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介电弹性体金属化材料及制备方法技术

技术编号:33629254 阅读:15 留言:0更新日期:2022-06-02 01:29
介电弹性体金属化材料及制备方法,该方法包括如下步骤:在无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层;配置形成介电弹性体薄膜的介电弹性体材料溶液,将包覆有所述多巴胺活性层的无机非金属颗粒分散于所述介电弹性体材料溶液内,并对所述介电弹性体材料溶液进行固化,形成介电弹性体薄膜;对所述介电弹性体薄膜的表面进行亲水化处理;采用磁控溅射的方式,在经过亲水化处理的所述介电弹性体薄膜的表面形成第一金属层;采用电镀工艺在所述第一金属层的表面形成第二金属层。由该该介电弹性体金属化材料的制备方法制作而成的介电弹性体金属化材料,其介电常数较高,介电损耗较小,金属层与介电弹性材料之间的结合力较大。弹性材料之间的结合力较大。弹性材料之间的结合力较大。

【技术实现步骤摘要】
介电弹性体金属化材料及制备方法


[0001]本专利技术涉及介电材料
,尤其是一种介电弹性体金属化材料及制备方法。

技术介绍

[0002]介电弹性体材料具有优异的弯曲和拉伸特性可广泛应用于柔性电子领域,但作为通讯介质基板,现有的介电弹性体材料的介电常数较低(约为2.7),不利于器件的小型化。这会增加器件体积,影响器件使用,产生较大的介质损耗(约为0.02),增加器件损耗,不利于器件性能的提高。制备高介电常数和低介电损耗的介电弹性体材料是解决这一问题的重要途径。
[0003]另外作为通讯器件的介质材料,介电弹性体材料表面必须进行金属化,需要金属层材料具有一定的厚度以完成导热和信号传输,还需要金属层被做成响应的金属图案以实现响应的功能。由于线图图案向精细和高密度方向发展,需要金属层与介质基板具有较高的结合力以提高器件的可靠性和加工性。因此提高金属层与介电弹性体材料的结合力,是提高器件可靠性和性能稳定的重要途径。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本专利技术提供了一种介电弹性体金属化材料及该介电弹性体金属化材料的制备方法,由该该介电弹性体金属化材料的制备方法制作而成的介电弹性体金属化材料,其介电常数较高,介电损耗较小,金属层与介电弹性材料之间的结合力较大。
[0005]本专利技术提供了一种介电弹性体金属化材料的制备方法,包括如下步骤:
[0006]S1:在无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层;
[0007]S2:配置形成介电弹性体薄膜的介电弹性体材料溶液,将包覆有所述多巴胺活性层的无机非金属颗粒分散于所述介电弹性体材料溶液内,并对所述介电弹性体材料溶液进行固化,形成介电弹性体薄膜;
[0008]S3:对所述介电弹性体薄膜的表面进行亲水化处理;
[0009]S4:采用磁控溅射的方式,在经过亲水化处理的所述介电弹性体薄膜的表面形成第一金属层;
[0010]S5:采用电镀工艺在所述第一金属层的表面形成第二金属层。
[0011]进一步地,在所述无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层时,该方法还包括如下步骤:
[0012]配置多巴胺溶液;
[0013]将所述无机非金属颗粒分散于所述多巴胺溶液内;
[0014]将混合有所述无机非金属颗粒的多巴胺溶液经过过滤、烘干、水洗、再烘干后,以在所述无机非金属颗粒外包覆所述多巴胺活性层。
[0015]进一步地,所述多巴胺溶液的浓度为0.1

0.5g/mL。
[0016]进一步地,所述无机非金属颗粒包括钛酸锶、二氧化钛和钛酸钙等中的一种或多
种。
[0017]进一步地,所述无机非金属颗粒的尺寸为0.1

1μm,所述多巴胺活性层的厚度为2

20nm。
[0018]进一步地,所述介电弹性体材料溶液为PDMS溶液或TPU溶液。
[0019]进一步地,在S2步骤中,对所述介电弹性体材料溶液进行加热固化,固化温度为60

