一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于蚀刻装置领域，尤其是一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置，针对现有的蚀刻装置在使用时，液体没有进行完全的收集容易造成污染，也不便于对需要蚀刻的二极管进行注液，会造成液体的浪费问题，现提出如下方案，其包括框体，所述框体上转动连接有盖板，所述框体的内壁上固定安装有过滤网，所述盖板的底部滑动连接有对称设置的滑动架，所述滑动架的数量为两个，两个滑动架相互靠近的一侧固定安装有对称设置的轨道杆，本发明专利技术通过在盖板上调节喷枪的位置，就可方便喷头喷射液体对过滤网上的二极管进行蚀刻，调整好外壳的位置后还可自动的对外壳的位置进行定位，大大增加了喷枪在使用时的稳定性。加了喷枪在使用时的稳定性。加了喷枪在使用时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置


[0001]本专利技术涉及蚀刻装置
，尤其涉及一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置。

技术介绍

[0002]蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。
[0003]现有技术中的蚀刻装置在使用时，液体没有进行完全的收集容易造成污染，也不便于对需要蚀刻的二极管进行注液，会造成液体的浪费，因此，我们提出一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置。

技术实现思路

[0004]基于
技术介绍
存在蚀刻装置在使用时，液体没有进行完全的收集容易造成污染，也不便于对需要蚀刻的二极管进行注液，会造成液体的浪费技术问题，本专利技术提出了一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置。
[0005]本专利技术提出的一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置，包括框体，所述框体上转动连接有盖板，所述框体的内壁上固定安装有过滤网，所述盖板的底部滑动连接有对称设置的滑动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置，包括框体(1)，其特征在于，所述框体(1)上转动连接有盖板(2)，所述框体(1)的内壁上固定安装有过滤网(9)，所述盖板(2)的底部滑动连接有对称设置的滑动架(6)，所述滑动架(6)的数量为两个，两个滑动架(6)相互靠近的一侧固定安装有对称设置的轨道杆(7)，两个轨道杆(7)上滑动连接有同一个外壳(3)，所述外壳(3)的底部固定安装有喷枪，所述喷枪上固定安装有导管(5)(4)，所述导管(5)(4)贯穿盖板(2)，所述外壳(3)内分别设有控制机构和连接机构。2.根据权利要求1所述的一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置，其特征在于，所述控制机构包括推动杆(20)、矩形块(21)、对接杆(22)、套管(23)、转盘(24)、摇把(25)、对接套(26)、滑动杆(27)、拉动杆(28)和配合架(31)，所述推动杆(20)滑动连接在外壳(3)上，所述套管(23)与外壳(3)相配合，所述转盘(24)与套管(23)固定连接，所述摇把(25)与转盘(24)固定连接，所述对接杆(22)的外侧与套管(23)的内壁滑动连接，所述对接杆(22)与对接套(26)固定连接，所述配合架(31)的内侧与摇把(25)的外侧滑动连接，所述对接杆(22)与滑动杆(27)滑动连接，所述滑动杆(27)与拉动杆(28)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置，其特征在于，所述连接机构包括传动杆(8)、定位块(11)、带动齿轮(12)、带动齿条(13)、连接齿轮(14)、传动齿轮(15)、两个定位齿条(16)、连接杆(17)、辅助杆(19)、固定齿轮(29)和固定齿条(30)，所述固定齿条(30)固定安装在盖板(2)的底部，所述固定齿轮(29)与固定齿条(30)相啮合，所述带动齿条(13)固定安装在左侧位置的轨道杆(7)内侧，带动齿条(13)与带动齿轮(12)相啮合，所述带动齿轮(12)固定安装在套管(23)的顶部，所述对接杆(22)贯穿带动齿轮(12)，所述连接齿轮(14)与矩形块(21)固定连接，两个定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴杰，程万坡，卜正林，
申请(专利权)人：江苏韦达半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：