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本发明提供了一种气体切换用集控模块，包括输入端模组和输出端模组；输入端模组上设置有第一五通气动阀、第一膜片、出气端口、两个输入三通阀和三个外接端口；输出端模组上设置有第二五通气动阀、第二膜片、进气端口、输出端口和两个输出三通阀；三个外接端口...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。