无心交流直线电动机及其制造方法技术

本发明专利技术涉及无心交流直线电动机及其制造方法，其中该无心交流直线电动机包括形成磁隙（３）的几排磁场磁体（３１，３２），呈直线设置在磁隙中的多个无心线圈（５），用于容纳无心线圈的外壳（１０），以及用于密封外壳的盖体（１１）。外壳包括具有深槽（１０Ｂ）的线圈容纳部分（１０Ｆ），以及和盖体相连的法兰部分（１０Ａ）。通过使用端面铣刀、钻和放电机加工电极挖出由不锈钢构成的材料来形成深槽。在把无心线圈插入深槽中之后，使用树脂或黏合剂（６）把无心线圈固定在外壳上。提供用于以气密方式在外壳和盖体之间密封的Ｏ形圈，并在法兰部分形成用于接收Ｏ形圈的座（１０Ｃ）。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种无心交流直线电动机。尤其涉及用于清洁的室内或真空中例如半导体制造单元或液晶显示器的基底的制造单元中的无心交流直线电动机，并涉及所述电动机的制造方法。
技术介绍
能够产生大的推力并没有因铁心而产生的低速时转矩变动的无心交流直线电动机适用于机器工具、半导体制造单元和液晶显示器基底制造单元，它们都需要精确的定位。一般地说，无心交流直线电动机包括其上固定有若干个磁场磁体的一对平行的侧轭，以及呈直线形式设置在一对磁轭之间的无心线圈。多个无心线圈被制成由树脂包覆着的平板形状的块。用这种方式制成的线圈组件运动，相对于几排磁场磁体保持一个小的气隙。在半导体制造单元或液晶显示器基底制造单元的情况下，无心交流直线电动机被在真空容器中使用。在这些真空条件下，具有伴随着发热而从线圈组件发出气体的已知的问题，被称为放气。气体例如从树脂、电缆和瓷漆发出。这些放气污染真空环境，因而引起器件性能的降低。例如，放出的气体成分附着于电子显微镜的透镜表面上，并被烧到样品或产品的表面上。日本技术公开第6-41381和6-70484披露了一种被容纳在外壳中的线圈组件，以便阻止这种类型的逸出气体。即，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无心交流直线电动机，包括：　　　　用于形成磁隙（３）的磁体组件，　　　　外壳（１０），其包括具有通过挖出材料而形成的深槽（１０Ｂ）的线圈容纳部分（１０Ｆ），　　　　被插在所述深槽中并在所述磁隙内部呈直线排列的多个无心线圈（５），以及　　　　用于密封所述外壳的盖体（１１）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大西嘉范，
申请(专利权)人：沙迪克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]