本实用新型专利技术公开了一种用于半导体清洗设备的排水装置，其包括外壳，外壳内部的底端固定设置有电动机与抽水机，抽水机的输出端穿过外壳的侧壁与出水管固定连接；抽水机的输入端穿过隔断板；隔断板横向固定设置在外壳的内部，外壳的内壁固定设置有第一肋柱以及第二肋柱；第一肋柱的上端设置有第一过滤网；第二肋柱的上端设置有第二过滤网；外壳上端的侧壁内部贯通连接有进水管；出水管远离外壳的一端内部贯通连接有进水头；进水头的内部开设有进水口；进水头的一端固定设置有清洁头；本实用新型专利技术结构简单，便于更换，具备较好的过滤功能，可以有效降低废水中的污染物的含量，且可以多次利用清洗液，达到充分利用清洗液的目的。达到充分利用清洗液的目的。达到充分利用清洗液的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体清洗设备的排水装置
[0001]本技术涉及排水装置
，尤其是一种用于半导体清洗设备的排水装置。
技术介绍
[0002]半导体产业是现代电子工业的核心，而半导体产业的基础是硅材料工业。虽然有各种各样新型的半导体材料不断出现，但90％以上的半导体器件和电路，尤其是超大规模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片和外延片上的。
[0003]硅片清洗对半导体工业的重要性早在50年代初就已引起人们的高度重视，这是因为硅片表面的污染物会严重影响器件的性能、可靠性和成品率；随着微电子技术的飞速发展以及人们对原料要求的提高，污染物对器件的影响也愈加突出。
[0004]在半导体工艺制造过程中,不可避免遭到尘埃、金属、有机物和无机物的污染，这些污染很容易造成其表面缺陷及孔内污垢,产生发射点、黑点、暗斑等,导致良品率下降,使得管子质量不稳定以至失效, 因此在制造过程中利用超声波清洗技术去除污染物十分重要。
[0005]在完成清洗之后，废水中常常会包含各种尘埃、金属、有机物和无机物等，直接排放将会导致环境污染，不利于环境友好型社会的建设，且废水无法充分利用，导致清洁液浪费。
技术实现思路
[0006]针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种用于半导体清洗设备的排水装置，结构简单，便于更换，具备较好的过滤功能，可以有效降低废水中的污染物的含量，且可以多次利用清洗液，达到充分利用清洗液的目的，以解决
技术介绍
中提到的问题。
[0007]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0008]一种用于半导体清洗设备的排水装置，包括外壳，所述外壳内部的底端固定设置有电动机与抽水机，所述抽水机的输出端穿过所述外壳的侧壁与出水管固定连接；所述抽水机的输入端穿过隔断板；所述隔断板横向固定设置在所述外壳的内部，所述外壳的内壁固定设置有第一肋柱以及第二肋柱；所述第一肋柱的上端设置有第一过滤网；所述第二肋柱的上端设置有第二过滤网；所述外壳上端的侧壁内部贯通连接有进水管；所述出水管远离所述外壳的一端内部贯通连接有进水头；所述进水头的内部开设有进水口；所述进水口的纵截面为梯形；所述进水口的外端口的直径大于内端口的直径，所述进水头的一端固定设置有清洁头；所述清洁头采用橡胶材料制成。
[0009]进一步的，所述电动机的输出端与所述抽水机的输入端固定连接。
[0010]根据上述技术方案，便于抽水机的动力输入。
[0011]进一步的，所述隔断板将所述外壳的内部分割成相互独立的上下两部分。
[0012]根据上述技术方案，可以防止废水浸入到隔断板的下部分使电动机进水，发生故障。
[0013]进一步的，所述第一肋柱上端面开设有环形凹槽，所述第一过滤网卡合设置在所述凹形凹槽内。
[0014]根据上述技术方案，可以防止第一过滤网左右晃动。
[0015]进一步的，所述外壳在所述第一肋柱处的直径大于所述外壳在所述第二肋柱处的直径，所述外壳在所述第一肋柱处的直径大于所述第二过滤网的直径。
[0016]根据上述技术方案，便于工作人员将第二过滤网从上而下放入到第二肋柱处。
[0017]进一步的，所述外壳的上端卡合设置有开关门，所述开关门的截面为T型。
[0018]根据上述技术方案，便于安装和维修第一过滤网和第二过滤网。
[0019]进一步的，所述第一过滤网包括第一支撑架以及设置在第一支撑架内的第一滤网，所述滤网为两层；所述滤网之间设置有活性炭层。
