金刚石包覆工具制造技术

一种金刚石包覆工具，其具备基材和在基材上设置的金刚石层，其中，在金刚石层中，在由金刚石层的表面和距表面的厚度方向的距离为1μm的第一假想面包围的第一区域中，硼的含量为1

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金刚石包覆工具


[0001]本公开涉及一种金刚石包覆工具。本申请主张基于作为在2019年10月18日申请的日本专利申请的日本特愿2019
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191080号的优先权。该日本专利申请中记载的全部记载内容通过参照而援引于本说明书中。

技术介绍

[0002]金刚石在现存的物质中具有最高的硬度，自古以来，天然金刚石、超高压金刚石烧结体等一直被应用于切削、磨削、研磨等的工具中。在1980年代基于化学气相沉积法(以下，也称为“CVD法”)的金刚石薄膜制造技术确立以来，进行了通过由金刚石构成的薄膜(以下，也称为“金刚石覆膜”)对由超硬合金等构成的基材进行包覆从而实现工具的长寿命化的技术开发。
[0003]已知有通过对金刚石覆膜掺杂硼来提高金刚石覆膜的耐氧化性以及润滑性的技术。
[0004]在专利文献1(日本特开2006
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152423号公报)中，公开了掺杂有硼的金刚石覆膜，该硼的掺杂量在厚度方向上变化，在覆膜表面较多。
[0005]在专利文献2(国际公开第2018/131166号)中公开了一种金刚石覆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种金刚石包覆工具，其是具备基材和在所述基材上设置的金刚石层的金刚石包覆工具，其特征在于，在所述金刚石层中，在由所述金刚石层的表面和距所述表面的厚度方向的距离为1μm的第一假想面包围的第一区域中，硼的含量为1
×
103ppma以上且1
×
106ppma以下，且氧的含量为1
×
102ppma以上且1
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105ppma以下。2.根据权利要求1所述的金刚石包覆工具，其特征在于，在所述金刚石层中，在由所述基材与所述金刚石层的界面、和距所述界面的厚度方向的距离为1μm的第二假想面包围的第二区域中，硼的含量为1
×
103ppma以下。3.根据权利要求1所述的金刚石包覆工具，其特征在于，在所述金刚石层中，在由所述基材与所述金刚石层的界面、和距所述界面的厚度方向的距离为1μm的第二假想面包围的第二区域中，硼的含量为5
×
102ppma以下。4.根据权利要求1至3中任一项所述的金刚石包覆工具，其特征在于，所述金刚石层由第一单位层和第二单位层交替地层叠而成的交替层构成，在所述交替层中，在最表面侧配置所述第一单位层，在与所述基材接触的一侧配置所述第二单位层，所述第一单位层的硼的含量为1
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103ppma以上且1
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106ppma以下，且氧的含量为1
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102ppma以上且1
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105ppma以下，所述第二单位层的硼的含量为1
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103ppma以下，所述第一单位层的厚度为1μm...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉本伦太朗，原田高志，久木野晓，
申请(专利权)人：住友电工硬质合金株式会社，
类型：发明
国别省市：