一种导向隔热装置及金刚石膜制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种导向隔热装置及金刚石膜制备装置，其特征在于，包括固定件，所述固定件包括第一支撑件、第二支撑件，所述第一支撑件、第二支撑件间隔设置；还包括导向件，所述导向件的一端连接有弹性固定件，另一端穿过第一支撑件、第二支撑件；实现了细且薄或长的部件在轴向与径向均有弹性拉伸，且实现轴向导向且隔热效果，从而解决了细且薄或长的部件工作部位形态不变，解决了导向隔热装置使用寿命降低的问题。降低的问题。降低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种导向隔热装置及金刚石膜制备装置


[0001]本技术涉及导向隔热装置领域，具体涉及了金刚石膜的制备过装置领域。

技术介绍

[0002]在金刚石膜制备等领域，均为遇到在高温环境下对细且薄或长的部件进行固定，且长时间固定中需要避免部件变形，但是由于高温环境中，细且薄或长德部件容易出现软化或者膨胀，需要保持细且薄或长部件工作部位形态不变时一般采用弹性装置进行固定，但是在采用弹性装置固定时，弹性装置由于高温环境，工作寿命较短；
[0003]在金刚石膜制备过程中，热丝法设备结构简单且适合大面积生长金刚石膜，是目前普遍采用的一种制备金刚石膜的方法；在热丝法制备金刚石磨过程中，由于加热的热丝细且长，因此在加热过程中会出现热丝下垂的问题；传统的方案为热丝两边直接采用弹簧固定，存在问题是弹簧由于本身的长度影响，热丝受热变长时，靠轴向方向弹簧的拉力无法完全实现热丝的水平，且弹簧受热辐射的影响弹性性能降低，不利于实现热丝的水平，弹簧受热辐射寿命明显降低。

技术实现思路

[0004]本技术目的在于，解决细且薄或长的部件在高温环境下不能保持工作部位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导向隔热装置，其特征在于，包括固定件，所述固定件包括第一支撑件、第二支撑件，所述第一支撑件、第二支撑件间隔设置；还包括导向件，所述导向件的一端连接有弹性固定件，另一端穿过第一支撑件、第二支撑件。2.根据权利要求1所述的导向隔热装置，其特征在于，所述第一支撑件、第二支撑件通过第三支撑件连接形成U型结构，所述U型结构内设有热辐射吸收层或热辐射吸收装置。3.根据权利要求1所述的导向隔热装置，其特征在于，所述弹性固定件包括螺旋状弹性体、若干第一钩状连接件，所述第一钩状连接件与螺旋状弹性体一端连接。4.根据权利要求1所述的导向隔热装置，其特征在于，所述导向件一端设有第二勾状连接件，所述第二勾状连接件与弹性固定件连接。5.根据权利要求1所述的导向隔热装置，其特征在于，所述固定件还包括连接杆，所述连接杆与所述第一支撑件或第二支撑件连接。6.一种金刚石膜制备装置，其特征在于，包括权利要求1
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5任意一项所述的导向隔热装置。7.根据权利要求6所述的金刚石膜制备装置，其特征在于，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：玄真武，张怡，童亚琦，
申请(专利权)人：北京中材人工晶体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：