[0020]根据上述技术方案，活性炭具备优异的吸附性能，有利于吸附废水中的杂物。
[0021]进一步的，所述第二过滤网包括第二支撑架和第二滤网，所述第二滤网为两层，所述第二滤网之间设置有吸附剂。
[0022]根据上述技术方案，通过多层次的吸附作用，可以再次降低废水中的污染物。
[0023]进一步的，所述外壳的横截面为圆形，所述外壳采用不锈钢材制成。
[0024]根据上述技术方案，防止外壳发生锈蚀，影响寿命。
[0025]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0026]1、该技术结构简单，工作人员可以打开开关门，依次安装第二过滤网、第一过滤网，便于随时更换和安装过滤网，过滤网中设置有活性炭层以及吸附剂，可有效降低废水中污染物的含量，从而降低环境污染。
[0027]2、该技术在使用时，可以将经过过滤的清洗液再次通过出水管，导入到半导体清洗设备的内部，达到多次利用清洗液的目的，经济价值更高。
附图说明
[0028]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0029]图1为本技术的剖视图；
[0030]图2为本技术中进水头的结构示意图；
[0031]图3为本技术中第一过滤网的结构示意图。
[0032]图中：1、外壳；2、电动机；3、抽水机；4、万向轮；5、出水管；6、隔断板；7、第一肋柱；701、环形凹槽；8、第二肋柱；9、第一过滤网；10、第二过滤网；11、第一支撑架；12、第一滤网；13、活性炭层；14、开关门；15、进水管；16、进水头；17、进水口；18、清洁头。
具体实施方式
[0033]为了使本技术的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本技术实施例进行进一步详细说明。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、
“
内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0035]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]实施例1
[0037]参考图1
‑
图3，一种用于半导体清洗设备的排水装置，包括外壳 1，所述外壳1内部的底端固定设置有电动机2与抽水机3，所述抽水机3的输出端穿过所述外壳1的侧壁与出水管5固定连接；所述抽水机3的输入端穿过隔断板6；所述隔断板6横向固定设置在所述外壳1的内部，将外壳1的上下两端分割成相互独立本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体清洗设备的排水装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内部的底端固定设置有电动机(2)与抽水机(3)，所述抽水机(3)的输出端穿过所述外壳(1)的侧壁与出水管(5)固定连接；所述抽水机(3)的输入端穿过隔断板(6)；所述隔断板(6)横向固定设置在所述外壳(1)的内部，所述外壳(1)的内壁固定设置有第一肋柱(7)以及第二肋柱(8)；所述第一肋柱(7)的上端设置有第一过滤网(9)；所述第二肋柱(8)的上端设置有第二过滤网(10)；所述外壳(1)上端的侧壁内部贯通连接有进水管(15)；所述进水管(15)远离所述外壳(1)的一端内部贯通连接有进水头(16)；所述进水头(16)的内部开设有进水口(17)；所述进水口(17)的纵截面为梯形；所述进水口(17)的外端口的直径大于内端口的直径；所述进水头(16)的一端固定设置有清洁头(18)；所述清洁头(18)采用橡胶材料制成。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗设备的排水装置，其特征在于：所述电动机(2)的输出端与所述抽水机(3)的输入端固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗设备的排水装置，其特征在于：所述隔断板(6)将所述外壳(1)的内部分割成相互独立的上下两部分。4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：周明，
申请(专利权)人：无锡市安晏克半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。