一个电磁阀，而电磁阀难以避免磨损，故压缩气体清洁度较低。

技术实现思路

>[0004]本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体切换用集控模块，其特征在于，包括输入端模组(100)和输出端模组(200)；所述输入端模组(100)上设置有第一五通气动阀(110)、第一膜片、出气端口(130)、两个输入三通阀(140)和三个外接端口(150)；所述输出端模组(200)上设置有第二五通气动阀(210)、第二膜片(220)、进气端口(230)、输出端口(240)和两个输出三通阀(250)；三个所述外接端口(150)分别用于接通外界的压缩气体、常压气体和真空气体；三个所述外接端口(150)通过所述第一五通气动阀(110)、所述第一膜片与所述出气端口(130)连通；两个所述输入三通阀(140)用于控制所述第一五通气动阀(110)；所述进气端口(230)的一端与所述出气端口(130)连通；所述进气端口(230)的另一端通过所述第二五通气动阀(210)、所述第二膜片(220)与所述输出端口(240)连通；两个所述输出三通阀(250)用于控制所述第二五通气动阀(210)。2.根据权利要求1所述的气体切换用集控模块，其特征在于，所述输入端模组(100)从下往上依次包括底部阀板(1)、中部阀板(2)、上部阀板(3)和板卡组件(4)；三个所述外接端口(150)设置在所述底部阀板(1)的底面；所述第一五通气动阀(110)设置在板卡组件(4)上，两个所述输入三通阀(140)设置在所述第一五通气动阀(110)的两侧；所述第一膜片包括设置在所述底部阀板(1)和所述中部阀板(2)之间的左膜(121)和右膜(122)；所述左膜(121)、所述右膜(122)均与所述第一五通气动阀(110)连接，所述常压气体、所述压缩气体分别通过所述左膜(121)和所述右膜(122)与所述出气端口(130)连通。3.根据权利要求1所述的气体切换用集控模块，其特征在于，所述输出端模组(...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔晓兵，田世伟，李志龙，宋婉贞，时连辉，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：