120℃。
[0020]进一步地,所述第一金属层的厚度为50

100nm,所述第二金属层的厚度为9

18μm。
[0021]进一步地,所述第一金属层及第二金属层的材料为Cu、Ni、Cr、Au、Ag、Al、Ti及Pt中的一种或多种。
[0022]本专利技术还提供了一种介电弹性体金属化材料,所述介电弹性体金属化材料由上述的介电弹性体金属化材料的制备方法制作而成。
[0023]综上所述,在本专利技术中,通过在介电弹性体薄膜内添加无机非金属颗粒,能够提高介电弹性体薄膜的介电常数,降低介电损耗;通过在无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层,多巴胺活性层上的羟基等活性基团一方面能够较好地吸附于无机非金属颗粒的表面上,另一方面还可以与介电弹性体薄膜具有较好的相容性,降低异质材料之间的差异,弱化界面效应,进一步地降低介电弹性层的介电损耗,提高微波介电性能。
[0024]进一步地,通过在介电弹性体薄膜上先利用磁控溅射的方法,形成一层较薄的第一金属层,然后利用电镀工艺形成较厚的第二金属层,这一方面能够使金属层的厚度达到需要,另一方面还能够保证金属层与介电弹性体薄膜之间结合的紧密。
[0025]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
[0026]图1所示为本专利技术实施例提供的介电弹性体金属化材料的制备方法各步骤的流程示意图。
[0027]图2所示为本专利技术实施例提供的介电弹性体金属化材料的结构示意图。
具体实施方式
[0028]为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,详细说明如下。
[0029]本专利技术提供了一种介电弹性体金属化材料及该介电弹性体金属化材料的制备方法,由该该介电弹性体金属化材料的制备方法制作而成的介电弹性体金属化材料,其介电常数较高,介电损耗较小,金属层与介电弹性材料之间的结合力较大。
[0030]图1所示为本专利技术实施例提供的介电弹性体金属化材料的制备方法各步骤的流程示意图。如图1所示,本专利技术实施例提供的介电弹性体金属化材料包括如下步骤:
[0031]S1:在无机非金属颗粒10外包覆多巴胺活性层20;
[0032]在本实施例中,无机非金属颗粒10可以为钛酸锶、二氧化钛和钛酸钙等中的一种或多种。该无机非金属颗粒10的尺寸为0.1

1μm。包覆层的厚度为2

20nm。
[0033]在将多巴胺活性层20包覆于无机非金属颗粒10外时,该方法包括如下步骤:
[0034]配置多巴胺溶液,优选地,该多巴胺溶液的浓度为0.1

0.5g/mL;
[0035]将无机非金属颗粒10分散于多巴胺溶液内;
[0036]将混合有无机非金属颗粒10的多巴胺溶液经过过滤、烘干、水洗、再次烘干后,形成多巴胺活性层20包覆的无机非金属颗粒10。
[0037]S2:配置形成介电弹性体薄膜30的介电弹性体材料溶液,将包覆有多巴胺活性层20的无机非金属颗粒10分散于该介电弹性体材料溶液内,并对该溶液进行固化,以形成介电弹性体薄膜30,此时,包覆有多巴胺活性层20的无机非金属颗粒10分散于介电弹性体薄膜30内;
[0038]在本实施例中,介电弹性体材料溶液可以为PDMS(聚二甲基硅氧烷;Polydimethylsiloxane)溶液,或TPU(热塑性聚氨酯弹性体;Thermoplastic polyurethanes)溶液。
[0039]在配置PDMS溶液时,可以将PDMS预聚体及固化剂按照质量比10:1

20:1的比例均匀混合,以形成PDMS溶液。
[0040本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种介电弹性体金属化材料的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:S1:在无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层;S2:配置形成介电弹性体薄膜的介电弹性体材料溶液,将包覆有所述多巴胺活性层的无机非金属颗粒分散于所述介电弹性体材料溶液内,并对所述介电弹性体材料溶液进行固化,形成介电弹性体薄膜;S3:对所述介电弹性体薄膜的表面进行亲水化处理;S4:采用磁控溅射的方式,在经过亲水化处理的所述介电弹性体薄膜的表面形成第一金属层;S5:采用电镀工艺在所述第一金属层的表面形成第二金属层。2.根据权利要求1所述的介电弹性体金属化材料的制备方法,其特征在于:在所述无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层时,该方法还包括如下步骤:配置多巴胺溶液;将所述无机非金属颗粒分散于所述多巴胺溶液内;将混合有所述无机非金属颗粒的多巴胺溶液经过过滤、烘干、水洗、再烘干后,以在所述无机非金属颗粒外包覆所述多巴胺活性层。3.根据权利要求2所述的介电弹性体金属化材料的制备方法,其特征在于:所述多巴胺溶液的浓度为0.1

0.5g/mL。4.根据权利要求1所述的介电弹性体金属化材料的制备方法,其特征在于:所述无机非金属颗粒包括钛酸锶、二氧化钛和钛酸钙...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯雪王志建陈颖
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:

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