一种外延炉晶片冷却系统、方法、电子设备及存储介质技术方案

本申请涉及晶片冷却技术领域，具体提供了一种外延炉晶片冷却系统、方法、电子设备及存储介质，其包括：预抽真空腔；供气装置，安装在所述预抽真空腔上，所述供气装置用于释放吹扫气体；冷却装置，设置在所述预抽真空腔内，用于冷却所述吹扫气体；第一测温装置，用于测量所述晶片的温度；控制器，用于控制所述供气装置释放所述吹扫气体以冷却所述晶片，还用于在所述晶片的温度小于或等于预设的第一阈值时，控制所述冷却装置冷却所述吹扫气体；在不发生晶片翘曲的前提下，通过控制吹扫气体的温度以实现使晶片和与晶片接触的吹扫气体保持一定的温度差，从而提高了预抽真空腔的冷却速率和外延炉的生产效率。延炉的生产效率。延炉的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种外延炉晶片冷却系统、方法、电子设备及存储介质


[0001]本申请涉及晶片冷却
，具体而言，涉及一种外延炉晶片冷却系统、方法、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]碳化硅外延生长工艺通常在1600℃的反应腔中进行，外延生长工艺完成后，反应腔内通入冷却气体以对晶片进行初步冷却，当晶片的温度冷却至低于900℃时，机械手会将晶片从反应腔中取出并将晶片和底座传送到预抽真空腔。预抽真空腔对晶片进行二次冷却，只有当晶片的温度冷却至常温时，才会将晶片从预抽真空腔中取出以进行晶片测试，并放置新的晶片到预抽真空腔中，机械手将新的晶片从预抽真空腔中取出并将晶片和底座传送到反应腔中，以开始下一轮的外延生长工艺。由此可知，预抽真空腔对晶片进行二次冷却的速度直接影响着外延生长设备的生产效率。
[0003]目前，预抽真空腔对晶片进行第二次冷却主要采用风冷的方式，通过氮气提供装置向预设真空腔内释放常温氮气并形成氮气气流，氮气气流能带走晶片的热量以使晶片的温度降低。当晶片和与晶片接触的氮气的温度差过大时，会出现由于晶片和与晶片接触的氮气的温度差过大而造成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延炉晶片冷却系统，用于冷却晶片（6），包括预抽真空腔（1）和供气装置（2），所述供气装置（2）安装在所述预抽真空腔（1）上，所述供气装置（2）用于释放吹扫气体，其特征在于，所述晶片（6）冷却系统还包括：冷却装置（3），设置在所述预抽真空腔（1）内，用于冷却所述吹扫气体；第一测温装置（4），用于测量所述晶片（6）的温度；控制器（5），用于控制所述供气装置（2）释放所述吹扫气体以冷却所述晶片（6），还用于在所述晶片（6）的温度小于或等于预设的第一阈值时，控制所述冷却装置（3）冷却所述吹扫气体。2.根据权利要求1所述的外延炉晶片冷却系统，其特征在于，所述控制器（5）还用于在所述晶片（6）的温度小于预设的第二阈值时，控制所述冷却装置（3）停止冷却所述吹扫气体。3.根据权利要求1所述的外延炉晶片冷却系统，其特征在于，所述冷却装置（3）包括：若干液冷板（31），设置在所述供气装置（2）和所述晶片（6）之间，用于导流所述吹扫气体；冷却液提供装置（32），与所述液冷板（31）连接，用于为所述液冷板（31）循环提供冷却液以带走所述液冷板（31）的热量。4.根据权利要求3所述的外延炉晶片冷却系统，其特征在于，所述液冷板（31）上设有多个通孔（311），当所述液冷板（31）的数量为多个时，相邻的所述液冷板（31）的所述通孔（311）为相互错开设置。5.根据权利要求3所述的外延炉晶片冷却系统，其特征在于，所述冷却液提供装置（32）上设置有流量控制阀（7），所述控制器（5）还用于控制所述流量控制阀（7）改变所述冷却液提供装置（32）的冷却液流量，以使所述液冷板（31）内冷却液的流量随所述晶片（6）的温度下降而增大。6.根据权利要求5所述的外延炉晶片冷却系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡承，唐敢然，徐兴龙，吴彩庭，刘欣，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：