压电致动器、超声波元件、超声波装置及电子设备制造方法及图纸

一种压电致动器、超声波元件、超声波装置及电子设备，能够抑制不必要频率振动。所述压电致动器包括：振动板，具有堵塞设置在基板上的开口部的第一表面、和设置有多个压电元件的第二表面；抑制部，抑制振动板的振动；以及第一立壁和第二立壁，从第一表面延伸到开口部，其中，在将第一电极、压电体层和第二电极重叠的部分作为压电元件的能动部时，在从第一电极、压电体层和第二电极的层叠方向俯视观察时，第一立壁和第二立壁设置成夹着能动部，第二立壁在宽度、高度、长度、物理特性中的至少一个方面不同于第一立壁。不同于第一立壁。不同于第一立壁。

【技术实现步骤摘要】
压电致动器、超声波元件、超声波装置及电子设备


[0001]本专利技术涉及压电致动器、超声波元件、超声波探头、超声波装置及电子设备。

技术介绍

[0002]以往，如专利文献1所示，已知如下超声波传感器：包括形成有开口部的基板、以堵塞开口部的方式设置在基板上的振动板、以及包括层叠在振动板开口部的相反侧的第一电极、压电体层及第二电极的多个压电元件，并且在将第一电极、压电体层及第二电极层叠的方向上第一电极、压电体层及第二电极完全重叠的部分作为能动部时，在相邻的能动部之间设置有抑制振动板振动的抑制部和围绕开口部的分隔壁。
[0003]专利文献1：日本特开2015
‑
188208号公报
[0004]在上述结构中，围绕开口部的分隔壁具有相同的形状和物理特性。因此，存在振动板的振动传递到分隔壁时分隔壁容易共振且出现由该分隔壁共振引起的不必要频率振动的问题。

技术实现思路

[0005]压电致动器包括：基板，形成有开口部；振动板，以第一表面堵塞所述开口部的方式设置在所述基板上；压电元件，在所述振动板的与所述第一表面相反一侧的第二表面上与所述开口部对应地设置；抑制部，抑制所述振动板的振动；第一立壁，从所述第一表面向所述开口部延伸；以及第二立壁，在所述第一表面上从与所述第一立壁不同的位置向所述开口部延伸，所述压电元件从所述第二表面侧起依次层叠第一电极、压电体层、第二电极，在将所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重叠的部分作为能动部时，从层叠方向俯视观察时，所述第一立壁和所述第二立壁设置成夹着所述能动部，所述第二立壁在宽度、高度、长度、物理特性中的至少一个方面不同于所述第一立壁。
[0006]超声波元件包括上述记载的压电致动器；用于所述压电致动器发送超声波的发送电路；以及用于所述压电致动器接收超声波的接收电路。
[0007]超声波探头包括上述记载的超声波元件和容纳所述超声波元件的壳体。
[0008]超声波装置包括上述记载的超声波元件和控制所述超声波元件的控制部。
[0009]电子设备包括上述记载的压电致动器。
附图说明
[0010]图1是示出实施方式1涉及的超声波测量装置的概略结构的立体图。
[0011]图2是示出实施方式1涉及的超声波测量装置的概略结构的框图。
[0012]图3是示出实施方式1涉及的压电致动器的概略结构的立体图。
[0013]图4是从基部侧观察实施方式1涉及的压电致动器的俯视图。
[0014]图5是从密封板侧观察实施方式1涉及的压电致动器的俯视图。
[0015]图6是图4中的A
‑
A线的剖视图。
[0016]图7是图4中的B
‑
B线的剖视图。
[0017]图8是从基部侧观察比较例涉及的压电致动器的俯视图。
[0018]图9是图8中的C
‑
C线的剖视图。
[0019]图10是示出比较例涉及的压电致动器的频谱的图。
[0020]图11是示出实施方式1涉及的压电致动器的频谱的图。
[0021]图12是从基部侧观察实施方式2涉及的压电致动器的俯视图。
[0022]图13是图12中的E
‑
E线的剖视图。
[0023]图14是从基部侧观察实施方式3涉及的压电致动器的俯视图。
[0024]图15是从基部侧观察实施方式4涉及的压电致动器的俯视图。
[0025]图16是从基部侧观察实施方式5涉及的压电致动器的俯视图。
[0026]图17是从基部侧观察实施方式6涉及的压电致动器的俯视图。
[0027]图18是图17中的F
‑
F线的剖视图。
[0028]图19是从基部侧观察实施方式7涉及的压电致动器的俯视图。
[0029]图20是从密封板侧观察实施方式7涉及的压电致动器的俯视图。
[0030]图21是图19中的G
‑
G线的剖视图。
[0031]图22是从基部侧观察实施方式8涉及的压电致动器的俯视图。
[0032]图23是图22中的H
‑
H线的剖视图。
[0033]图24是从基部侧观察实施方式9涉及的压电致动器的俯视图。
[0034]图25是从基部侧观察实施方式10涉及的压电致动器的俯视图。
[0035]附图标记说明
[0036]1…
作为超声波装置和电子设备的超声波测量装置；2
…
超声波探头；3
…
电缆；10
…
控制部；11
…
操作部；12
…
显示部；13
…
存储部；14
…
运算部；21
…
壳体；22、22a～22h、22k、22m
…
压电致动器；23
…
电路基板；24
…
超声波元件；41
…
基部；42
…
密封板；43、43A、43B
…
抑制部；231
…
选择电路；232
…
发送电路；233
…
接收电路；411
…
基板；411A
…
开口部；412
…
振动板；412h
…
第一表面；412r
…
第二表面；413
…
压电元件；413A
…
能动部；414
…
第一电极；414P
…
第一电极端子；415
…
压电体层；416
…
第二电极；416P
…
第二电极端子；418、418a～418h、418k、418m
…
第一立壁；419、419a～419h、419k、419m、420c、420f、420k
…
第二立壁；H1、H2
…
高度；L1、L2、L2a、L2b
…
长度；W1、W2
…
宽度。
具体实施方式
[0037]1.实施方式1
[0038]参照图1和图2，说明实施方式1涉及的超声波测量装置1。
[0039]如图1和图2所示，作为本实施方式的超声波装置和电子设备的超声波测量装置1具有超声波探头2和经由电缆3与超声波探头2电连接的控制部10。
[0040]超声波测量装置1使超声波探头2与人体等生物体的表面抵接，从超声波探头2发送超声波，并通过超声波探头2接收在生物体内反射的超声波，基于该接收信号，可以获取生物体内的内部断层图像，并且测量血流等生物体内器官的状态。
[0041]超声波探头2具有超声波元件24和容纳超声波元件24的壳体21。
[0042]超声波元件24具有压电致动器22和控制压电致动器22的电路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电致动器，其特征在于，包括：基板，形成有开口部；振动板，以第一表面堵塞所述开口部的方式设置在所述基板上；压电元件，在所述振动板的与所述第一表面相反一侧的第二表面上与所述开口部对应地设置；抑制部，抑制所述振动板的振动；第一立壁，从所述第一表面向所述开口部延伸；以及第二立壁，在所述第一表面上从与所述第一立壁不同的位置向所述开口部延伸，所述压电元件从所述第二表面侧起依次层叠第一电极、压电体层、第二电极，在将所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重叠的部分作为能动部时，从层叠方向俯视观察时，所述第一立壁和所述第二立壁设置成夹着所述能动部，所述第二立壁在宽度、高度...

【专利技术属性】
技术研发人员：大桥幸司，小岛力，古畑诚，小野木智英，狭山朋裕，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：